• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

硬脆基板材料の超平滑化加工のための実用的固定砥粒研磨技術の確立

研究課題

研究課題/領域番号 18K03886
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関関西大学

研究代表者

山口 智実  関西大学, システム理工学部, 教授 (10268310)

研究分担者 古城 直道  関西大学, システム理工学部, 教授 (80511716)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2020年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2019年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2018年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
キーワード超仕上げ / メカノケミカル反応 / 固定砥粒研磨 / 複合砥粒砥石 / サファイア / 光学ガラス
研究成果の概要

申請者らは,MC(Mechano-Chemical)/MC複合砥粒砥石の超仕上げよる硬脆基板材料の超平滑化実用技術の確立を目的とし,Ⅰ) 表面化損傷(SSD)の発生と超仕上げ条件との関係の解明,Ⅱ) 砥石の目直し条件と超仕上げ性能との関係性の解明,Ⅲ) サファイアに対する多段超仕上げ工程設計システムの構築,の各課題に取り組んだ.
その結果,Ⅰ) 光学ガラス内に発生したSSDの3次元可視化システムの開発,Ⅱ) 砥粒軌跡を変化させた目直しが砥石の超仕上げ性能,目直し間寿命に及ぼす影響の解明,Ⅲ) 砥石損耗量の増大に関わる要因を調査し,エアーカット速度と砥石圧力との関係の解明,を行った.

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究成果の学術的意義は,超仕上げによって固定砥粒研磨での実用的平滑化加工への展開の可能性を示せたところにあり,社会的意義としては,従来,工作物表面の平滑化加工の最終仕上げに用いられてきた遊離砥粒方式の研磨加工が抱えてきた,形状精度,平滑性,無擾乱性の両立困難性,自動化の困難性,そして環境面での問題を克服できる新たな研磨加工技術の提示にある.

報告書

(4件)
  • 2020 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実施状況報告書
  • 2018 実施状況報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2020 2019 2018

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (5件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] 目直し条件がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響2019

    • 著者名/発表者名
      仲矢 進悟,古城 直道,山口 智実,廣岡 大祐,松森 昇,棚田 憲一
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 63 ページ: 415-420

    • NAID

      130007926212

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 目直し条件がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響2019

    • 著者名/発表者名
      仲矢進悟,古城直道,山口智実,廣岡大祐,松森 曻,棚田憲一
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 印刷中

    • NAID

      130007926212

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 目直し条件がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響(第2報)―砥石作業面の観察に基づく寿命評価―2020

    • 著者名/発表者名
      仲矢 進悟,古城 直道,山口 智実,廣岡 大祐,松森 昇,棚田 憲一
    • 学会等名
      2020年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Improvement of Multistage Superfinishing of Sapphire with Vitrified-bonded Diamond Superabrasive Stones2018

    • 著者名/発表者名
      Naomichi FURUSHIRO, Tomomi YAMAGUCHI, Daisuke HIROOKA, Noboru MATSUMORI, Kenichi TANADA
    • 学会等名
      ASPE 2018 Annual Meeting
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ダイヤモンド超砥粒砥石を用いたサファイアの多段超仕上げ(第3報)―砥石の弾性変形を考慮した仕上量推定方法に基づく工程改善―2018

    • 著者名/発表者名
      阪口真太郎,古城直道,山口智実,廣岡大祐,松森 曻,棚田憲一
    • 学会等名
      2019年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] メカノケミカル砥石を利用した単結晶シリコンの超仕上げ(第2報)―目直し条件が砥石の超仕上げ性能に及ぼす影響―2018

    • 著者名/発表者名
      仲矢進悟,古城直道,山口智実,廣岡大祐,松森 昇,棚田憲一
    • 学会等名
      2018年度砥粒加工学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] 光学ガラスの表面下損傷の可視化(第2報)―位置合わせ精度向上および線形補間による改善―2018

    • 著者名/発表者名
      浜川亮太,古城直道,山口智実,廣岡大祐,松森 昇,棚田憲一
    • 学会等名
      2018年度砥粒加工学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2018-04-23   更新日: 2022-01-27  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi