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多重周回横波を利用したパイプセンサによる高感度液体計測

研究課題

研究課題/領域番号 18K13766
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分21030:計測工学関連
研究機関同志社大学 (2019)
名古屋工業大学 (2018)

研究代表者

高柳 真司  同志社大学, 生命医科学部, 助教 (00735326)

研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2020-03-31
研究課題ステータス 完了 (2019年度)
配分額 *注記
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2019年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2018年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
キーワード圧電デバイス / 酸化亜鉛薄膜 / 曲面成膜 / 弾性波 / 表面波 / 横波型 / 横波型弾性波 / 圧電薄膜 / 周回波 / 粘度センサ
研究成果の概要

弾性波が伝搬している固体に液体を接触させると、その液体の粘性などの特性を受けて弾性波の音速や振幅が変化する。この変化を計測することで、弾性波の送受波間に負荷した液体の特性を計測できる。本研究では、液体への漏洩が少ない横波型弾性波をパイプ側面で周回させるセンサを作製した。まず、石英基板上に横波を励振可能なZnO薄膜を作製したセンサ構造について、弾性波伝搬シミュレーションを行った。その結果から、直径20mmのパイプセンサを作製した。弾性波伝搬特性や液体負荷特性を測定したところ、液体の粘性による振幅変化を確認できた。さらに、センサを小型化するため、直径6mmのパイプセンサ作製についても検討した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

弾性波センサの感度は液体が接触した領域の長さで決まる。そのため、従来の平面上で直線的に弾性波を送受波するセンサに対し、パイプセンサではパイプ側面を弾性波が周回することで、小型でもセンサ領域の長い高感度なセンサを実現できる。さらに、パイプ内側にも伝搬する弾性波を用いると、パイプ内部の液体粘度を測定することができる。したがって、6mmパイプなど実験配管で広く利用される規格サイズのセンサを作製できれば、市販の石英パイプ用配管部品を使って液体流路にそのまま組み込める。また、石英ガラスパイプは耐久性、耐薬品性にも優れている。以上より、本研究のパイプセンサは新たな液体用センサとして期待できる。

報告書

(3件)
  • 2019 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2018 実施状況報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2020 2019 2018 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち国際共著 1件、 査読あり 1件) 学会発表 (5件) (うち国際学会 1件) 備考 (3件)

  • [雑誌論文] Improvement of C-Axis parallel orientation of ZnO film on silica glass pipes with various diameters for SH-SAW pipe sensor2019

    • 著者名/発表者名
      T. Wakabayashi, S. Takayanagi, Y. Takamura, M. Matsukawa, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 671-674

    • DOI

      10.1109/ultsym.2019.8925796

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性2019

    • 著者名/発表者名
      宮田 昌哉、高柳 真司、松川 真美、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告(IEICE technical report)

      巻: 119 ページ: 33-37

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [雑誌論文] 石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜2018

    • 著者名/発表者名
      篁 佑太、高柳 真司、松川 真美、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告(IEICE technical report)

      巻: 118 ページ: 25-30

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] 熱処理によるc軸平行配向ZnO膜のすべりモード電気機械結合係数の向上2020

    • 著者名/発表者名
      紀本 佳苗、高柳 真司、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Improvement of c-Axis Parallel Orientaition of ZnO film on Silica Glass Pipes with Various Diameters for SH-SAW Pipe Sensor2019

    • 著者名/発表者名
      Wakabayashi Takuya、Takayanagi Shinji、Matukawa Mami、Takamura Yuta、Yanagitani Takahiko
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性2019

    • 著者名/発表者名
      宮田 昌哉、高柳 真司、松川 真美、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会 超音波研究会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜2018

    • 著者名/発表者名
      篁 佑太、高柳 真司、松川 真美、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会 超音波研究会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [学会発表] SH型SAWパイプセンサの作製に向けた石英ガラス管へのc軸平行配向ZnO膜の形成2018

    • 著者名/発表者名
      篁 佑太、高柳 真司、松川 真美、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書
  • [備考] 同志社大学 研究者データベース

    • URL

      https://kendb.doshisha.ac.jp/profile/ja.5b17e6886f96b1f4.html

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [備考] 同志社大学 生命医科学部 超音波エレクトロニクス・生体計測研究室

    • URL

      https://ultrason.doshisha.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [備考] 名古屋工業大学 研究者データベース

    • URL

      http://researcher.nitech.ac.jp/html/100000543_ja.html?l=ja&k=%E9%AB%98%E6%9F%B3&o=title&p=1

    • 関連する報告書
      2018 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2018-04-23   更新日: 2021-02-19  

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