原子ステップ型超平坦ポリマー基板上でのナノ構造構築とフレキシブル量子機能素子創製

• 研究課題/領域番号: 18K18995
• 研究種目: 挑戦的研究(萌芽)
• 配分区分: 基金
• 審査区分: 中区分28:ナノマイクロ科学およびその関連分野
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 吉本 護 東京工業大学, 物質理工学院, 教授 (20174998)
• 研究期間 (年度): 2018-06-29 – 2023-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2022年度)
• 配分額: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円); 2019年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円); 2018年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
• キーワード: 原子レベルナノインプリント / ワイドギャップ半導体 / 超平坦ポリマー基板 / 導電性有機薄膜 / 酸化物薄膜 / ポリイミド / 原子ステップ構造 / フレキシブル電子素子 / ナノインプリント加工 / 超平坦ポリマー表面 / 単結晶薄膜 / ナノ構造 / 原子ステップ / 量子機能性 / ナノインプリント / ポリマー基板 / サファイアモールド / ナノコンタクトプリント / 超平坦基板 / 薄膜

研究成果の概要

原子レベル熱ナノインプリント法により、ポリイミドなどのポリマー基板表面をナノ周期型超平坦表面にした後、ZnOやGa2O3などのワイドギャップ酸化物や導電性ポリマー膜を堆積して新規なフレキシブル電子素子創製のための基盤要素技術の確立をめざした。約0.3nm高さの原子ステップ超平坦サファイアモールドを用いたポリマー基板転写に成功した。超平坦ポリマー上でのPLD室温成膜により、高性能超平坦ZnO薄膜の堆積や非晶質アルミナ／配向ZnO緩衝層付きのポリマー上でのレーザーアニールによる配向性βーGa2O3結晶膜の室温合成に成功した。またポリマー上の原子ステップ型超平坦導電性有機薄膜の作製に成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

従来の量子機能電子素子やナノ構造を制御した光電子機能薄膜の構築にはシリコンなどの無機系基板が広く用いられてきたが、本成果により、独自に作製された原子ステップ型超平坦ポリマー基板は、次世代超機能フレキシブル電子デバイス薄膜の堆積用基板として極めて有望であることが実証された。また、高分子科学の観点からみて注目すべきは、高分子材料のようにミクロンオーダーの巨大分子鎖が複雑に絡み合う表面においても、モノマー分子サイズ(約0.5 nm)よりも小さな原子スケール(約0.3nm)の段差パターンが転写されたことである。

