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レーザー補助広角3次元アトムプローブの開発と実デバイスの3次元原子レベル解析

研究課題

研究課題/領域番号 18GS0204
研究種目

学術創成研究費

配分区分補助金
研究機関東京大学

研究代表者

尾張 真則  東京大学, 環境安全研究センター, 教授 (70160950)

研究分担者 谷口 昌宏  金沢工業大学, バイオ・化学部応用化学科, 教授 (30250418)
野島 雅  東京理科大学, 総合研究機構, 講師 (50366449)
連携研究者 間山 憲仁  東京工業大学, 資源化学研究所, 産学官連携研究員 (40508131)
岩田 達夫  三重大学, 極限ナノエレクトロニクスセンター, 特定事業研究員 (20119647)
研究期間 (年度) 2006 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
457,860千円 (直接経費: 352,200千円、間接経費: 105,660千円)
2010年度: 25,090千円 (直接経費: 19,300千円、間接経費: 5,790千円)
2009年度: 92,300千円 (直接経費: 71,000千円、間接経費: 21,300千円)
2008年度: 107,120千円 (直接経費: 82,400千円、間接経費: 24,720千円)
2007年度: 113,230千円 (直接経費: 87,100千円、間接経費: 26,130千円)
2006年度: 120,120千円 (直接経費: 92,400千円、間接経費: 27,720千円)
キーワードナノ構造化学 / 表面・界面ナノ構造 / アトムプローブ / 電界蒸発 / パルスレーザー / 収束イオンビーム加工 / 微小引出し電極 / 超高真空 / シミュレーション / 質量分析 / 収東イオンビーム加工
研究概要

物質中の数百ナノメートル立方に存在する原子の種類と位置を3次元で視覚化できる分析法3次元アトムプローブ(3DAP)顕微鏡を従来の問題点を解決することによって確立した。この方法を用いて、単体金属試料や炭素系材料などを分析し、レーザーイオン化機構に関する新たな知見を得るとともに、実デバイスの3次元原子レベル解析への基礎を築いた。

報告書

(6件)
  • 2010 研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書   自己評価報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 2006 実績報告書
  • 研究成果

    (76件)

すべて 2010 2009 2008 2007 2006

すべて 雑誌論文 (32件) (うち査読あり 26件) 学会発表 (35件) 図書 (3件) 産業財産権 (6件)

  • [雑誌論文]2010

    • 著者名/発表者名
      N.Mayama, T.Iwata, M.Nojima, M.Taniguchi, M.Owari, 他10名
    • 雑誌名

      Surf.Interface Anal. 42

      ページ: 1616-1621

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文]2010

    • 著者名/発表者名
      N.Mayama, H.Yoshida, T.Iwata, K.Sasakawa, A.Suzuki, Y.Hanaoka, Y.Morita, A.Kuroda, M.Owari
    • 雑誌名

      Diam.Relat.Mater. 19

      ページ: 946-949

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文]2010

    • 著者名/発表者名
      M.Taniguchi, O.Nishikawa
    • 雑誌名

      e-JSSNT 8

      ページ: 69-73

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Molecular Reaction Image by Scanning Atom Probe2010

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Taniguchi, 他1名
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 8

      ページ: 69-73

    • NAID

      130004439212

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文]2009

    • 著者名/発表者名
      N.Mayama, Y.Kajiwara, S.Mikami, S.Ito, T.Kaneko, T.Iwata, M.Owari
    • 雑誌名

      e-JSSNT 7

      ページ: 35-38

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Feasibility of a New Atom Probe Specimen Preparation Methodusing a Focused Ion Beam2009

    • 著者名/発表者名
      S.Mikami, 他7名
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 7

      ページ: 863-865

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] アトムプローブ法によるメタノール中の通電により金属基材上に堆積した炭素系被膜の分析2009

    • 著者名/発表者名
      吉田寛之, 他5名
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan 52(3)

      ページ: 48-149

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] メタノール中の通電により生成するダイヤモンドライクカーボン(DLC)を被覆した単ータングメテン電界放射陰極からの電子放射特性2009

    • 著者名/発表者名
      岩田達夫, 他6名
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan 52(3)

      ページ: 176-178

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dependence of Field Evaporation Voltage on Polarization Angle of Femtosecond Laser in 3D Atom Probe2009

