| 研究課題/領域番号 |
18K04937
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
若家 冨士男 大阪大学, 基礎工学研究科, 准教授 (60240454)
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| 研究分担者 |
村上 勝久 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (20403123)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2021-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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| 配分額 *注記 |
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2020年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2019年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2018年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
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| キーワード | 磁気力顕微鏡 / ナノ金属探知機 / MFM / 金属探知機 |
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| 研究成果の概要 |
磁気力顕微鏡は，磁気モーメントをもつ探針を振動させながら磁性材料のもれ磁場を計測する装置として一般に知られている。しかし，本研究では，非磁性金属の上で磁気モーメントが振動することにより金属中に渦電流が発生し，その渦電流により発生した磁場を磁気力顕微鏡の探針が検出する現象を見出した。本研究では，その現象の理論を構築し，実験結果と比較するところまで達成できた。この現象は，絶縁体中に埋もれた金属を非破壊でナノメートル分解能で検出することを可能にし，高集積化された集積回路の配線層の検査などへの応用が期待できる。さらに感度を向上されると半導体の不純物濃度の非破壊測定も可能であると考えられる。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
磁気力顕微鏡自体は磁性材料のもれ磁場の計測手段としてよく知られているが，それを用いて非磁性金属の検知ができることを見出した点が独創的であり学術的意義が大きい。また，この現象を応用すれば，高度集積化された半導体集積回路の断線診断を非破壊で簡便に実行することが可能になる。また，さらに感度を向上させれば半導体中の不純物濃度の非破壊非接触計測も可能となる。このように社会的意義も大きい。
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