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ナノ電子プロープを用いた革新的3次元局所結晶構造解析法の開発とリラクサーへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 18H03674
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 中区分13:物性物理学およびその関連分野
研究機関東北大学

研究代表者

津田 健治  東北大学, 学際科学フロンティア研究所, 教授 (00241274)

研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
44,850千円 (直接経費: 34,500千円、間接経費: 10,350千円)
2020年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2019年度: 19,110千円 (直接経費: 14,700千円、間接経費: 4,410千円)
2018年度: 21,450千円 (直接経費: 16,500千円、間接経費: 4,950千円)
キーワード局所結晶構造解析 / 収束電子回折 / ナノ電子プローブ / 機械学習 / リラクサー
研究成果の概要

電子ナノプローブによる3次元局所構造解析法を開発するため、エネルギーフィルター収束電子回折データを、高速でマッピングできる新たなSTEM-CBEDシステムを構築した。また、機械学習を利用して動力学回折強度計算を高速化し、試料深さ方向構造分布を取り入れるscattering matrix法を解析プログラムに導入して深さ方向構造情報取得を可能とした。開発した手法を用いて、CaTiO3の強誘電双晶境界の構造解析、NiTiO3の強軸性結晶ドメインの可視化、量子常誘電体KTaO3の静電ポテンシャル・電子密度分布解析、BaTiO3のリラクサー的ナノドメインの電場応答の解析等を行った。

研究成果の学術的意義や社会的意義

結晶構造は材料開発の基礎となる重要な情報であるが、近年、大きな領域の平均の結晶構造ではなく、局所的な結晶構造とその不均一性が新奇物性の起源となっている例が増加している。このような試料の解析には、ナノメーター (=10億分の1 m)に絞った電子線(ナノ電子プローブ)を使う方法が威力を発揮する。本研究ではナノ電子プローブを用いて局所結晶構造とその3次元分布を定量的に調べる新たな方法を開発し、種々の物質の局所結晶構造解析に適用して、ナノ電子プローブによる局所結晶構造解析法の適用範囲を大きく拡げた。

報告書

(4件)
  • 2020 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実績報告書
  • 研究成果

    (42件)

すべて 2021 2020 2019 2018

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (35件) (うち国際学会 8件、 招待講演 8件)

  • [雑誌論文] Evaluation of TEM specimen quality prepared by focused ion beam using symmetry breaking index of convergent-beam electron diffraction2021

    • 著者名/発表者名
      Morikawa Daisuke、Ageishi Masaki、Sato Kaori、Tsuda Kenji、Terauchi Masami
    • 雑誌名

      Microscopy

      巻: - 号: 4 ページ: 394-397

    • DOI

      10.1093/jmicro/dfab002

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Local crystal symmetry and structure at CaTiO3 twin boundaries2021

    • 著者名/発表者名
      Morikawa D.、Tsuda K.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 118 号: 9 ページ: 092901-092901

    • DOI

      10.1063/5.0043851

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improvement of precision in refinements of structure factors using CBED patterns taken at Bragg excited conditions2021

    • 著者名/発表者名
      Bikas Aryal, Daisuke Morikawa, Kenji Tsuda and Masami Terauchi
    • 雑誌名

      Acta Crystallographica, section A

      巻: -

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structural-transition-driven antiferromagnetic to spin-glass transition in Cd-Mg-Tb 1/1 approximants2020

    • 著者名/発表者名
      Labib Farid、Okuyama Daisuke、Fujita Nobuhisa、Yamada Tsunetomo、Ohhashi Satoshi、Morikawa Daisuke、Tsuda Kenji、Sato Taku J、Tsai An-Pang
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Condensed Matter

      巻: 32 号: 48 ページ: 485801-485801

    • DOI

      10.1088/1361-648x/aba921

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of accuracy in the determination of crystal structure factors using large-angle convergent-beam electron diffraction patterns2020

    • 著者名/発表者名
      Morikawa Daisuke、Tsuda Kenji
    • 雑誌名

      Microscopy

      巻: 70 号: 2 ページ: 178-185

    • DOI

      10.1093/jmicro/dfaa041

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Visualization of ferroaxial domains in an order-disorder type ferroaxial crystal2020

    • 著者名/発表者名
      Hayashida T.、Uemura Y.、Kimura K.、Matsuoka S.、Morikawa D.、Hirose S.、Tsuda K.、Hasegawa T.、Kimura T.
    • 雑誌名

      Nature Communications

      巻: 11 号: 1 ページ: 1-8

    • DOI

      10.1038/s41467-020-18408-6

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Electron diffraction study of crystal structures of (Sr1-xBax)2Nb2O72019

