| 研究課題/領域番号 |
18K18749
|
|---|
| 研究種目 |
挑戦的研究(萌芽)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 審査区分 |
中区分14:プラズマ学およびその関連分野
|
|---|
| 研究機関 | 東京工業大学 |
|---|
研究代表者 |
長井 圭治 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 准教授 (30280803)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2018-06-29 – 2020-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
|
| 配分額 *注記 |
6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
2019年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2018年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
|
|---|
| キーワード | レーザープラズマ / レーザーターゲット / 高繰り返しレーザー / 量子線源 / 極端紫外光 (EUV) / 低密度材料 / 高分子電解質 / スズ / 液体金属 / ガリウム / 極端紫外線 / 量子線 / リチウム / ターゲット / 高繰り返し |
|---|
| 研究成果の概要 |
ユニバーサル元素に対応する目的で、多くの金属と室温付近で合金を形成するガリウムを用い、ガリウムスズターゲットからの13.5 nm発光が純金属スズと同等の効率で起こることを確認した。また連続的にドロップレットとして、室温付近で供給できることを確認した。また、軽元素で最小質量性の高い、エアバブルをテンプレートとして、高分子電解質の表面、層間にスズをドープしたターゲットを連続的に作成し、その一つにレーザーを照射して13.5 nmの発光を金属スズと同等に観測することができた。後者の方法は目的とした「最小質量、元素選択ユニバーサル、スケールアップ合成」を両立したものである。
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
この成果は13.5 nm のEUVのみならず次世代の 6 nm EUV、炭素イオンビームほか 様々なレーザー誘起量子線用のターゲットに展開できるものである。本技術のニーズは高強度レーザー研究者から特に強く、そうした分野への展開を検討するために、最終年度には、ワークショップでレーザープラズマ型量子線発生の研究者との会合をもち、共同研究の可能性を議論できた。さらに、本研究課題の成果を活用して、通常は高額な装置となるEUV光を、研究室内で利用する試みにも予備的に取り組み始めた。これらを進めることで、本成果は微細加工のみならず、低原子番号材料（生体を含む）の高空間分解能分析、医療応用に繋がる。
|
