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次世代不揮発性メモリに向けたd電子系相変化カルコゲナイドの開拓

研究課題

研究課題/領域番号 18H02053
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分36010:無機物質および無機材料化学関連
研究機関東北大学

研究代表者

須藤 祐司  東北大学, 工学研究科, 教授 (80375196)

研究分担者 齊藤 雄太  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (50738052)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
17,550千円 (直接経費: 13,500千円、間接経費: 4,050千円)
2020年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2019年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
2018年度: 8,190千円 (直接経費: 6,300千円、間接経費: 1,890千円)
キーワード相変化メモリ / 不揮発性メモリ / アモルファス / 結晶化 / 結晶多形転移 / アモルファス化 / 相変化材料 / 光電子分光 / 局所構造 / 結晶 / 相転移 / 伝導機構
研究成果の概要

本研究では、アモルファス/結晶相変化を利用した次世代メモリ:相変化メモリに着目し、その動作性能を革新する新材料創成に取り組んだ。従来性能を凌駕する省エネルギー、高速動作かつ高耐熱性を可能にする遷移金属含有カルコゲナイドについて、アモルファス中では遷移金属元素がナノクラスター化する事を実験的に明らかにし、相変化に伴うナノクラスター減少により電気物性が大きく変化する事が分かった。また、窒素添加により、ナノクラスター形成を抑制でき、電気物性を制御できることを明らかにした。更に、アモルファス化を必要としない、超省エネルギーかつ超高速動作を実現する結晶多形転メモリ材料の創成に成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

Society5.0に向け、膨大なデータを保管する不揮発性メモリの高性能化が強く求められている。現在主流の不揮発性メモリはその動作原理故に、その性能向上は限界に達しつつある。それ故、新メモリが世界中で研究開発されているが、中でも相変化メモリは、材料の相変化に伴う抵抗変化を利用してデータ記録する単純な動作原理を持つ。本研究では相変化メモリの革新に向け、従来性能を凌駕する新材料を創成し、その相変化挙動の解明に取り組んだ。相変化材料中の遷移金属元素の重要な役割を明らかにすると共に、省エネ、高速動作かつ高耐熱性を可能とする相変化メモリを実現する事に成功し、学術的にも工業的にも意義の高い成果を得た。

報告書

(4件)
  • 2020 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実績報告書
  • 研究成果

    (79件)

すべて 2021 2020 2019 2018 その他

すべて 国際共同研究 (5件) 雑誌論文 (27件) (うち国際共著 11件、 査読あり 16件、 オープンアクセス 7件) 学会発表 (47件) (うち国際学会 8件、 招待講演 9件)

  • [国際共同研究] Hangyang University(韓国)

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      2020 実績報告書
  • [国際共同研究] Herzen State Pedagogical University(ロシア連邦)

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  • [国際共同研究] Hanyang University(韓国)

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  • [国際共同研究] Herzen State Pedagogical University(ロシア連邦)

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      2018 実績報告書
  • [雑誌論文] Dimensional transformation of chemical bonding during crystallization in a layered chalcogenide material2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Saito, S. Hatayama, Y. Shuang, P. Fons, A.V. Kolobov, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 11 号: 1 ページ: 1-1

    • DOI

      10.1038/s41598-020-80301-5

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      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Thermal stability and polymorphic transformation kinetics in β-MnTe films deposited via radiofrequency magnetron sputtering2021

    • 著者名/発表者名
      S.Mori, S. Hatayama, D. Ando, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: 4 ページ: 045504-045504

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abee03

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      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Temperature-Dependent Electronic Transport in Non-Bulk-Resistance-Variation Nitrogen-Doped Cr2Ge2Te6 Phase-Change Material2021

    • 著者名/発表者名
      Y. SHuang, S. Hatayama, D. Ando, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi - Rapid Research Letters

      巻: 15 号: 3 ページ: 2000415-2000415

    • DOI

      10.1002/pssr.202000415

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      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] High Contact Resistivity Enabling Low-Energy Operation in Cr2Ge2Te6-Based Phase-Change Random Access Memory2021

