| 研究課題/領域番号 |
18K03601
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分14030:プラズマ応用科学関連
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| 研究機関 | 名城大学 |
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研究代表者 |
竹田 圭吾 名城大学, 理工学部, 准教授 (00377863)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2022-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2021年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2020年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2019年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2018年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | 吸収分光 / プラズマ / 原子状ラジカル / 吸収分光法 / プラズマプロセス / エネルギー / 絶対密度 |
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| 研究成果の概要 |
水素とヘリウムの混合ガスを用いたマイクロ放電ホローカソード光源（MHCL）を用いて、光源内の自己吸収現象を利用した真空紫外吸収分光用光源を構築した。そして、誘導結合型水素プラズマに対して真空紫外吸収分光計測を行った結果、MHCLに導入する水素ガス分圧を約500Paとすることで、計測対象プラズマ内の水素原子の吸収スペクトル線の極めて近傍での背景吸収を計測可能とする自己吸収スペクトルを実現できることを示した。さらに、MHCL内の自己吸収現象の影響の増大に伴う、計測対象プラズマ内の原子による光吸収率の減少傾向を計測することで、計測対象である原子の温度変化の計測の可能性を示すことに成功した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
近年、プラズマを使用した一原子層レベルのプロセス反応を高精度に制御する技術が注目されている。これら技術に更なる発展をもたらすには、プロセス反応に重要な働きをする原子状ラジカルをより一層高精度に計測する技術の確立は必須であり、プラズマエレクトロニクス分野の学術基盤を更に発展させるうえで大きな課題となっている。本研究で実現された光源およびそれを用いた真空紫外吸収分光法は、これら重要な原子状ラジカルの高精度計測を実現するものであり、これによって得られる知見は上記の研究領域の学術的な更なる発展を促すとともに、産業界における技術の発展などへの与える影響も極めて大きいと言える。
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