    • 著者名/発表者名
      Bikas Aryal, Daisuke Morikawa, Kenji Tsuda, Shinya Tsukada, Yukikuni Akishige and Masami Terauchi
    • 雑誌名

      Physical Review Materials

      巻: 3 号: 4 ページ: 044405-044405

    • DOI

      10.1103/physrevmaterials.3.044405

    • NAID

      130007647744

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 収束電子回折法による試料深さ方向の構造解析の試み2021

    • 著者名/発表者名
      津田健治、森川大輔
    • 学会等名
      日本物理学会 第76回年次大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 収束電子回折法によるBaTiO3ナノドメインの電場印可その場観察2021

    • 著者名/発表者名
      森川大輔、津田健治
    • 学会等名
      日本物理学会 第76回年次大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Structure optimization of NdBaMn2O6 by combination of CBED and DFT calculations2021

    • 著者名/発表者名
      M. S. Islam, D. Morikawa, K. Tsuda, S. Yamada and M. Terauchi
    • 学会等名
      日本物理学会 第76回年次大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Improvement of accuracy and precision in refinement of crystal structure factors using zone-axis incidence and tilted CBED patterns2021

    • 著者名/発表者名
      B. Aryal, D. Morikawa, K. Tsuda and M. Terauchi
    • 学会等名
      American Physical Society (APS) March Meeting 2021
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 収束電子回折法による局所結晶構造解析2021

    • 著者名/発表者名
      津田健治
    • 学会等名
      日本表面真空学会 マイクロビームアナリシス技術部会 マイクロビームアナリシス研修セミナー
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ビームロッキングEDS法による(Ba,Ca)TiO3のCaドーパント位置の解析2021

    • 著者名/発表者名
      安住成, 津田健治, 森川大輔,寺内正己, 大塚真弘, 武藤俊介, 符徳勝, 伊藤満
    • 学会等名
      第38回強誘電体会議(FMA38)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] ビームロッキングEDS法によるCaドープBaTiO3のCa位置の解析2021

    • 著者名/発表者名
      安住成, 津田健治, 森川大輔,寺内正己, 大塚真弘, 武藤俊介, 符徳勝, 伊藤満
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第77回学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] STEM-CBED法によるBaTiO3分極ナノドメインの電場印可その場観察2021

    • 著者名/発表者名
      森川 大輔, 津田 健治
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第77回学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 収束電子回折法を用いた試料ダメージ層の定量評価 III2021

    • 著者名/発表者名
      上石正樹、森川大輔、佐藤香織、津田健治、寺内正己
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第77回学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] STEM-CBED法によるPMNリラクサーの局所構造解析2020

    • 著者名/発表者名
      津田健治,森川大輔、符徳勝、伊藤満
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第76回学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] CaTiO3ドメイン境界での中心対称性の破れの観察2020

    • 著者名/発表者名
      森川大輔、津田健治
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第76回学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 収束電子回折法を用いた試料ダメージ層の定量評価 II2020

    • 著者名/発表者名
      上石正樹、森川大輔、佐藤香織、津田健治、寺内正己
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第76回学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] STEM-CBED法によるPMNリラクサーの局所構造解析2020

    • 著者名/発表者名
      津田健治,森川大輔、符徳勝、伊藤満
    • 学会等名
      第37回強誘電体会議
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Improvement in the precision of refinement of the crystal structure factors using convergent-beam electron diffraction2020

    • 著者名/発表者名
      B. Aryal, D. Morikawa, K. Tsuda and M. Terauchi
    • 学会等名
      日本物理学会 2020年秋季大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] STEM-CBED法によるCaTiO3の界面誘起分極構造の観察2020

    • 著者名/発表者名
      森川大輔,津田健治
    • 学会等名
      日本物理学会 2020年秋季大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] LACBED図形の動力学シミュレーションへの機械学習の応用2020

    • 著者名/発表者名
      津田健治、森川大輔、越川亜美, 大関真之
    • 学会等名
      日本物理学会 2020年秋季大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] A Study on Occupation Sites in M6C Carbide in High Chromium Cast Iron Using Statistical Beam-Rocking TEM-EDS Analysis2020

    • 著者名/発表者名
      S. Nusen, A. Wiengmoon, D. Morikawa, N. Azumi, T. Chairuangsri, K. Tsuda and M. Terauchi
    • 学会等名
      6th Forum of Center for Advanced Materials Research and International Collaboration (CAMRIC-FORUM6)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 収束電子回折による静電ポテンシャル分布解析への機械学習の応用2020