研究成果

• [雑誌論文] Room-temperature fabrication of epitaxial ZnO thin films on polymer substrates coated with a seed layer of exfoliated β-Ga₂O₃ single-crystal thin sheets by pulsed laser deposition (2023)
  • 著者名/発表者名: Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Yutaka Majima, Hisashi Miyazaki, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: Journal of the Ceramic Society of Japan 巻: 131 号: 5 ページ: 130-134
  • DOI: 10.2109/jcersj2.22152
  • ISSN: 1348-6535, 1882-0743
  • 年月日: 2023-05-01
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Crystallinity improvement of room-temperature PLD-deposited ZnO thin films on cyclo-olefin polymer substrates subject to surface-pretreatment with vacuum-UV-light irradiation (2023)
  • 著者名/発表者名: Tomoaki Oga, Ryoya Kai, Naho Kaneko, Hisashi Miyazaki, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: J. Cryst. Growth 巻: 603 ページ: 127012-127012
  • DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2022.127012
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Control of atomic ordering of LiNiO2 thin films on a sapphire substrate from rock-salt to layered structure using uniaxial compression (2023)
  • 著者名/発表者名: Seo Okkyun、Kim Jaemyung、Tang Jiayi、Kumara L.S.R.、Kimoto Koji、Miki Kazushi、Matsuda Akifumi、Yoshimoto Mamoru、Sakata Osami
  • 雑誌名: Journal of Alloys and Compounds 巻: 945 ページ: 169177-169177
  • DOI: 10.1016/j.jallcom.2023.169177
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Fabrication of highly-oriented β-Ga2O3 thin film on ZnO/AlOx-buffered cyclo-olefin polymer substrate by excimer laser annealing at room temperature (2023)
  • 著者名/発表者名: Ryoya Kai, Tomoaki Oga, Kazuki Watanabe, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 62 号: 4 ページ: 048003-048003
  • DOI: 10.35848/1347-4065/accc63
  • 査読あり
• [雑誌論文] Electronic states of gallium oxide epitaxial thin films and related atomic arrangement (2022)
  • 著者名/発表者名: Yanna Chen, Osami Sakata, Hiroyuki Morita, Akifumi Matsuda, Fanhao Jia, Okkyun Seo, Loku Singgappulige Rosantha Kumara, Toshiaki Ina, Eiichi Kobayashi, Jaemyung Kim, Chulho Song, Satoshi Hiroi, Natalia Palina, Yanfang Lou, Wei Ren, and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: Appl. Surf. Sci. 巻: 578 号: 1 ページ: 15809-15809
  • DOI: 10.1038/s41598-022-20078-x
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Characterization of vacuum ultraviolet-irradiated surface modification of CoO(111) crystal by low-energy atom scattering spectroscopy (2022)
  • 著者名/発表者名: Tan G.、Fukuta H.、De Silva K. K. H.、Matsuda A.、Yoshimura M.、Yoshimoto M.、Umezawa K.
  • 雑誌名: Journal of Vacuum Science & Technology A 巻: 40 号: 6 ページ: 063202-063202
  • DOI: 10.1116/6.0001971
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Solid-phase epitaxial crystallization of β-Ga2O3 thin film by KrF excimer laser irradiation from backside of NiO (111)-buffered α-Al2O3 (0001) substrate at room temperature (2021)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Morita, Takumi Matsushima, Kisho Nakamura, Kenta Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: J. Vac. Sci. Technol. 巻: A39 号: 4 ページ: 043414-043417
  • DOI: 10.1116/6.0000996
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of MgO powder addition to alkali and alkaline-earth borosilicate glass paste on the acid durability and peel adhesion characteristics of Ag conductors formed with the glass paste (2020)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Tachibana, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: Journal of the Ceramic Society of Japan 巻: 128 号: 3 ページ: 142-148
  • DOI: 10.2109/jcersj2.19157
  • NAID: 130007804694
  • ISSN: 1348-6535, 1882-0743
  • 年月日: 2020-03-01
  • 査読あり
• [雑誌論文] P-type amorphous vanadium oxide thin film fabricated by pulsed laser deposition (2020)
  • 著者名/発表者名: Subaru Nakanishi, Yoshiharu Shinozaki, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 59 号: 7 ページ: 078004-078004
  • DOI: 10.35848/1347-4065/ab9ef7
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of ultra-flat c-axis oriented ZnO thin films on atomically stepped cyclo-olefin polymer (COP) substrates by pulsed laser deposition at RT (2020)
  • 著者名/発表者名: Tomoaki Oga, Shiori Yamada, Naho Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 59 号: 12 ページ: 128001-128001
  • DOI: 10.35848/1347-4065/abc65e
  • 査読あり
• [雑誌論文] Tuning of structural, optical band gap, and electrical properties of room-temperature-grown epitaxial thin films through the Fe2O3:NiO ratio (2019)
