| 研究課題/領域番号 |
18H01745
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分26050:材料加工および組織制御関連
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| 研究機関 | 横浜国立大学 |
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研究代表者 |
長谷川 誠 横浜国立大学, 大学院工学研究院, 准教授 (50376513)
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| 研究分担者 |
小沼 誠司 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所, 川崎技術支援部, グループリーダー (00580581)
高木 眞一 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所, 機械・材料技術部, 部長 (60426369)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2021-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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| 配分額 *注記 |
17,810千円 (直接経費: 13,700千円、間接経費: 4,110千円)
2020年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2019年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2018年度: 11,700千円 (直接経費: 9,000千円、間接経費: 2,700千円)
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| キーワード | 集合組織 / 結晶配向 / エアロゾルデポジション / 常温成膜 / 耐摩耗性 / 耐剥離性 |
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| 研究成果の概要 |
常温にて粒子を基材に衝突させることで膜を形成する技術であるエアロゾルデポジション(AD)法では、粒子衝突時の粒子の塑性変形により成膜されることに着目して、結晶方位の揃った高配向なセラミックス膜の実現を試みた。粉末の種類によるものの、成膜時のガス流量の増加および成膜後の熱処理によって、高配向な膜が形成されることが見出された。また、AIP法によるTiN膜に近い力学特性を示す膜がAD法により作製できることも明らかとなった。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究は、高速変形での集合組織形成を理解し、金属での常温・高温での変形に伴う集合組織形成および熱処理による再結晶集合組織の形成の理解をセラミックスにまで拡張するものである。それゆえ、結晶配向に基づいたAD法の成膜原理の理解に繋がると考える。この配向制御法は低温成膜法の一つであるAD法に新たな用途展開の可能性を開くものであり、異方性を積極的に利用したい圧電素子や熱電変換素子など、様々な分野への応用が期待できる。
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