    • 著者名/発表者名
      N.Mayama, 他6名
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 4

      ページ: 70-73

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improvement of Mass Resolution in Wide-Angle Laser Assisted Atom Probe by Flight Path Compensation2009

    • 著者名/発表者名
      N.Mayama, 他6名
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 7

      ページ: 35-38

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Quantitative evaluation of carbon nanotubes by the scanning atom probe2009

    • 著者名/発表者名
      O.Nishikawa, 他1名
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology A 27(4)

      ページ: 1076-1079

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Atomic level analysis of biomolecules by the scanning atom probe2009

    • 著者名/発表者名
      O.Nishikawa, 他2名
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 259

      ページ: 1210-1213

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] e-JSSNT2009

    • 著者名/発表者名
      N. Mayama, S. Mikami, S. Ito, T. Kaneko, T. Iwata, M. Taniguchi, M. Owari
    • 雑誌名

      7

      ページ: 70-73

    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dependence of Field Evaporation Voltage on Polarization Angle of Femtosecond Laser in 3D Atom Probe2009

    • 著者名/発表者名
      N. Mayama, 他6名
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 7

      ページ: 70-73

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improvement of Mass Resolution in Wide-Angle Laser-Assisted Atom Probe by F light Path Compensation2009

    • 著者名/発表者名
      N. Mayama, 他6名
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 7

      ページ: 35-38

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surf2008

    • 著者名/発表者名
      N. Mayama, C. Yamashita, T. Kaito, M. Nojima, M. Owari
    • 雑誌名

      Interface Anal. 40

      ページ: 1610-1613

    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surf2008

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko, S. Ito, C. Yamashita, N. Mayama, T. Iwata, M. Nojima, M. Owari
    • 雑誌名

      Interface Anal. 40

      ページ: 1688-1691

    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surf2008

    • 著者名/発表者名
      S. Ito, T. Kaneko, C. Yamashita, T. Kaito, T. Adachi, T. Iwata, N. Mayama, M. Nojima, M. Taniguchi, M. Owari
    • 雑誌名

      Interface Anal. 40

      ページ: 1696-1700

    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A New Approach for the Mass Analysis of Biomolecules at Atomic Level Utilizi ng the Scanning Atom Probe2008

    • 著者名/発表者名
      O. Nishikawa, M. Taniguchi
    • 雑誌名

      Microscopy and Microanalysis 14

      ページ: 1244-1245

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study of Characteristic Fragmentation of Nanocarbon by the Scanning Atom Prob2008

    • 著者名/発表者名
      O. Nishikawa, 他2名
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A 26(no. 4)

      ページ: 1074-1078

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Scanning Atom Probe Study of Graphite Nnofibers2008

    • 著者名/発表者名
      O. Nishikawa, 他2名
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology B 26(no. 2)

      ページ: 735-737

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of preset-type sample stage in three-dimensional atom probe2008

    • 著者名/発表者名
      S. Ito, 他8名
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis 40

      ページ: 1696-1700

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of the instrument for three-dimensional atom probe (3DAP)2008

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko, 他6名
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis 40

      ページ: 1688-1691

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study on Imidazolium-based Ionic Liquids with Scanning Atom Probe and Knuds en Effusion Mass Spectrometry2008

    • 著者名/発表者名
      A. Tolstoguzov, 他3名
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis 40

      ページ: 1614-1618

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] The stress of the needle specimen on the three-dimensional atom probe (3DAP)2008

    • 著者名/発表者名
      N. Mayama, 他4名
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis 40

      ページ: 1610-1613

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study of Graphite Nanofibers by the Scanning Atom Probe2008

    • 著者名/発表者名
      M. Taniguchi, 他3名
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 6

      ページ: 41-44

    • NAID

      130004933975

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improvement of a method for reconstructing the three-dimensional atom probe (3DAP) data2006

    • 著者名/発表者名
      T.Chiba, M.Nojima, M.Owari
    • 雑誌名

      Surface and interface analysis 38・12-13

      ページ: 1751-1755

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Pin point depth profiling for unit device or several nano-devices2006

    • 著者名/発表者名
      A.Maekawa, T.Yamamoto, Y.Ishizaki, R.Tanaka, M.Owari, M.Nojima, Y.Nihei
    • 雑誌名

      Surface and interface analysis 38・12-13

      ページ: 1747-1750

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Handling of the ice protective film for potential use in the 3D microscale analysis of biological samples2006