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Abe, D. Ando, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi - Rapid Research Letters

      巻: 15 号: 3

    • DOI

      10.1002/pssr.202000392

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      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sequential two-stage displacive transformation from β to α via β′ phase in polymorphic MnTe film2020

    • 著者名/発表者名
      S. Mori, D. Andi, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Materials and Design

      巻: 196 ページ: 109141-109141

    • DOI

      10.1016/j.matdes.2020.109141

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      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] The importance of contacts in Cu2GeTe3 phase change memory devices2020

    • 著者名/発表者名
      S. SHindo, Y. Shuang, S. Hatayama, Y. Saito, P. Fons, A.V. Kolobov, K. Kobayaashi, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 128 号: 16

    • DOI

      10.1063/5.0019269

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      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Mixed-conduction mechanism of Cr2Ge2Te6 film enabling positive temperature dependence of electrical conductivity and seebeck coefficient2020

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Yagi, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Results in Physics

      巻: 8 ページ: 100155-100155

    • DOI

      10.1016/j.rinma.2020.100155

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      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Nitrogen doping-induced local structure change in a Cr2Ge2Te6 inverse resistance phase-change material2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Shuang, S. Hatayama, H. Tanimura, D. Ando, T. Ichitsubo, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Materials Advances

      巻: 1 号: 7 ページ: 2426-2432

    • DOI

      10.1039/d0ma00554a

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      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] eversible displacive transformation in MnTe polymorphic semiconductor2020

    • 著者名/発表者名
      S. Mori, S. Hatayama, Y. Shuang, D. Ando, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Nature Communications

      巻: 11 号: 1 ページ: 85-85

    • DOI

      10.1038/s41467-019-13747-5

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      2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Bidirectional Selector Utilizing Hybrid Diodes for PCRAM Applications2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Shuang, S. Hatayama, J. An, J. Hong,, D. Ando.,Y.H. Song,, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 9 号: 1 ページ: 20209-20209

    • DOI

      10.1038/s41598-019-56768-2

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      2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Cr-Triggered Local Structural Change in Cr2Ge2Te6 Phase Change Material2019

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Shuang, P. Fons, Y. Saito, A.V. Kolobov, K. Kobayashi, S. Shindo, D. Ando, Y. Sutou
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials and Interfaces

      巻: 11 号: 46 ページ: 43320-43329

    • DOI

      10.1021/acsami.9b11535

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      2019 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Relation between density and optical contrasts upon crystallization in Cr2Ge2Te6 phase-change material: Coexistence of a positive optical contrast and a negative density contrast2019

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, D. Ando, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 52 号: 32 ページ: 325111-325111

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ab233f

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      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical transport mechanism of the amorphous phase in Cr2Ge2Te6 phase change material2019

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Sutou, D. Ando, J. Koike and K. Kobayashi
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 52 号: 10 ページ: 105103-105109

    • DOI

      10.1088/1361-6463/aafa94

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    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Systematic materials design for phase-change memory with small density changes for high-endurance non-volatile memory applications2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Saito, S. Hatayama, Y. Shuang, S. Shindo, P. Fons, A.V. Kolobov, K. Kobayashi, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 12 号: 5 ページ: 051008-051008

    • DOI

      10.7567/1882-0786/ab1301

    • NAID

      210000155693

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      2019 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Structral change by annealing in sputtered MnTe film2019

    • 著者名/発表者名
      S. Mori, D. Ando, Y. Sutou
    • 雑誌名

      E\PCOS2019 Proceedings

      巻: 1 ページ: 138-139

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  • [雑誌論文] PN Diode Properties of N-type Oxide/p-type N-doped Cr2Ge2Te6 and Its Application for Slf-selective PCRAM2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Shuang, S. Hatayama, J. Seop, J.P. Hong, D. Ando, Y.H. Song, Y. Sutou
    • 雑誌名

      E\PCOS2019 Proceedings

      巻: 1 ページ: 81-82

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  • [雑誌論文] Conduction mechanism of sputtered amorphous Cr2Ge2Te6 film2019

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, D. Ando, K. Kobayashi, Y. Sutou
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      E\PCOS2019 Proceedings

      巻: 1 ページ: 24-25

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    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Shunag, P. Fons, Y. Saito, A.V. Kolovov, K. Kobayashi, D. Ando, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of PCOS2019

      巻: 1 ページ: 74-77

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  • [雑誌論文] Resistive switching in MnTe film2019

    • 著者名/発表者名
      S. Mori, D. Ando, Y. Sutou
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      Proceedings of PCOS2019

      巻: 1 ページ: 85-86

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  • [雑誌論文] Diode chracteristics of MnTe/Oxide stack structure2019

    • 著者名/発表者名
      M. Kim, S. Mori, D. Adno, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of PCOS2019

      巻: 1 ページ: 87-88

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    • 著者名/発表者名
      T. Iijima, S. Hatayama, Y. Shuang, S. Mori, J.S. An, Y.H. Song, D. Ando, Y. Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of PCOS2019

      巻: 1 ページ: 99-100

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  • [雑誌論文] Electrical transport mechanism of the amorphous phase in Cr2Ge2Te6 phase change material2019

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y.Sutou, D. Ando, J. Koike, K. Kobayashi
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 52

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      2018 実績報告書
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    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Sutou, D. Ando, J. Koike
    • 雑誌名

      MRS Communications

      巻: 8 号: 3 ページ: 1167-1172

    • DOI

      10.1557/mrc.2018.176

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    • 著者名/発表者名
      Y. Shuang, S. Hatayama, Y. Sutou, D. Ando, J. Koike, H. Tanimura, T. Ichitsubo
    • 雑誌名

      Proceedings of European Phase Change and Ovonic Symposium

      巻: 1 ページ: 143-144

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      2018 実績報告書
  • [雑誌論文] Crystallization linetics of inverse resistance change Cr2Ge2Te62018

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Sutou, D. Ando, J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of European Phase Change and Ovonic Symposium

      巻: 1 ページ: 131-132

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      2018 実績報告書
  • [雑誌論文] Non-isothermal crystallization kinetics of amorphous Cr2Ge2Te6 film2018

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Sutou, D. Ando, J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of Phase Change Oriented Science

      巻: 1 ページ: 75-76

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      2018 実績報告書
  • [雑誌論文] Cr2Ge2Te6-based PCRAM showing low resistance amorphous and high resistance cyrtsalline states2018

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Sutou, D. Ando, J. Koike
    • 雑誌名

      IECE Technical Report

      巻: 118 ページ: 21-26

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      2018 実績報告書
  • [学会発表] Cr2Ge2Te6メモリデバイスの動作エネルギーに及ぼすコンタクト抵抗の影響2021

    • 著者名/発表者名
      畑山祥吾,阿部泰寛,安藤大輔,須藤祐司
    • 学会等名
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    • 著者名/発表者名
      森竣祐,安藤大輔,須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会春期講演大会
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      2020 実績報告書
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    • 著者名/発表者名
      須藤祐司,畑山祥吾,森竣祐,SHUANG YI
    • 学会等名
      応用物理学会春期講演大会
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      2020 実績報告書
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  • [学会発表] 不揮発性メモリ用逆抵抗変化型相変化材料の開発2021

    • 著者名/発表者名
      畑山祥吾,須藤祐司
    • 学会等名
      応用物理学会春期講演大会
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      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 原子変位によるMnTe薄膜のβ→α多形変化2021

    • 著者名/発表者名
      森竣祐,安藤大輔,須藤祐司
    • 学会等名
      応用物理学会春期講演大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 相変化メモリ材料の研究開発動向2020

