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小型熱非平衡プラズマが作り出す気体と励起粒子の多層的流れの可視化

研究課題

研究課題/領域番号 18H05849
研究種目

研究活動スタート支援

配分区分補助金
審査区分 0202:物性物理学、プラズマ学、原子力工学、地球資源工学、エネルギー学およびその関連分野
研究機関京都大学

研究代表者

占部 継一郎  京都大学, 工学研究科, 助教 (80725250)

研究期間 (年度) 2018-08-24 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2018年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
キーワードプラズマ / 分光診断 / 分光計測 / 流れの可視化
研究実績の概要

本研究の研究対象と計画していた,誘電体管内に発生させたプラズマを真空チャンバー中に噴き出す形式のプラズマ発生システムを構築した.研究室に既存のロータリーポンプ,ターボ分子ポンプの接続,真空チャンバーの改造,ガス導入系の構築,などを科研費補助金により実施した.設備備品費により,レーザー分光システムを立ち上げるための光学定盤架台を購入した.その他,実験研究をスタートしていくにあたって必要な工具などを購入し,スムーズな実験立ち上げを行うことができた.また,研究室に保管されていた大型分光器を整備し,分子スペクトルを詳細に観測する発光分光・吸収分光計測を実現するために用いる予定である.
研究課題に関連する内容として,電気推進器中でのイオン流れが内部金属部品に及ぼす影響や,非平衡プラズマを用いたプラズマ加工(基板へのイオン流れ)が及ぼす半導体,絶縁体材料への影響に関する基礎研究を進めている.これらの内容については,論文・学会発表を2018年度後半から継続的に行っている.
また,オリジナルな研究をスタートしていくために必要な情報収集を,応用物理学会(9月,名古屋),宇宙科学連合講演会(11月,久留米),プラズマエレクトロニクス新領域研究会(11月,札幌)にて行った.それぞれの研究集会において,これまでに研究代表者が行ってきた研究内容(大気圧プラズマの電子密度診断)や,研究スタート支援により部分的に補助されている研究(低圧プラズマと固体材料の相互作用)の発表を行った.

現在までの達成度 (段落)

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(1件)
  • 2018 実績報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて 2019 2018 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (5件) (うち国際学会 4件、 招待講演 1件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Characterization of the distribution of defects introduced by plasma exposure in Si substrate2019

    • 著者名/発表者名
      Sato Yoshihiro、Shibata Satoshi、Uedono Akira、Urabe Keiichiro、Eriguchi Koji
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology A

      巻: 37 号: 1 ページ: 011304-011304

    • DOI

      10.1116/1.5048027

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 先端CMOS/メモリデバイスにおけるプラズマ加工技術の現状と課題2018

    • 著者名/発表者名
      江利口 浩二,占部 継一郎
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 87 ページ: 895-901

    • NAID

      130007715671

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Current and future outlook of laser interferometer for high-pressure plasma density diagnostics2018

    • 著者名/発表者名
      Keiichiro URABE
    • 学会等名
      RUB Japan Science Days 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 電気特性解析を用いた高エネルギーイオン照射による電極腐食過程の研究2018

    • 著者名/発表者名
      中村浩大,占部継一郎, 江利口浩二
    • 学会等名
      ,第62回宇宙科学技術連合講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] First-principles study on electronic structure modifications of Si substrtae with the Cl-terminated surface2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Yoshikawa, K. Urabe, and K. Eriguch
    • 学会等名
      40th International Symposium on Dry Process
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Comparative characterization of gas species dependence of transient behaviors in plasma-induced Si damage2018

    • 著者名/発表者名
      T. Hamano, K. Urabe, and K. Eriguchi
    • 学会等名
      40th International Symposium on Dry Process
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of Microwave Annealing on the Recovery of Microscopic Defects in Silicon Nitride Films2018

    • 著者名/発表者名
      T. Kuyama, Y. Sato, K. Urabe, and K. Eriguchi
    • 学会等名
      40th International Symposium on Dry Process (DPS)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [備考] 京都大学 航空宇宙工学専攻 推進工学研究室

    • URL

      http://www.propulsion.kuaero.kyoto-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [備考] 研究代表者の個人Webページ

    • URL

      https://sites.google.com/site/keiurabe0907/

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書

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公開日: 2018-08-27   更新日: 2019-12-27  

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