    • 著者名/発表者名
      T.Iwanami, Yujing Liu, M.Okazaki, M.Nojima, T.Sakamoto, M.Owari
    • 雑誌名

      Surface and interface analysis 38・12-13

      ページ: 1658-1661

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Shave-off depth profiling of dendritic short-circuit growth caused by ion migration2006

    • 著者名/発表者名
      T.Yamamoto, A.Maekawa, Y.Ishizaki, R.Tanaka, M.Owari, M.Nojima, Y.Nihei
    • 雑誌名

      Surface and interface analysis 38・12-13

      ページ: 1662-1665

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Scanning Atom Probe Study of Dissociation of Organic Molecules on Titanium Oxides2006

    • 著者名/発表者名
      O.Nishikawa, M.Taniguchi, S.Watanabe, A.Yamagishi, T.Sasaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45・3B

      ページ: 1892-1896

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Study of Molecular Reaction on Titanium Oxide by the Scanning Atom Probe2006

    • 著者名/発表者名
      M.Taniguchi, O.Nishikawa, S.Komata, S.Watanabe, A.Yamagishi, T.Sasaki
    • 雑誌名

      e-J. of Surf. Sci. and Nanotech. 4

      ページ: 521-527

    • NAID

      130004933939

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [学会発表] アトムプローブにおけるアルミニウムの電界蒸発特性2010

    • 著者名/発表者名
      梶原靖子, 他3名
    • 学会等名
      第57回 応肋理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川県平塚市
    • 年月日
      2010-03-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Development of Laser-Assisted Wide Angle Three-Dimensional Atom Probe2009

    • 著者名/発表者名
      N.Mayama, 他9名
    • 学会等名
      7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Effects of the Laser Condition on the Field Evaporation in the Laser-Assisted Atom Probe2009

    • 著者名/発表者名
      梶原靖子, 他5名
    • 学会等名
      7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] A New Specimen Preparation Method for Three-Dimensional Atom Probe2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Hanaoka, 他8名
    • 学会等名
      7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Nanoscale Three-Dimensional Element Imaging-Introductory Talk2009

    • 著者名/発表者名
      M.Owari
    • 学会等名
      7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Molecular Reaction Imaged by Scanning Atom Probe2009

    • 著者名/発表者名
      M.Taniguchi, 他1名
    • 学会等名
      7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表]2009

    • 著者名/発表者名
      M.Owari
    • 学会等名
      7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices(招待講演)
    • 発表場所
      Hawaii, USA.
    • 年月日
      2009-12-09
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Characterization of Diamond-like Carbon Deposited on Metal Substrates by Liquid-phase Electrodeposition2009

    • 著者名/発表者名
      N.Mayama, 他8名
    • 学会等名
      20th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides
    • 発表場所
      Athens, Greece
    • 年月日
      2009-09-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Field ion emission microscopy of diamond-like carbon films prepared in methanol solution2009

    • 著者名/発表者名
      T.Iwata, 他4名
    • 学会等名
      20th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides
    • 発表場所
      Athens, Greece
    • 年月日
      2009-09-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Atom-by-atom analysis of layered inorganic material and mole cular reaction on titania surface studied by the scanning atom probe2009

    • 著者名/発表者名
      M.Taniguchi, 他4名
    • 学会等名
      26th.European conference on surface science
    • 発表場所
      Parma, Italy
    • 年月日
      2009-08-30
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 走査型アトムプローブによるポリチオフェンの原子レベルの分析2009

    • 著者名/発表者名
      西川治, 他7名
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      茨城県つくば市
    • 年月日
      2009-03-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] メタノール中の通電により生成するDLCを被覆した単一タングステン電界放射陰極からの電子放射特性2008

    • 著者名/発表者名
      岩田達夫, 他6名
    • 学会等名
      第49回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      島根県松江市
    • 年月日
      2008-10-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 二次イオン質量分析器を用いたメタノール中の通電により金属基材上に堆積した炭素系被膜の分析2008

    • 著者名/発表者名
      吉田寛之, 他5名
    • 学会等名
      第49回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      島根県松江市
    • 年月日
      2008-10-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Atomic Level Analysis of Non-metallic Specimens by the Scanning Atom Probe2008