    • 著者名/発表者名
      須藤祐司,畑山祥吾,森竣祐、SHUANG YI
    • 学会等名
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      2020 実績報告書
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    • 著者名/発表者名
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      2020 実績報告書
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      Shunsuke Mori, Daisuke Ando, and Yuji Sutou
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      畑山祥吾,須藤祐司
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      森竣祐,安藤大輔,須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会秋期講演大会
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      金美賢,森竣祐,安藤大輔,須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会秋期講演大会
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      金美賢,森竣祐,安藤大輔,須藤祐司
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      応用物理学会秋期講演大会
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      森竣祐,安藤大輔,須藤祐司
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      応用物理学会秋期講演大会
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    • 著者名/発表者名
      畑山祥吾,須藤祐司
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      応用物理学会秋期講演大会
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    • 著者名/発表者名
      須藤祐司,畑山祥吾,SHUANG YI,森竣祐
    • 学会等名
      応用物理学会秋期講演大会
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      2020 実績報告書
    • 招待講演
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      International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
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    • 著者名/発表者名
      須藤 祐司、畑山 祥吾
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
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    • 招待講演
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    • 著者名/発表者名
      森 竣祐、安藤 大輔、須藤 祐司
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
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  • [学会発表] 不揮発性メモリ用Cr2Ge2Te6相変化材料の局所構造の解明2020

    • 著者名/発表者名
      畑山 祥吾、シュアン イ、フォンス ポール、齊藤 雄太、コロボフ アレキサンダー、小林 啓介、進藤 怜史、安藤 大輔、須藤 祐司
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 次世代不揮発性メモリ:PCRAMの新規材料開発2019

    • 著者名/発表者名
      須藤祐司
    • 学会等名
      異分野新素材研究会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Inverse Resistance Change PCRAM with Cr2Ge2Te62019

    • 著者名/発表者名
      Shogo Hatayama and Yuji Sutou
    • 学会等名
      The Future of Materials Engineering - Dramatic Innovation to the next 100 years
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] α-MnTe/AZO積層構造を用いたpn接合ダイオードの創製2019

    • 著者名/発表者名
      金美賢,森竣祐,安藤大輔,須藤祐司
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Cu2GeTe3相変化メモリにおける動作エネルギーの電極面積依存性2019

    • 著者名/発表者名
      飯島平, 安藤大輔, 須藤祐司, ジュン ソプ アン, ユン ヘブ ソン
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Cu2GeTe3相変化メモリにおける動作エネルギーの電極面積依存性2019

    • 著者名/発表者名
      飯島平, 畑山祥吾, 双逸, 森竣祐, ジュン ソプ アン, ユン ヘブ ソン, 安藤大輔, 須藤祐司
    • 学会等名
      相変化研究会シンポジウム PCOS2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Resistive switching in MnTe film2019

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Mori, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 学会等名
      相変化研究会シンポジウム PCOS2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] MnTeスパッタリング薄膜の加熱による相変化2019

    • 著者名/発表者名
      森 竣祐,安藤 大輔,須藤 祐司
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] MnTe多形体薄膜の相変化2019

    • 著者名/発表者名
      森 竣祐、安藤 大輔、須藤 祐司
    • 学会等名
      日本金属学会秋期講演大会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Structural change by annealing in sputtered MnTe film2019

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Mori, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 学会等名
      EPCOS2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Optical and electronic properties of MnTe thin film2019

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Mori, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 学会等名
      The Future of Materials Engineering - Dramatic Innovation to the next 100 years
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Conduction mechanism of sputtered amorphous Cr2Ge2Te6 film2019

    • 著者名/発表者名
      Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Kobayashi Keisuke and Yuji Sutou
    • 学会等名
      EPCOS2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 逆抵抗変化型Cr2Ge2Te6相変化材料のメモリ特性2019

    • 著者名/発表者名
      畑山祥吾, 安藤大輔, 須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会第秋期講演大会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Local Structural Change in Cr2Ge2Te6 Phase Change Material, Inducing Abnormal Phase Change Behavior2019

    • 著者名/発表者名
      Shogo Hatayama, Yi Shuang, Paul Fons, Yuta Saito, Alexander V. Kolobov, Keisuke Kobayashi, Satoshi Shindo, Daisuke Ando
    • 学会等名
      相変化研究会シンポジウム PCOS2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] スパッタ法により成膜したCr-Ge-Te化合物薄膜の相変化挙動2019

