| 研究課題/領域番号 |
18K04770
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 審査区分 |
小区分26050:材料加工および組織制御関連
|
|---|
| 研究機関 | 筑波大学 |
|---|
研究代表者 |
牧村 哲也 筑波大学, 数理物質系, 准教授 (80261783)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2023-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2022年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2020年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2019年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2018年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
|
|---|
| キーワード | 極端紫外光 / マイクロ加工 / シリカガラス / ポリジメチルシロキサン / 高アスペクト比 / レーザー生成プラズマ / シリコーンエラストマ / 精密加工 / アブレーション加工 / マイクロ・ナノ加工 / アブレーション過程 / 波動光学 / レーザープラズマ / 生体適合性材料 |
|---|
| 研究成果の概要 |
波長が１０ナノメートルの光を物質に照射し表面から削り取る実用的な加工法を確立した。10ナノメートルの波長の領域では，レンズを作るための透明な材料が存在しないため，反射を利用しアスペクト比が高い構造を加工するための光学系を開発した。また，マイクロメートルのスケールでは光の波の性質が顕著になる。このため，実際の加工形状と比較しながら，光の伝搬を制御した。これらの成果を用いて，10マイクロメートルの厚さのポリマー材料に直径が1マイクロメートルの貫通孔を作製できることを示した。
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
可視光や紫外光が物質に入射すると，吸収されてすぐに熱エネルギーに変換されてしまう。加工を行う場合作製した構造が崩れことになる。従って，従来１０マイクロメートルより微細な加工は困難であった。本研究では，波長が10ナノメートルの光を用いることでこの困難を打破し，マイクロメートルのスケールでの加工を可能にした。この成果は，マイクロ化学分析器や細胞の操作のための構造を作製するの応用できる。
|
