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s軌道性の価電子帯をもつ透明p型半導体におけるキャリア生成と薄膜化

研究課題

研究課題/領域番号 18K05285
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分36010:無機物質および無機材料化学関連
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

菊地 直人  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (20308589)

研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2020年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2019年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2018年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワード酸化物半導体 / p型半導体 / キャリア生成機構 / ワイドバンドギャップ / 透明酸化物 / パイロクロア構造
研究成果の概要

価電子帯がスズ(Sn)の5s軌道、またはビスマス(Bi)の6s軌道から構成される新しいp型酸化物半導体について、その正孔と電子の生成機構を明らかにするとともに、p型伝導発現をもたらす特徴的な結晶構造を明らかにした。その結果、正孔は結晶構造中の八面体の中心元素をより価数の小さな元素で置換した欠陥により生成していること、酸素が欠損した欠陥により作られた電子によって正孔が補償されてしまうこと、そして酸素欠損欠陥の生成のしやすさに結晶構造が大きく影響していることを明らかにした。

研究成果の学術的意義や社会的意義

酸化物の特徴的な電子構造に起因し、実現が難しかった高移動度が期待できる新しいp型酸化物半導体について、結晶構造を切り口としてキャリア生成と電荷補償のメカニズムを明らかにしたものである。この物質群は研究代表者がp型化に初めて成功したものであり、上記メカニズムの解明と合わせて学術的に独創性が高い。また本成果は新らしい関連材料の探索や特性向上に寄与するものであり、地球上で安定かつ豊富に存在する酸化物をつかった電子デバイスの実現につながるものである。

報告書

(4件)
  • 2020 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実施状況報告書
  • 2018 実施状況報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて 2021 2020 2019 2018

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (14件) (うち国際学会 3件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Electrical and optical properties of wide-gap n-type Sn2Ta2O7 films2019

    • 著者名/発表者名
      Suzuki Shunichi、Nishio Keishi、Kikuchi Naoto
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology A

      巻: 37 号: 3 ページ: 031501-031501

    • DOI

      10.1116/1.5081991

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Crystal Structure on Hole Carrier Generation in Wide-gap P-type Tin-Niobate2019

    • 著者名/発表者名
      Samizo Akane、Kikuchi Naoto、Nishio Keishi
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: 4 号: 1 ページ: 27-32

    • DOI

      10.1557/adv.2018.687

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Carrier Generation in p-Type Wide-Gap Oxide: SnNb2O6 Foordite2018

    • 著者名/発表者名
      Samizo Akane、Kikuchi Naoto、Aiura Yoshihiro、Nishio Keishi、Mibu Ko
    • 雑誌名

      Chemistry of Materials

      巻: 30 号: 22 ページ: 8221-8225

    • DOI

      10.1021/acs.chemmater.8b03408

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 酸素雰囲気アニールによるp型α-SnWO4のキャリア濃度向上2021

    • 著者名/発表者名
      土橋優香、菊地直人、簑原誠人、三溝朱音、西尾圭史
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] p型半導体スズニオブ酸化物におけるスズ周辺の酸素欠陥生成2021

    • 著者名/発表者名
      三溝朱音、菊地直人、簑原誠人、阪東恭子、相浦義弘、壬生攻、西尾圭史
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] EXAFSを用いたIn3+添加Bi2Sn2O7の局所構造解析2021

    • 著者名/発表者名
      佃康平、菊地直人、簑原誠人、三溝朱音、土橋優香、西尾圭史
    • 学会等名
      第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] In3+添加Bi2Sn2O7におけるサイト選択的な酸素欠損生成2020

    • 著者名/発表者名
      佃康平、三溝朱音、土橋優香、西尾圭史、菊地直人、簑原誠人
    • 学会等名
      日本セラミクックス協会 第36回 関東支部研究発表会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 八面体中の欠陥構造を利用したα-SnWO4のp型伝導性の発現2020

    • 著者名/発表者名
      土橋優香、三溝朱音、佃康平、西尾圭史、菊地直人、簑原誠人、組頭広志
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第36回 関東支部研究発表会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] p型三元系Sn2+酸化物における正孔生成と酸素欠陥生成による電荷補償2020

    • 著者名/発表者名
      三溝朱音、菊地直人、簔原誠人、阪東恭子、相浦義弘、西尾圭史
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Sn2Nb2O7におけるSn4+量によるp型伝導性制御の試み2020

    • 著者名/発表者名
      菊地直人、相浦義弘、簔原誠人、三溝朱音、永田進哉、西尾圭史
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2020年年会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Sn2+系パイロクロアSn2M2O7(M=Nb, Ta)におけるSn周辺の不規則構造評価2020

    • 著者名/発表者名
      三溝朱音、西尾圭史、菊地直人、簔原誠人、阪東恭子、相浦義弘
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2020年年会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] New p-type Sn2(Nb2-xTax)O7 with tunable band gap2019

    • 著者名/発表者名
      Samizo Akane, Kikuchi Naoto, Aiura Yoshihiro, Nishio Keishi
    • 学会等名
      9th International Conference on Green and Sustainable Chemistry
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 新規p型ワイドギャップSn2+酸化物SnNb2O6における正孔生成2019

    • 著者名/発表者名
      三溝朱音、菊地直人、相浦義弘、西尾圭史
    • 学会等名
      第8回JACI / GSCシンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] ワイドギャップp型Sn-Nb-O系の局所構造と正孔生成との相関2019

    • 著者名/発表者名
      三溝朱音、菊地直人、相浦義弘、西尾圭史
    • 学会等名
      応用物理学会第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] Effect of crystal structure on hole carrier generation in wide-gap p-type tin niobate2018

    • 著者名/発表者名
      Samizo Akane、Kikuchi Naoto、Aiura Yoshihiro、Nishio Keishi
    • 学会等名
      2018 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Preparation of Wide Gap n-Type Sn2Ta2O7 Polycrystalline Films by Magnetron Sputtering2018

    • 著者名/発表者名
      Suzuki Shunichi、Kikuchi Naoto、Aiura Yoshihiro、Nishio Keishi
    • 学会等名
      2018 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ワイドギャップp型酸化物Sn2Nb2O7における構造欠陥量と電気物性との相関2018

    • 著者名/発表者名
      三溝朱音、永田晋哉、菊地直人、相浦義弘、西尾圭史
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第31回秋季シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [図書] マテリアルズ・インフォマティクス開発事例最前線2021

    • 著者名/発表者名
      菊地直人、三溝朱音
    • 総ページ数
      322
    • 出版者
      (株)エヌ・ティー・エス
    • ISBN
      9784860437084
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書

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公開日: 2018-04-23   更新日: 2022-01-27  

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