    • 著者名/発表者名
      O. Nishikawa, M. Taniguchi
    • 学会等名
      4th Vacuum and Surface Science Conference of Asia and Australia
    • 発表場所
      Matsue, Japan
    • 年月日
      2008-10-28
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 走査型アトムプローブによるカーボンナノチューブの原子レベルでの組成評価2008

    • 著者名/発表者名
      谷口昌宏, 他3名
    • 学会等名
      第2回分子科学討論会
    • 発表場所
      福岡県福岡市
    • 年月日
      2008-09-27
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 電気化学的手法によりタングステンチップ上に堆積した炭素系被膜のアトムプローブ分析2008

    • 著者名/発表者名
      吉田寛之, 他4名
    • 学会等名
      日本分析化学会第57年会
    • 発表場所
      福岡県福岡市
    • 年月日
      2008-09-10
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 走査型アトムプローブによるカーボンナノチューブの原子レベルでの組成評価2008

    • 著者名/発表者名
      西川治、谷口昌宏
    • 学会等名
      第69回応用物理学学術講演会
    • 発表場所
      愛知県名古屋市
    • 年月日
      2008-09-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Scannng atom Probe Study of Characteristic Fragmentation of Biomolecules2008

    • 著者名/発表者名
      O. Nishikawa, M. Taniguchi
    • 学会等名
      International Conference on Nanoscience Technology
    • 発表場所
      Colorado, USA.
    • 年月日
      2008-07-22
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Carbon Material Analysis by using the Scanning Atom Probe2008

    • 著者名/発表者名
      M. Taniguchi, O. Nishikawa
    • 学会等名
      The 10th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2008-07-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Development of Laser-Assisted Wide Angle Three-Dimensional Atom Probe and Its Application to Atomic Level Characterization of Real Electronic Devices2008

    • 著者名/発表者名
      M. Owari
    • 学会等名
      The 10th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2008-07-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Atomic Level Evaluation of Carbon Nanotubes by the Scanning Atom Probe2008

    • 著者名/発表者名
      O. Nishikawa, 他3名
    • 学会等名
      21st International VAcuum Nanoelectronics Conference
    • 発表場所
      Wroclaw, Poland
    • 年月日
      2008-07-14
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Characterization of carbon nanotubes by the scanning atom probe2008

    • 著者名/発表者名
      M. Taniguchi, 他3名
    • 学会等名
      The 51st International Field Emission Symposium
    • 発表場所
      Rouen, France
    • 年月日
      2008-07-01
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] New concepts for sample preparation on 3DAP using FIB2008

    • 著者名/発表者名
      S. Mikami, 他7名
    • 学会等名
      The 51st International Field Emission Symposium
    • 発表場所
      Rouen, France
    • 年月日
      2008-07-01
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Study on ionization in laser-assisted atom probe2008

    • 著者名/発表者名
      N. Mayama, 他6名
    • 学会等名
      The 51st International Field Emission Symposium
    • 発表場所
      Rouen, France
    • 年月日
      2008-07-01
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Improvement of Mass Resolution in Wide-Angle Laser-Assisted Atom-Probe by F light Path Compensation2008

    • 著者名/発表者名
      T. Iwata, 他4名
    • 学会等名
      The 51st International Field Emission Symposium
    • 発表場所
      Rouen, France
    • 年月日
      2008-07-01
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表]2008

    • 著者名/発表者名
      M.Owari
    • 学会等名
      The 10^<th> International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei University (SISS-10)(招待講演)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan.
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Quantitative Evaluation of Carbon Nano Tubes by the Scanning Atom Probe2008

    • 著者名/発表者名
      O. Nishikawa, M. Taniguchi
    • 学会等名
      AVS 55th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Development of Laser-Assisted Three-Dimensional Atom Probe for Atomic Level Characterization of Real Electronic Devices2007

    • 著者名/発表者名
      Masanori Owari
    • 学会等名
      6th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices'07
    • 発表場所
      金沢市
    • 年月日
      2007-11-02
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Study on Imidazolium-based Ionic Liquids with Scanning Atom Probe and Knudse Effusion Mass Spectrometry2007

    • 著者名/発表者名
      A.Tolstoguzov, 他3名
    • 学会等名
      6th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices'07
    • 発表場所
      金沢市
    • 年月日
      2007-10-30
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Study of graphite nanofibers by the scanning atom probe2007

