| 研究課題/領域番号 |
18K03880
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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| 研究機関 | 千葉工業大学 |
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研究代表者 |
瀧野 日出雄 千葉工業大学, 工学部, 教授 (70633238)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2021-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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| 配分額 *注記 |
3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2020年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2019年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2018年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | イオンビーム / イオンガン / イオンビーム集束 / 四重極磁気レンズ / 永久磁石 / 光学面 / 光学素子 / 精密加工 / 磁気レンズ / 四重極磁石 / 加工 / 形状精度 / 表面 |
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| 研究成果の概要 |
本研究は，光学面の精密創成に適した小径イオンビームの生成技術の開発を目的に実施した．カウフマン型イオンガンおよびその制御システムを設計，製作し，Arイオンビームの生成を達成した．このイオンビームを収束させるために，永久磁石を用いた四重極磁気レンズを設計した．設計では，磁場ならびにイオンビーム軌道の計算により永久磁石の配置を最適化した．つぎに，ネオジウム磁石を用いた磁気レンズを試作し，それをイオンビーム加工装置に装着して，ビームのプロファイル計測を行った．その結果，四重極磁石を3段とした磁気レンズにより，ビームが良好に収束し，光学面の精密創成に適したビームが生成できることが示された．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
現在，最先端の光学素子（レンズ，ミラー）にはナノメートル以下の極めて高い精度が求められている．本研究では，このような高精度の光学素子を加工するために，イオンビーム加工技術の開発を行った．特に小型の光学素子を精密に加工するために，簡便な装置によりイオンビームを収束させる技術を検討した．近年，民生分野では高精細な画像が，また産業分野でも光学機器には高い解像度が要求されている．本研究は，このような要求を実現するのに有効な技術であり，社会的に意義深い．また，小径のイオンビームを得るために，永久磁石を用いた四重極磁気レンズを検討し，その最適化を図ったことは学術的にも意義がある．
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