| 研究課題/領域番号 |
18K14131
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| 研究種目 |
若手研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 審査区分 |
小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
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| 研究機関 | 地方独立行政法人大阪産業技術研究所 |
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研究代表者 |
斉藤 大志 地方独立行政法人大阪産業技術研究所, 森之宮センター, 主任研究員 (70611317)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2023-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2022年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2021年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2020年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2019年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2018年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 銀ナノ粒子 / ナノインク / 印刷エレクトロニクス / ショットキーバリアダイオード / 仕事関数 / ケルビンプローブ力顕微鏡 / 銀ナノインク / シリコン基板 / プリンテッドエレクトロニクス / 金属ナノ粒子 / 金属ナノインク / ショットキー接触 / 電極作製 / ケルビンプローブ顕微鏡 / コンタクト制御 |
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| 研究成果の概要 |
ナノインクを基盤材料とし電子素子（ダイオード、配線など）を印刷により形成する技術、”印刷エレクトロニクス”が注目されている。印刷エレクトロニクスの電極形成用途では、電極と半導体間における電気的接触の評価が重要であるが、ナノインクを焼成し電極形成する際の残存有機物や界面形成は電気的接触に大きな影響を与える。本研究では、銀ナノインクを用いてシリコン基板上に銀電極を形成したショットキーバリアダイオードを作製した。そして、作製した電極の特性や焼成条件がダイオードの電気特性に与える影響について、電流-電圧計測や界面の電子顕微鏡観察、さらにケルビンプローブ力顕微鏡を用いた計測により明らかにした。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究成果の学術的意義は、印刷エレクトロニクスを用いてダイオードを作製し、その特性評価を行う中で、ナノインクから作製した金属電極の仕事関数がバルク金属と異なる値を有していることを明らかにした点にある。また、産業界で注目されている印刷エレクトロニクス技術の実用化に向けて、印刷エレクトロニクスで作製したデバイスの評価方法を確立した点は、材料メーカーと装置関連メーカー、研究機関も交えた連携を加速させ、印刷エレクトロニクスを基盤技術とした新たな研究展開につながる点で社会体意義がある。
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