• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

電子流による金属ファインインジェクション:超長ファインマテリアルの創製と展開

研究課題

研究課題/領域番号 18K13653
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分18010:材料力学および機械材料関連
研究機関名古屋大学

研究代表者

木村 康裕  名古屋大学, 工学研究科, 助教 (70803740)

研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
研究課題ステータス 中途終了 (2020年度)
配分額 *注記
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2020年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2019年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2018年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
キーワード機械材料・材料力学 / 原子拡散 / エレクトロマイグレーション / 金属ファインワイヤ / インジェクション / ファインマテリアル
研究成果の概要

本研究では、微細径を有する金属ファインワイヤ創製を実現するため、高密度電子流による原子拡散であるエレクトロマイグレーションを活用した、既存ワイヤ創製技術と異なる新技術である金属ファインインジェクション技術創出の基礎検討に着手した。電子流印加のみで高圧力を誘起する機構設計、金属ファインワイヤの射出条件最適化と創製、創製ファインワイヤの組織分析、からなる3つの課題を解決し、本技術の実現可能性を示唆する成果を得た。

研究成果の学術的意義や社会的意義

ファインワイヤは比表面積の大きさによる化学的反応性の促進効果や良好な物理的特性を示すことから、化学センサや光回路における導波路などの各デバイスにおける性能向上に貢献する機能材料として用いられる。本研究により新規開拓された新たなファインワイヤ創製技術は、創製されるファインワイヤの多様性を拡張するものである。具体的には、これまで実現困難な材料でのワイヤ創製、ワイヤの直径・長さ制御などを可能にする。

報告書

(3件)
  • 2020 研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実施状況報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2020 2019 2018 その他

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (4件) (うち招待講演 1件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Residual stress effect governing electromigration-based free-standing metallic micro/nanowire growth behavior.2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Kimura and Y. Ju
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 116 号: 2 ページ: 024102-024102

    • DOI

      10.1063/1.5131710

    • NAID

      120006864134

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Loss in discharging atoms through artificial hole for fabricating metallic micro/nanowire by electromigration2019

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro KIMURA
    • 雑誌名

      Mechanical Engineering Journal

      巻: 6 号: 1 ページ: 18-00269-18-00269

    • DOI

      10.1299/mej.18-00269

    • NAID

      130007593628

    • ISSN
      2187-9745
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Prediction of electromigration critical current density in passivated arbitrary-configuration interconnect2019

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Kimura, Masumi Saka
    • 雑誌名

      Journal of Electronic Packaging

      巻: Accepted 号: 2

    • DOI

      10.1115/1.4042980

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Irregular bending growth of free-standing Al microwire by electromigration2018

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Kimura
    • 雑誌名

      Acta Materialia

      巻: 157 ページ: 276-287

    • DOI

      10.1016/j.actamat.2018.07.026

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Atomic migration-based micro/nanomaterial growth technique2020

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Kimura
    • 学会等名
      JST Sakura Science Plan Workshop (Tohoku U - Xi'an Jiaotong U)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 高密度電子流による原子集積を利用した金属マイクロ・ナノワイヤの成長挙動解明2019

    • 著者名/発表者名
      木村康裕、巨陽
    • 学会等名
      日本機械学会材料力学部門 M&M若手シンポジウム2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] エレクトロマイグレーションの原子集積に伴う局所的高応力場のマイクロ・ナノワイヤ創製への応用2018

    • 著者名/発表者名
      木村康裕,坂真澄
    • 学会等名
      日本機械学会 M&M2018材料力学カンファレンス
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] エレクトロマイグレーションによるマイクロ・ナノ材料創製2018

    • 著者名/発表者名
      深谷信太郎,木村康裕,坂真澄
    • 学会等名
      日本機械学会 M&M2018材料力学カンファレンス
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [備考] 名古屋大学教員データベース

    • URL

      http://profs.provost.nagoya-u.ac.jp/view/html/100010348_ja.html

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [備考] researchmap

    • URL

      https://researchmap.jp/7000020991

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書

URL: 

公開日: 2018-04-23   更新日: 2022-12-28  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi