| 研究課題/領域番号 |
18K18808
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| 研究種目 |
挑戦的研究(萌芽)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 審査区分 |
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
有馬 健太 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (10324807)
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| 研究期間 (年度) |
2018-06-29 – 2021-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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| 配分額 *注記 |
6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円)
2020年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2019年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2018年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | ナノグラフェン / 触媒 / 表面加工 / 半導体 / グラフェン触媒 / 半導体表面 / 触媒アシストエッチング / トレンチ加工 / 選択エッチング |
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| 研究成果の概要 |
本研究の目的は、金属元素を一切含有しないナノグラフェンをベースとする触媒を用いて、新しい概念に基づく加工プロセスを創出し、その加工特性を明かにすることである。まず、市販の酸化グラフェン溶液を用いて、複数種類の還元グラフェンシートを合成した。これらのグラフェンシートの構造を原子スケールで解析した後に、半導体表面上に分散・形成し、加工液中に浸漬させた。これにより、単一シートのグラフェン触媒が発現するエッチング特性を計測・評価した。また、グラフェン触媒膜とリソグラフィー技術を組み合わせることにより、半導体表面にトレンチ構造を形成する表面加工プロセスを構築し、その性能を評価した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
これまで固体表面は、工具等に代表される金属を用いた機械的な作用により加工されてきた。これに対して本研究では、カーボン（C）系の新材料が持つ化学的な触媒活性に着目し、半導体表面を自在に加工することを目指している。
本研究は、加工面における機械的なダメージや、金属汚染を除去するための高濃度薬液による後処理が不要な、新しい低損傷・省資源型の加工法になると共に、ナノ物質科学や生産工学分野に大きなインパクトを与えると期待される。
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