    • 著者名/発表者名
      津田健治
    • 学会等名
      応用物理学会・薄膜表面科学分科会「情報データ科学に基づく結晶材料・界面・プロセス工学の新展開 -実験との連携運用術」
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Nanometer-scale local crystal structure analysis using convergent-beam electron diffraction2020

    • 著者名/発表者名
      Kenji Tsuda
    • 学会等名
      The 4th Symposium for The Core Research Cluster for Materials Science and the 3rd Symposium on International Joint Graduate Program in Materials Science
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Materials Analysis by using Electron Microscopes operated in IMRAM2020

    • 著者名/発表者名
      M.Terauchi, H.Jinnai, Y.K.Sato, D.Morikawa, K.Tsuda, and Z.Akase
    • 学会等名
      2020 ONLINE JOINT SYMPOSIUM "Engineer a Better Tomorrow" TOHOKU UNIVERSITY and NATIONAL TAIPEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Local crystal structure analysis using STEM-CBED method2019

    • 著者名/発表者名
      Kenji Tsuda
    • 学会等名
      The 36th International Conference of Microscopy Society of Thailand
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ピクセル型高速STEM検出器を用いたSTEM-CBED法による強誘電ドメイン壁の局所構造解析2019

    • 著者名/発表者名
      津田健治, 佐川隆亮,橋口裕樹,近藤行人
    • 学会等名
      第36回強誘電体応用会議(FMA36)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] ピクセル型STEM検出器を用いたSTEM-CBED法による強誘電体の局所構造解析2019

    • 著者名/発表者名
      津田健治, 佐川隆亮,橋口裕樹,近藤行人
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第75回学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 大角度ロッキングCBED図形を用いた軌道整列状態の静電ポテンシャル分布解析2019

    • 著者名/発表者名
      森川大輔,津田 健治
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第75回学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 収束電子回折法を用いた試料ダメージ層の定量評価2019

    • 著者名/発表者名
      上石正樹,森川大輔,佐藤 香織,津田 健治,寺内正己
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第75回学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Local structural study of ferroelectric domain boundaries using STEM-CBED with a fast pixelated STEM detector2019

    • 著者名/発表者名
      Kenji Tsuda, Ryusuke Sagawa, Hiroki Hashiguchi and Yukihito Kondo
    • 学会等名
      Microscopy and Microanalysis 2019, Portland, OR, USA
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ピクセル型高速STEM検出器を用いたSTEM-CBED法による局所構造解析2019

    • 著者名/発表者名
      津田健治、佐川隆亮、橋口裕樹、近藤行人
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第35回分析電子顕微鏡討論会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ピクセル型高速STEM検出器を用いたSTEM-CBED法による強誘電ドメイン壁の局所構造解析 II2019

    • 著者名/発表者名
      津田健治、佐川隆亮、橋口裕樹、近藤行人
    • 学会等名
      日本物理学会2019年秋季大会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 大角度ロッキングCBED図形を用いた結晶構造因子決定精度の検証2019

    • 著者名/発表者名
      森川大輔,津田 健治
    • 学会等名
      日本物理学会2019年秋季大会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 大角度ロッキングCBED図形を用いた軌道整列相の解析と精度評価2019

    • 著者名/発表者名
      森川大輔,津田 健治
    • 学会等名
      日本結晶学会令和元年度年会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] STEM-CBED法によるペロブスカイト型強誘電体の局所構造解析2019

    • 著者名/発表者名
      津田健治
    • 学会等名
      東北大学金属材料研究所 共同利用・共同研究ワークショップ「強誘電体関連物質の機能発現に関する構造科学の新展開」
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ピクセル型高速STEM検出器を用いたSTEM-CBED法による強誘電ドメイン壁の局所構造解析2019

    • 著者名/発表者名
      津田健治, 佐川隆亮,橋口裕樹,近藤行人
    • 学会等名
      日本物理学会 2019年第74回年次大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] STEM-CBED study on the temperature dependence of the local structures of tetragonal BaTiO32018

    • 著者名/発表者名
      Kenji Tsuda
    • 学会等名
      2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference at Hiroshima (IFAAP Hiroshima2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Nano-scale local structural study of ferroelectrics using STEM-CBED with a fast pixeletated STEM detector2018

    • 著者名/発表者名
      Kenji Tsuda
    • 学会等名
      Workshop on STEM with Advanced Detectors
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Nano-scale local structural study of BaTiO3 using STEM-CBED with a fast pixelated STEM detector2018

    • 著者名/発表者名
      Kenji Tsuda, Michiyoshi Tanaka, Ryusuke Sagawa, Hiroki Hashiguchi and Yukihito Kondo
    • 学会等名
      The 19th International Microscopy Congress 2018 (IMC19)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2018-04-23   更新日: 2022-01-27  

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