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X線散乱法による物質表面および埋もれた界面の階層構造の可視化

研究課題

研究課題/領域番号 18H03479
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分80040:量子ビーム科学関連
研究機関公益財団法人高輝度光科学研究センター

研究代表者

田尻 寛男  公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 主幹研究員 (70360831)

研究分担者 豊川 秀訓  公益財団法人高輝度光科学研究センター, 情報処理推進室, 主幹研究員 (60344397)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
17,680千円 (直接経費: 13,600千円、間接経費: 4,080千円)
2020年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2019年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2018年度: 10,140千円 (直接経費: 7,800千円、間接経費: 2,340千円)
キーワード放射光 / 表面・界面 / X線散乱 / 階層構造
研究成果の概要

本研究は、高輝度放射光による回折・散乱手法をつかって、結晶表面および埋もれた界面のメゾスコピックレベル構造から原子レベル構造までの表面階層構造を可視化する手法開発を目的とした。ここ数十年にわたる表面X線回折・散乱の歴史を俯瞰し、計測手法・装置の発展および表面・界面原子の可視化手法を総括した結果を踏まえ、SPring-8にて入射光量を最大2.5倍増大させる非対称結晶光学系を実現、試料の高効率冷却により熱散漫散乱を低減した高信号対雑音比の表面回折・散乱実験を可能とした。コヒーレント散乱実験により数百ナノメートルサイズの微細構造試料の像再生にも成功し、表面階層構造を可視化できる手法開発に成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

我々が開発した、結晶表面の原子レベル構造に加えてより大きなスケールの秩序構造すなわち階層構造を可視化できる手法は、これまで解析の難しかった腐食やメッキ加工、自己組織化など表面が重要な役割を果たしている広範な分野に対しても適用可能であり意義深い。研究の過程で実現した、入射光量を最大2.5倍増大させる非対称結晶光学系は表面・界面研究にとどまらず高光量を必要とする放射光実験にも活用できるため広い放射光科学分野への波及効果が期待できる。

報告書

(4件)
  • 2020 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実績報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2020 2019 2018

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 3件)

  • [雑誌論文] Progress in surface X-ray crystallography and the phase problem2020

    • 著者名/発表者名
      Tajiri Hiroo
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: 2 ページ: 020503-020503

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab631e

    • NAID

      210000157815

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] A Middle Energy-bandwidth X-ray Monochromator for High-flux Synchrotron Diffraction: Revisiting Asymmetrically cut Silicon Crystals2019

    • 著者名/発表者名
      Hiroo Tajiri, Hiroshi Yamazaki, Haruhiko Ohashi, Shunji Goto, Osami Sakata and Tetsuya Ishikawa
    • 雑誌名

      Journal of Synchrotron Radiation

      巻: 印刷中

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] コヒーレント散乱による硬X線インラインホログラフィの試み2020

    • 著者名/発表者名
      田尻寛男
    • 学会等名
      第75回日本物理学会年次大会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] A middle energy-bandwidth crystal monochromator using asymmetric geometry for high-flux synchrotron X-ray diffraction2019

    • 著者名/発表者名
      H. Tajiri, H. Yamazaki, H. Ohashi, S. Goto, O. Sakata, T. Ishikawa
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] a CdTe pixel detector for wide energy range X-ray diffractions2019

    • 著者名/発表者名
      H. Toyokawa, C. Saji, M. Kawase, K. Ohara, M. Yonemura, J. Okada, Y. Watanabe, A. Shiro, T. Shobu, K. Suzuki
    • 学会等名
      12th International "Hiroshima" Symposium on the Development and Application of Semiconductor Tracking Detectors
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 表面X線構造解析ソフトウェアSISReXの現状2019

    • 著者名/発表者名
      田尻寛男
    • 学会等名
      第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 透過X線回折によるシリコン上のビスマス薄膜成長と界面構造のリアルタイム観察2019

    • 著者名/発表者名
      田尻寛男
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 多重散乱を取り入れた表面X線構造解析ソフトウェアの開発2019

    • 著者名/発表者名
      田尻寛男
    • 学会等名
      第74回日本物理学会年会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 多波長ビームを用いた次世代型放射光実験と2次元検出器開発2019

    • 著者名/発表者名
      豊川秀訓
    • 学会等名
      高エネルギー加速器研究機構第33回 研究会「放射線検出器とその応用」
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 多波長弁別型CdTeピクセル検出器開発と放射光応用2019

    • 著者名/発表者名
      豊川秀訓
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Dual-energy and energy-dispersive X-ray diffractions using CdTe pixel detector2018

    • 著者名/発表者名
      Hidenori Toyokawa
    • 学会等名
      International Workshops on Radiation Imaging Detectors (iWoRiD2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2018-04-23   更新日: 2022-01-27  

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