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半導体のドーピングに関する理論および予測手法の構築

研究課題

研究課題/領域番号 18J22930
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 金属物性・材料
研究機関東京工業大学

研究代表者

原田 航  東京工業大学, 物質理工学院, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2018-04-25 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
2020年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2019年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2018年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
キーワード第13族窒化物半導体の点欠陥 / スピン軌道相互作用を取り入れたバンド計算 / Zn-Ⅵ族化合物 / Ga-Ⅴ族化合物 / SiC
研究実績の概要

本研究では、第一原理計算により、窒化物、酸化物、リン化物、硫化物といった複数の化合物半導体に対してドーピング限界の算出と不純物の計算を系統的に行い、ドーピングに対する学理の構築と両極性の伝導キャリアを導入できる最適なドーパントを自動的に提案するシステムの開発を目的とした。本年度における研究計画では、ドーピング特性に関する実験データが存在する半導体約200種について、キャリア補償の原因である固有点欠陥、水素・酸素不純物と、ドーパント候補の形成エネルギーを網羅的に計算することが目標であった。これに対し、本年度では計画の一部として、既知の半導体3種に対する系統的な点欠陥の計算を行った。具体的には、第13族窒化物半導体の固有点欠陥およびドーパントの形成エネルギーと電子準位を系統的に計算し、本研究の目的であるドーピング特性の学理構築に向けた考察を進めた。また、半導体材料として代表的なZn-Ⅵ族化合物、Cd-Ⅵ族化合物、Al-Ⅴ族化合物、Ga-Ⅴ族化合物、In-Ⅴ族化合物およびSiCを対象とし、ドーピング機構と並んで半導体材料の特性を支配するバンド構造と有効質量を系統的に計算した。結晶構造は閃亜鉛鉱型構造とウルツ鉱型構造を採用した。計算対象の系は40種であり、スピン軌道相互作用を取り入れた高精度な計算を系統的に実施することで、統一された条件下における有効質量値を得ることができた。以上の計算結果から、ウルツ鉱型の結晶構造を有する系ではスピン軌道相互作用を取り入れることによって価電子帯上端におけるバンド構造が変化し、ホールの有効質量が減少することが明らかになった。さらにカチオン元素の質量が大きくなるほど有効質量の減少する程度は小さくなることがわかった。

現在までの達成度 (段落)

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(3件)
  • 2020 実績報告書
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実績報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2019 2018

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (2件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Theoretical prediction of strain-induced carrier effective mass modulation in 4H-SiC and GaN2019

    • 著者名/発表者名
      Kuroiwa Yuichiro、Matsushita Yu-ichiro、Harada Kou、Oba Fumiyasu
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 115 号: 11 ページ: 112102-112102

    • DOI

      10.1063/1.5122215

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Native point defects and carbon clusters in 4H-SiC: A hybrid functional study2019

    • 著者名/発表者名
      Kobayashi Takuma、Harada Kou、Kumagai Yu、Oba Fumiyasu、Matsushita Yu-ichiro
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 125 号: 12 ページ: 125701-125701

    • DOI

      10.1063/1.5089174

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書 2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-Mobility p-Type and n-Type Copper Nitride Semiconductors by Direct Nitriding Synthesis and In Silico Doping Design2018

    • 著者名/発表者名
      Matsuzaki Kosuke、Harada Kou、Kumagai Yu、Koshiya Shogo、Kimoto Koji、Ueda Shigenori、Sasase Masato、Maeda Akihiro、Susaki Tomofumi、Kitano Masaaki、Oba Fumiyasu、Hosono Hideo
    • 雑誌名

      Advanced Materials

      巻: 30 号: 31 ページ: 1801968-1801968

    • DOI

      10.1002/adma.201801968

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] スピン軌道相互作用が及ぼす化合物半導体のバンド構造への影響2019

    • 著者名/発表者名
      原田 航
    • 学会等名
      第29回日本MRS年次大会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Band structures and effective masses for Ga-V, Zn-VI semiconductors and SiC using hybrid functionals2019

    • 著者名/発表者名
      Kou Harada
    • 学会等名
      The 11th International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2018-05-01   更新日: 2024-03-26  

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