| 研究課題/領域番号 |
18K03891
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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| 研究機関 | 富山高等専門学校 |
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研究代表者 |
西田 均 富山高等専門学校, その他部局等, 特命フェロー(教育・研究支援) (00390435)
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| 研究分担者 |
井門 康司 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (40221775)
島田 邦雄 福島大学, 共生システム理工学類, 教授 (80251883)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2022-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2021年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2020年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2019年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2018年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 磁気混合流体 / 精密研磨 / 微細構造表面 / 磁場 / 電場 / 形状精度 / 微細V溝 / 高能率研磨 / 機能性流体 / 磁場・電場 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では砥粒を含んだ磁気混合流体(MCF加工液)を用いた平面内微細V溝に対して，磁場に加え電場を同時に印加したときの精密研磨の特性を明らかにした．平面に対する研磨では，加工領域は磁場と電場を同時に印加した方が磁場のみの場合より平坦化される．V溝に対する研磨では，パルス磁場と電場を印加した場合，V溝の全面において形状精度を保持した精密研磨が行われることがわかった．また，MCF加工液に磁場印加，電場印加，および，磁場と電場の同時印加された場合の工具に作用するトルク特性が明らかにされた．これにより，本加工液のER効果と磁場と電場の同時印加の効果が確認された．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
これまで表面に微細構造を持つ被研磨物に対して，形状を保持した精密な研磨は困難な状況であった．この課題に対して，本研究では砥粒を含んだ磁気混合流体に磁場に加え電場を印加することで，微細構造に対して形状精度を保持した精密研磨が可能になることを明らかにした．また，磁気機能性流体であるMCF加工液が電場に応答する流体であることを実験的に初めて確認した．本研究成果はこれまで困難とされていた微細構造表面に対する自動研磨に道を開くものである．
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