| 研究課題/領域番号 |
18H01495
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
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| 研究機関 | 富山大学 |
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研究代表者 |
前澤 宏一 富山大学, 学術研究部工学系, 教授 (90301217)
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| 研究分担者 |
安藤 浩哉 豊田工業高等専門学校, 情報工学科, 教授 (30212674)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2022-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2021年度)
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| 配分額 *注記 |
17,030千円 (直接経費: 13,100千円、間接経費: 3,930千円)
2021年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2020年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2019年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2018年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
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| キーワード | ΔΣ変調 / 共鳴トンネル / THz / センサ / 周波数ΔΣ変調 / 発振器 / マイクロフォン / FPGA / ノイズフロア |
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| 研究成果の概要 |
本研究は、THz に達する超高周波発振器を用いた周波数ΔΣ変調方式に基づく新しいセンサ技術を開拓するものある。周波数ΔΣ変調方式は、高分解能・高ダイナミックレンジとともに高速動作、広帯域を特徴とするアナログデジタル変換器のコアであり、外部物理量で周波数が変化する発振器を用いることにより、シンプルな構成で高性能なセンサが可能となる。本研究では、この方式を用いた基本センサとして、空洞共振器マイクロフォンセンサの高性能化を実現するとともに、これを用いた原子間力顕微鏡など新たなセンサを提案した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究で対象とした周波数ΔΣ変調方式センサは、高分解能・高ダイナミックレンジ・広帯域であるとともに、本質的にデジタル出力であるという特徴を持つ。高性能なセンサにおける問題点の一つが高性能なアナログデジタル変換を必要とする点であり、本研究成果はこの点で大きな意義がある。また、本センサは外部物理量で周波数が変化する発振器ができれば様々な物理量のセンシングに適用でき、その効果は大きい。例えば、本研究で対象としたマイクロフォンセンサはメンブレンの変位をセンサする位置センサとしても利用でき、幅広い応用が期待できる。
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