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水銀フリー短波長光源のための深紫外顕微対物レンズ開発

研究課題

研究課題/領域番号 18K04975
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分30020:光工学および光量子科学関連
研究機関大阪大学

研究代表者

清水 俊彦  大阪大学, レーザー科学研究所, 准教授 (80415182)

研究分担者 山ノ井 航平  大阪大学, レーザー科学研究所, 助教 (30722813)
猿倉 信彦  大阪大学, レーザー科学研究所, 教授 (40260202)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2020年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2019年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2018年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
キーワード深紫外光学技術 / 複合フッ化物 / 光学素子 / 深紫外 / 深紫外オプティクス / フッ化物材料
研究成果の概要

本研究の目的は、深紫外域に対応した屈折式顕微鏡対物レンズの開発である。本申請で深紫外対物レンズを作成し、急務である次世代短波長光源の研究開発に資するものとする。
短波長光は吸収されやすく、紫外を下回る領域ではほとんどの材料で吸収される。また、単一材料でレンズを作成しても特定波長以外では十分な集光特性が得られない。申請者は短波長まで優れた透過特性を所持している複合フッ化物材料を見出し、それを使用して色消しレンズ作成および性能評価を行った。
結果、紫外領域において、色収差低減が確認された。またレンズもイメージング分光器に組み込むことが可能となり、深紫外対応装置として結実した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本申請では、独自に開発を進めてきたフッ化物紫外域透明材料をレンズ素材へと応用し、深紫外屈折式対物レンズを開発することで、未開拓の光領域に新しいイメージング手法を提供する。フッ化物結晶は先行研究が多数あるが、レンズ材料としての品質を持つ結晶は育成が困難であった。本研究により、これを解決しこれまで「見る」事が困難であった光領域にアクセス可能にする。このレンズを用いたイメージング分光器等の計測機器の実用化及び材料開発(半導体光源等)やクリーンプロセス(水質検査・浄化)分野のイノベーションが期待できる。

報告書

(4件)
  • 2020 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実施状況報告書
  • 2018 実施状況報告書
  • 研究成果

    (2件)

すべて 2020 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (1件) (うち国際共著 1件、 査読あり 1件)

  • [国際共同研究] Massey University(ニュージーランド)

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [雑誌論文] Achromatic Deep Ultraviolet Lens Using Novel Optical Materials2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Minami, M. Cadatal-Raduban, K. Kuroda, K. Shinohara, Y. Lai, K. Yamanoi, N. Sarukura, T. Shimizu, R. Ishii, Y. Kawakami, N. Kabasawa, T. Amano, K. Kiyohara, and M. Kiyohara
    • 雑誌名

      physica status solidi (b)

      巻: in press 号: 8 ページ: 1900480-1900480

    • DOI

      10.1002/pssb.201900480

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著

URL: 

公開日: 2018-04-23   更新日: 2022-01-27  

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