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酸化物ガラスにおける半導体ナノ粒子の空間選択的析出

研究課題

研究課題/領域番号 18860049
研究種目

若手研究(スタートアップ)

配分区分補助金
研究分野 無機材料・物性
研究機関大阪大学

研究代表者

西山 宏昭  阪大, 工学(系)研究科(研究院), 助手 (80403153)

研究期間 (年度) 2006 – 2007
研究課題ステータス 完了 (2007年度)
配分額 *注記
1,360千円 (直接経費: 1,360千円)
2007年度: 420千円 (直接経費: 420千円)
2006年度: 940千円 (直接経費: 940千円)
キーワード光学材料 / レーザプロセス / ナノ粒子 / 微細加工
研究概要

前年度までに提案した,紫外レーザ誘起構造変化と熱誘起相変化を組み合わせたガラスの新たな構造制御手法について,その制御機構の検討を行うとともに,この手法を用いてガラス製チャネル導波路型バンドパスフィルターへの応用を行った.本研究を通して得られた知見を以下に示す.
1.Geナノ粒子からなる周期構造を2種類のチャネル導波路構造中に形成した.また,この周期構造は,通信波長帯において高い回折効率と熱的安定性を備えたブラッグ・グレーティングとして機能した.
2.チャネル導波路中に周期構造が形成されたことをHF溶液でエッチングによって確認した.周期構造では,組成の違いに起因していると思われるエッチングレートの違いがあり,チャネル構造においては薄膜表面部だけでなく,側壁部でも周期的な凹凸が観察された.
3.Geナノ粒子は,ガラス薄膜の表面近傍だけではなく,表面から数ミクロンにわたって析出していた.Geナノ粒子からなる周期構造を内装した導波路の透過スペクトルを測定したところ,TE-,TM-like両偏波モードについて同程度の回折効率が得られた.このことは,周期構造が導波路断面方向にほぼ均一に析出していたことを意味している.また,この結果は,上記のHFエッチングによる実験結果ともよく整合した.
4.レーザ誘起構造変化と密接な関連がある,Ge関連の酸素不足型構造欠陥に由来した蛍光スペクトルを測定したところ,Geナノ粒子が析出する際には,その蛍光強度は,特異的かつ顕著に減衰した.このことは,これら構造欠陥の還元によってGeナノ粒子が形成されたことを強く示唆していた.
これらの知見を,学術論文や国内外の学会において発表した.

報告書

(1件)
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2007 2006 その他

すべて 雑誌論文 (4件)

  • [雑誌論文] Periodic structures consisting of germanium nanoparticles in buried channel waveguides2007

    • 著者名/発表者名
      H.Nishiyama, I.Miyamoto, Y.Hirata, J.Nishii
    • 雑誌名

      Optics Express 15

      ページ: 2047-2054

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] フエムト秒レーザリソグラフィによるシリカガラス製非平面構造の作製2007

    • 著者名/発表者名
      溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 河原敏男, 川合知二, 平田好則
    • 雑誌名

      Proceedings of 13^<th> symposium on Micro-joining and Assembly Technology in Electronics Vol.13

      ページ: 75-80

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Site-selective precipitation of Ge nanoparticles by irradiation with excimer laser2006

    • 著者名/発表者名
      H.Nishiyama, Y.Hirata, I.Miyamoto, J.Nishii
    • 雑誌名

      Technical digest of 11^h International Conference on Physics of Non-crystalline Solids

      ページ: 265-265

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Formation of periodic structures by the space-selective precipitation of Ge nanoparticles in channel waveguides

    • 著者名/発表者名
      H.Nishiyama, Y.Hirata, I.Miyamoto, J.Nishii
    • 雑誌名

      Applied Surface Science (in press)

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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