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透明材料の超短パルスレーザ加工閾値に関する熱的・電子的統一モデリングの構築

研究課題

研究課題/領域番号 18H01379
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分19020:熱工学関連
研究機関東京工業大学

研究代表者

伏信 一慶  東京工業大学, 工学院, 教授 (50280996)

研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)
2020年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2019年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2018年度: 14,820千円 (直接経費: 11,400千円、間接経費: 3,420千円)
キーワードレーザ / 透明材料 / 加工閾値 / 熱工学 / パルスレーザ
研究成果の概要

透明材料の超短パルスレーザ加工における熱的・電子的な加工メカニズムについて実験的・理論的な検討を行い、その重畳性について理論的な説明を与えた。溶融石英を対象に超短パルスレーザ加工を行い、その加工閾値については特徴的な振る舞いを示し、パルス幅依存性を有することを確認した。また加工深さについてはフルエンスに対して2段階の特徴を示す。この解析のため電子のrate eq.、電場解析のBPMと、2温度モデルによる電子・格子の温度上昇解析を組み合わせることで、数百fsのパルス幅領域における両者の重畳性を説明できた。これにより当初目的とした統一的モデリングの重要性の確認を果たしている。

研究成果の学術的意義や社会的意義

ガラスなどの透明材料はスマートフォンやディスプレイ、微量試薬検査など膨大な応用があるが、一般に硬くて脆い材料が多いため機械加工が困難で、レーザ加工が期待される。しかしながら「透明」材料であるため、レーザ光を吸収させ加工に至らせる現象が複雑で、意図した加工を施すための条件設定が極めて複雑である。本研究ではこの課題に理論的説明を与えるため、非線形光学効果と呼ばれる現象により光吸収が強くなる1兆分の1秒程度以下の超短パルスで発光するレーザを用いた加工現象について、従来から言われてきた電子の挙動と、条件によって共存する熱的な挙動の両者を統一的に論じることの重要性を提起し、実験と理論計算により検証した。

報告書

(4件)
  • 2021 研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実績報告書
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2022 2021 2020 2019 2018

すべて 雑誌論文 (1件) (うち国際共著 1件、 査読あり 1件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 6件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Selective laser ablation of metal thin films using ultrashort pulses2020

    • 著者名/発表者名
      B. Kim, H. K. Nam, S. Watanabe, S. Park, Y. Kim, Y.-J. Kim, K. Fushinobu, S.-W. Kim
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology

      巻: 8 号: 3 ページ: 771-782

    • DOI

      10.1007/s40684-020-00272-w

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] Numerical study on ultrashort pulse laser processing of transparent material2022

    • 著者名/発表者名
      F. Sha, S. Liu, M. Chijiiwa, J.A. L'huillier, K. Fushinobu
    • 学会等名
      ISTP32
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Key roles of thermal engineering in photonic subtractive/additive manufacturing (Keynote)2021

    • 著者名/発表者名
      K. Fushinobu
    • 学会等名
      2nd ACTS
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Two-temperature modeling of the thermal response of gold thin film under femtosecond laser irradiation2020

    • 著者名/発表者名
      S. Watanabe, B. Kim, S.-W. Kim, K. Fushinobu
    • 学会等名
      ThermaComp2020 (accepted for publication)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 透明材料の短パルスレーザ加工特性2019

    • 著者名/発表者名
      劉 聖輝、中村 勇太、清川 春矢、井関 凌也、伏信 一慶
    • 学会等名
      日本機械学会熱工学コンファレンス 2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Numerical analysis of pulse laser assisted curing region of photocurable resins2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakamura, K. Fushinobu, A. Tamura
    • 学会等名
      ASME InterPACK2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical analysis of the transparent materials machining by using short pulse lasers2018

    • 著者名/発表者名
      S. Kiyokawa, Y. Nakamura, K. Fushinobu
    • 学会等名
      ISTP-29
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Femtosecond laser induced forward transfer of Au nanoparticles for laser direct writing with sub-wavelength resolution2018

    • 著者名/発表者名
      S. Watanabe, B. Kim, S.W. Kim, K. Fushinobu
    • 学会等名
      ISTP-29
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2018-04-23   更新日: 2023-01-30  

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