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アモルファス窒化炭素における光誘起変形現象の解明

研究課題

研究課題/領域番号 18H01715
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分26020:無機材料および物性関連
研究機関鹿児島大学

研究代表者

青野 祐美  鹿児島大学, 理工学域工学系, 教授 (80531988)

研究分担者 北沢 信章  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), 電気情報学群, 教授 (60272697)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
13,650千円 (直接経費: 10,500千円、間接経費: 3,150千円)
2021年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2020年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2019年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
2018年度: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
キーワード光エネルギー変換 / アモルファス / カーボン / 薄膜 / 窒化物 / スパッタ法 / アモルファス窒化炭素 / 光誘起変形 / エネルギー変換 / 光駆動デバイス
研究成果の概要

スパッタ法で作製したある種のアモルファス窒化炭素薄膜において、可視光の照射中のみ一時的な体積変化が生じる光誘起変形現象が見られる。この薄膜は、光エネルギーを直接力学的エネルギーに変換できることから、光駆動デバイスへの応用が期待できる。しかしながら、アモルファス窒化炭素薄膜の光誘起変形機構はほとんどわかっていない。そこで本研究では、アモルファス窒化炭素薄膜の光誘起変形機構解明を目的とし、X線光電子分光(XPS)法、X線発光分光(SXES)法、赤外分光(FT-IR)法等による化学結合状態解析を実施し、光誘起変形に寄与する化学結合状態の特定を試みた。

研究成果の学術的意義や社会的意義

アモルファス窒化炭素薄膜の光誘起変形において、炭素ー炭素結合がその起源であり、窒素を添加することでより大きな変形が生じることが明らかとなった。これらの知見をもとに、炭素ー窒素結合の多いアモルファス窒化炭素薄膜を作製することで、今後、アモルファス窒化炭素薄膜を用いたスイッチやアクチュエータなどの光駆動デバイス開発が期待できる。特に、アモルファス窒化炭素薄膜は、簡便かつ大面積化が可能な方法で作製できることから、電気を一切用いずに光量に応じて開閉するブラインドなど、大型デバイスへの応用も期待できる。

報告書

(5件)
  • 2022 研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実績報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて 2022 2021 2020 2019 2018

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 4件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Visible light irradiation effects on chemical bonding structure of amorphous carbon nitride thin films using synchrotron radiation infrared rays2021

    • 著者名/発表者名
      Aono Masami、Kishimura Hiroaki
    • 雑誌名

      Journal of Non-Crystalline Solids

      巻: 568 ページ: 120963-120963

    • DOI

      10.1016/j.jnoncrysol.2021.120963

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 高輝度赤外光を用いた可視光照射下におけるアモルファス窒化炭素薄膜の化学結合状態解析2020

    • 著者名/発表者名
      青野祐美, 岸村浩明
    • 雑誌名

      SPring-8/SACLA利用研究成果集

      巻: 8 号: 2 ページ: 329-332

    • DOI

      10.18957/rr.8.2.329

    • NAID

      130007969797

    • ISSN
      2187-6886
    • 年月日
      2020-08-21
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Photoinduced deformation of a-C thin films prepared by RF magnetron sputtering2020

    • 著者名/発表者名
      Masami Aono, Hisashi Miyazaki, Nobuaki Kitazawa, Yohei Sato, Masami Terauchi
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: 108 ページ: 107844-107844

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2020.107844

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 可視光ー運動エネルギー変換脳を有するアモルファス窒化炭素薄膜2019

    • 著者名/発表者名
      青野祐美, 原田人萌, 寺内正己
    • 雑誌名

      NEW DIAMOND

      巻: 133 ページ: 30-33

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [雑誌論文] Non-uniform Excitation States in Photoinduced Deformation of Amorphous Carbon Nitride Films2018

    • 著者名/発表者名
      Aono Masami、Harata Tomo、Kitazawa Nobuaki、Abe Hiroshi、Ishii Shingo、Sato Yohei、Terauchi Masami
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 8 号: 1 ページ: 1-7

    • DOI

      10.1038/s41598-018-33364-4

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 光誘起変形能を有するアモルファス窒化炭素薄膜のNEXAFSスペクトル解析2022

    • 著者名/発表者名
      下野眞裕、青野祐美、神田一浩
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Chemical State Mapping of Amorphous Carbon and Amorphous Carbon Nitride Thin Films via Soft X-ray and Synchrotron Radiation Infrared Rays2021

    • 著者名/発表者名
      M. Aono, M. Shimono, H. Kishimura, Y. Sato and M. Terauchi
    • 学会等名
      14th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2020/2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 光誘起変形能を有するアモルファス炭素系薄膜のSXESスペクトル解析2021

    • 著者名/発表者名
      下野眞裕、佐藤庸平、寺内正己、青野祐美
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] アモルファス炭素薄膜の光誘起変形に及ぼす窒素添加効果2020

    • 著者名/発表者名
      青野祐美
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] スパッタ法で作製したアモルファス炭素薄膜およびアモルファス窒化炭素薄膜の熱膨張係数評価2020

    • 著者名/発表者名
      青野祐美, 宮﨑尚, 春日貴章, 能木雅也
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] アモルファス炭素(a-C)薄膜の光誘起変形2019

    • 著者名/発表者名
      青野祐美, 鈴木健太, 北沢 信章, 佐藤 庸平,寺内 正己
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 可逆性光誘起変形を示すアモルファス窒化炭素薄膜の発見2019

    • 著者名/発表者名
      青野祐美
    • 学会等名
      第3回次世代スマート・マテリアルの創製と応用展開に関する研究会講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 軟X線発光分光および高輝度赤外分光を用いたアモルファス窒化炭素薄膜の化学結合状態評価2019

    • 著者名/発表者名
      青野祐美, 岸村浩明, 石井信伍, 佐藤庸平, 寺内正己
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] アモルファス窒化炭素薄膜の光誘起変形における光熱効果の影響2018

    • 著者名/発表者名
      青野祐美, 原田人萌, 北沢信章
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [図書] Carbon Related Materials2021

    • 著者名/発表者名
      M. Aono, T. Harata
    • 総ページ数
      394
    • 出版者
      Springer
    • ISBN
      9789811576096
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書

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公開日: 2018-04-23   更新日: 2024-01-30  

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