    • 著者名/発表者名
      M. Taniguchi, 他3名
    • 学会等名
      6th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices'07
    • 発表場所
      金沢市
    • 年月日
      2007-10-30
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Evaluation of the instrument for three-dimensional atom probe (3DAP)2007

    • 著者名/発表者名
      T. Kaneko, 他6名
    • 学会等名
      6th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices'07
    • 発表場所
      金沢市
    • 年月日
      2007-10-30
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] The stress of the needle specimen on the three-dimensional atom probe (3DAP)2007

    • 著者名/発表者名
      N. Mayama, 他4名
    • 学会等名
      6th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices'07
    • 発表場所
      金沢市
    • 年月日
      2007-10-30
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Development of preset-type sample stage in three-dimensional atom probe2007

    • 著者名/発表者名
      S. Ito, 他8名
    • 学会等名
      6th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices'07
    • 発表場所
      金沢市
    • 年月日
      2007-10-30
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Scanning atom probe study of graphite nanofibers2007

    • 著者名/発表者名
      M, Taniguchi, 他3名
    • 学会等名
      Atom Probe Workshop 2007
    • 発表場所
      Gothenburg, Sweden
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 走査型アトムプローブによるグラファイトナノファイバーの分析2007

    • 著者名/発表者名
      谷口昌宏, 他3名
    • 学会等名
      第1回分子科学討論会
    • 発表場所
      仙台市
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] イオンを用いた新たなナノ計測への展開(「アトムプローブの新たな展開」電子情報通信学会「知識ベース」、S2郡(ナノ・量子・バイオ)-4編(ナノ加工・計測技術)-3章(ナノ計測技術-ナノプローブ以外)-3.4)2009

    • 著者名/発表者名
      間山憲仁、尾張真則
    • 出版者
      オーム社(Web公開)
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [図書] 第5版実験化学講座24(表面・界面)(第3章11節FEM, FIM,アトムプローブ)2007

    • 著者名/発表者名
      谷口昌宏
    • 総ページ数
      150
    • 出版者
      日本化学会編(株)丸善
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [図書] 第5版 実験化学講座 24(表面・界面) 第3章11節 "FEM,FIM,アトムプローブ2007

    • 著者名/発表者名
      谷口昌宏(分担執筆)
    • 出版者
      日本化学会編(株)丸善
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [産業財産権] アトムプローブ用針状試料の加工方法及び集束イオンビーム装置2007

    • 発明者名
      尾張真則, 皆藤孝, 野島雅
    • 権利者名
      尾張真則, 皆藤孝, 野島雅
    • 産業財産権番号
      2007-279319
    • 出願年月日
      2007-10-26
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [産業財産権] 試料及び電極ホルダユニット、位置調整台、並びに試料及び電極の装置への組付方法2007

    • 発明者名
      尾張真則, 野島雅,谷口昌宏, 間山憲仁, 足立達哉
    • 権利者名
      尾張真則, 野島雅,谷口昌宏, 間山憲仁, 足立達哉
    • 産業財産権番号
      2007-279318
    • 出願年月日
      2007-10-26
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [産業財産権] アトムプローブ用針状試料の加工方法及び集束イオンビーム装置2007

    • 発明者名
      尾張真則, 皆藤孝, 野島雅
    • 権利者名
      尾張真則, 皆藤孝, 野島雅
    • 出願年月日
      2007-10-26
    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
  • [産業財産権] 試料及び電極ホルダユニット、位置調整台、並びに試料及び電極の装置への組付方法2007

    • 発明者名
      尾張真則, 野島雅,谷口昌宏, 間山憲仁, 足立達哉
    • 権利者名
      尾張真則, 野島雅,谷口昌宏, 間山憲仁, 足立達哉
    • 出願年月日
      2007-10-26
    • 関連する報告書
      2008 自己評価報告書
  • [産業財産権] 特許権2007

    • 発明者名
      尾張真則, 他4名
    • 権利者名
      尾張真則, 他4名
    • 産業財産権番号
      2007-279318
    • 出願年月日
      2007-10-26
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [産業財産権] 特許権2007

    • 発明者名
      尾張真則, 他2名
    • 権利者名
      尾張真則, 他2名
    • 産業財産権番号
      2007-279319
    • 出願年月日
      2007-10-26
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2006-04-01   更新日: 2016-04-21  

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