| 研究課題/領域番号 |
18H01490
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
年吉 洋 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (50282603)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2021-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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| 配分額 *注記 |
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2020年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2019年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2018年度: 11,440千円 (直接経費: 8,800千円、間接経費: 2,640千円)
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| キーワード | MEMS / エナジーハーベスタ / 振動発電 / エレクトレット / 半導体 / マイクロマシン / マイクロマシニング / シリコン |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、ＭＥＭＳ技術を用いて設計・製作した振動発電型のエナジーハーベスタと電子回路との融合により、チップ内に外部から流入する環境振動から電力を生成することで、回路動作に必要な電力を自給自足する新技術の実現に取り組んだ。特に検証実験として、ＭＥＭＳ振動発電素子で得られた電力によってチップマイコン、ＦＲＡＭ、タイマーＩＣを間欠的に動作する実験を行った。また、環境の温度・湿度を継続的にモニタする無線センサが構築可能であることを実験により示した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
半導体微細加工技術の進展に伴ってエレクトロニクス素子のチップ小型化は急速な勢いで進んでいるが、それに電力を供給する側は依然として電源アダプタ・電池を使い続けている。そこで本研究ではＭＥＭＳ技術によって超小型エナジーハーベスタを構成し、環境振動から得たエネルギーで電力を自給自足するエレクトロニクス技術を構築し、ＩｏＴの発展に貢献する。
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