    • 著者名/発表者名
      畑山祥吾, 安藤大輔, 須藤祐司
    • 学会等名
      日本材料科学会 若手研究者討論会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] MnTe/AZO積層構造を用いたpn接合ダイオード創製2019

    • 著者名/発表者名
      金美賢,森俊祐,安藤大輔,須藤祐司
    • 学会等名
      日本材料科学会 若手研究者討論会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 窒素ドープCr2Ge2Te6の相変化挙動及および接触抵抗変化2019

    • 著者名/発表者名
      SHUANG YI,安藤 大輔,須藤祐
    • 学会等名
      日本材料科学会 若手研究者討論会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] MnTe/Oxide積層構造にけるダイオード特性及びその応用可能性2019

    • 著者名/発表者名
      金 美賢、森 竣祐、安藤 大輔、須藤 祐司
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] M. Kim, S. Mori, D. Adno, Y. Sutou2019

    • 著者名/発表者名
      M. Kim, S. Mori, D. Adno, Y. Sutou
    • 学会等名
      相変化研究会シンポジウム PCOS2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] PN Diode Properties of N-type Oxide/p-type N-doped Cr2Ge2Te6 and Its Application for Slf-selective PCRAM2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Shuang, S. Hatayama, J. Seop, J.P. Hong, D. Ando, Y.H. Song, Y. Sutou
    • 学会等名
      EPCOS2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 低抵抗アモルファスCr2Ge2Te6の電気伝導機構2019

    • 著者名/発表者名
      畑山 祥吾、須藤 祐司、安藤 大輔、小池 淳一、小林 啓介
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 不揮発性相変化メモリ用遷移金属カルコゲナイド相変化材料の開発2019

    • 著者名/発表者名
      齊藤 雄太、畑山 祥吾、雙 逸、進藤 怜史、フォンス ポール、コロボフ アレクサンダー、小林 啓介、須藤 祐司
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Contact resistance change memory with N-doped Cr2Ge2Te6 phase change material2019

    • 著者名/発表者名
      YI SHUANG、Yuji Sutou、Shogo Hatayama、Satoshi Shindo、Song Yunheub、Daisuke Ando、Junichi Koike
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Non-isothermal crystallization kinetics of amorphous Cr2Ge2Te6 film2018

    • 著者名/発表者名
      Shogo Hatayama, Yuji Sutou, Daisuke Ando, and Junichi Koike
    • 学会等名
      相相変化研究会シンポジウム(PCOS)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 逆抵抗変化Cr2Ge2Te6相変化材料の結晶化メカニズム2018

    • 著者名/発表者名
      畑山 祥吾、須藤 祐司、安藤 大輔、小池 淳一、齊藤 雄太、進藤 怜史、ユン ヘブ ソン
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 不揮発性メモリ用遷移金属相変化材料の電子構造の解明2018

    • 著者名/発表者名
      齊藤 雄太、須藤 祐司、フォンス ポール、コロボフ アレクサンダー、進藤 怜史、畑山 祥吾、雙 逸、コジーナ ゼニア、スケルトン ジョナサン、小林 啓介
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 低抵抗アモルファス相と高抵抗結晶相を有するCr2Ge2Te6を用いた相変化メモリ2018

    • 著者名/発表者名
      畑山祥吾、須藤祐司、安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      シリコン材料・デバイス研究会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Crystallization Kinetics of Inverse Resistance Change Cr2Ge2Te62018

    • 著者名/発表者名
      Shogo Hatayama, Yuji Sutou, Daisuke Ando, and Junichi Koike
    • 学会等名
      European Phase change and Ovonic Symposium
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Phase change behavior of non-bulk resistance change N-doped Cr2Ge2Te6 phase change material2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Shuang, S. Hatayama, Y. Sutou, D. Ando, J. Koike, H. Tanimura, T. Ichitsubo
    • 学会等名
      European Phase change and Ovonic Symposium
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2018-04-23   更新日: 2022-01-27  

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