| 研究課題/領域番号 |
18K18802
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| 研究種目 |
挑戦的研究(萌芽)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 審査区分 |
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
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| 研究機関 | 慶應義塾大学 (2019)
東京大学 (2018) |
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研究代表者 |
高橋 英俊 慶應義塾大学, 理工学部(矢上), 講師 (90625485)
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| 研究分担者 |
江島 広貴 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (00724543)
菅 哲朗 電気通信大学, 大学院情報理工学研究科, 准教授 (30504815)
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| 研究期間 (年度) |
2018-06-29 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円)
2019年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2018年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
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| キーワード | MEMS / フォトリソグラフィ / 3次元構造 / 紫外線硬化樹脂 / 紫外線硬化材料 |
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| 研究成果の概要 |
本研究ではMicroElectroMechanical Systems (MEMS)の基本プロセスの1つであるフォトリソグラフィにおいて、紫外線硬化材料の硬化前後の屈折率の変化を利用した3次元微細構造を製作する方法論の確立を目指した。作製においては、紫外線硬化材料で生体適合性のあるPolyethylene Glycol Diacrylate (PEGDA)を用いた。屈折率の変化によって、照射される紫外線は材料の中を直進せず屈折し、3次元的な構造が製作される。マイクロニードルやマイクロ吸盤などの機能的な3次元微細構造の設計・製作を理論及び実験の両面から研究を遂行した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
近年、マイクロ吸盤やマイクロニードルなど、有用な機能を持つ微細構造デバイスの研究開発が盛んである。こういった構造を作製するためは、微細構造をアレイ状に多数並べる必要があり、MEMSのフォトリソグラフィが作製に最も適した方法の1つであると考えられる。これらは形状によって機能・性能が大きく向上することが知られており、より3次元的で複雑な形状により、高機能・高性能である可能性がある。本研究で提案したフォトリソグラフィを利用することで、これらのような3次元的な構造の実現に貢献できると考えられる。
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