  • 著者名/発表者名: Seo Okkyun、Tayal Akhil、Kim Jaemyung、Song Chulho、Chen Yanna、Hiroi Satoshi、Katsuya Yoshio、Ina Toshiaki、Sakata Osami、Ikeya Yuki、Takano Shiori、Matsuda Akifumi、Yoshimoto Mamoru
  • 雑誌名: Scientific Reports 巻: 9 号: 1 ページ: 4304-4304
  • DOI: 10.1038/s41598-019-41049-9
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Solid-phase epitaxy and pressure-induced topotaxy of the VO2 and V2O3 thin films on sapphire using annealing under uniaxial compression (2019)
  • 著者名/発表者名: Akifumi Matsuda, Yasuhisa Nozawa, Satoru Kaneko, and Mamoru Yoshimoto
  • 雑誌名: Applied Surface Science 巻: 480 ページ: 956-961
  • DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.01.189
  • 査読あり
• [雑誌論文] Construction of a lattice constant in an epitaxial magnesium oxide film deposited on a silicon substrate (2019)
  • 著者名/発表者名: S. Kaneko, T. Tokumasu, M. Yasuii, Musa, A. Matsuda, and M. Yoshimoto
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. Vol.58 (2019) 巻: 58 号: SA ページ: SAAD06-SAAD06
  • DOI: 10.7567/1347-4065/aaec11
  • 査読あり
• [学会発表] 熱ナノインプリントによるポリ乳酸シート表面の原子ステップ平坦化 (2023)
  • 著者名/発表者名: 梅本琉花・前田優斗・大賀友瑛・金子智・吉本護・松田晃史
  • 学会等名: 2023年応用物理学会春年会（上智大学）
• [学会発表] 新規熱電材料創製に向けた不純物添加非晶質酸化バナジウム系薄膜のUV光照射等による構造・ 電気特性制御 (2023)
  • 著者名/発表者名: 大澤樹・庄司拓貴・金子健太・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2023年応用物理学会春年会（上智大学）
• [学会発表] ナノインプリント法およびパルスレーザー堆積を用いたポリマー表面上への金属ナノ粒子周期パターン形成 (2023)
  • 著者名/発表者名: 島田侑果・前田優斗・大賀友瑛・金子智・吉本護・松田晃史
  • 学会等名: 2023年応用物理学会春年会（上智大学）
• [学会発表] p/n半導性制御のための不純物ドープβ-Ga2O3薄膜の室温固相結晶化に向けたエキシマレーザーアニールプロセスの検討 (2023)
  • 著者名/発表者名: 沼田拓実・甲斐稜也・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2023年応用物理学会春年会（上智大学）
• [学会発表] ポリマー基板上へのワイドギャップβ-Ga2O3配向性結晶薄膜のレーザーアニール室温合成 (2023)
  • 著者名/発表者名: 甲斐稜也・沼田拓実・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2023年日本セラミックス協会春年会
• [学会発表] Nanoimprint Formation of the Atomically Ultra-Smooth Surface of the PEDOT: PSS Conducting Polymer Thin Film for Flexible Optoelectronic Devices (2022)
  • 著者名/発表者名: Yuto Maeda, Naho Kaneko, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: 2022 MRS Fall Meeting & Exhibit (Boston, USA)
  • 国際学会
• [学会発表] Room-Temperature Fabrication of Highly-Oriented β-Ga2O3 Thin Film on ZnO/AlOx-Buffered Cyclo-Olefin Polymer Substrate via Excimer Laser Annealing of Amorphous Thin Film (2022)
  • 著者名/発表者名: Ryoya Kai, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: 2022 MRS Fall Meeting & Exhibit (Boston, USA)
  • 国際学会
• [学会発表] Lowering in Resistivity and Ultra-Flattening of AZO Thin Films on Cyclo-Olefin Polymer Substrates via Substrate-Surface Modification for Flexible Optoelectronics (2022)
  • 著者名/発表者名: Tomoaki Oga, Ryoya Kai, Hisashi Miyazaki, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: 2022 MRS Fall Meeting & Exhibit (Boston, USA)
  • 国際学会
• [学会発表] Designing Carbon Cluster for Graphene Growth by Molecular Dynamics-Selection of Substrate Material, Crystal Orientation (2022)
  • 著者名/発表者名: Satoru Kaneko, Manabu Yasui, Masahito Kurouchi, Chihiro Kato, Satomi Tanaka, Takashi Tokumasu, Shigeo Yasuhara, Tamio Endo, Musa Can, Ruei-Sung Yu, Kripasindhu Sardar, Sumanta Sahoo, Masahiro Yoshimura, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: 2022 MRS Fall Meeting & Exhibit (Boston, USA)
  • 国際学会
• [学会発表] Formation of the atomically stepped surface of the spin-coated PEDOT:PSS conducting polymer thin film by thermal nanoimprinting (2022)
  • 著者名/発表者名: Yuto Maeda, Naho Kaneko, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: The 22nd International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2022) (Toyama, Jpn)
  • 国際学会
• [学会発表] Influence of atomic-scale thermal-nanoimprint patterning and surface modification of the polymer substrate on growth of functional oxide thin films (2022)
  • 著者名/発表者名: Tomoaki Oga, Hisashi Miyazaki, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: The 22nd International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2022) (Toyama, Jpn)
  • 国際学会
• [学会発表] シクロオレフィンポリマー基板への表面修飾がAZO薄膜の電気特性に与える影響 (2022)
  • 著者名/発表者名: 大賀友瑛・宮﨑尚・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2022年応用物理学会秋年会（東北大学）
• [学会発表] 室温でのエキシマレーザーアニールにより作製した酸化物緩衝層付きポリマー基板上のβ-Ga2O3配向膜の構造及び光学特性の評価 (2022)
  • 著者名/発表者名: 甲斐稜也・沼田拓実・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2022年応用物理学会秋年会（東北大学）
• [学会発表] 原子ステップ形状を有する超平坦PEDOT:PSS導電性ポリマー薄膜の作製と表面特性制御 (2022)
  • 著者名/発表者名: 前田優斗・梅本琉花・島田侑果・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2022年応用物理学会秋年会（東北大学）
• [学会発表] 熱ナノインプリントによるポリ乳酸シート表面の形状制御と超平坦化 (2022)
  • 著者名/発表者名: 梅本琉花・前田優斗・大賀友瑛・金子智・吉本護・松田晃史
  • 学会等名: 2022年応用物理学会秋年会（東北大学）
• [学会発表] PLD合成したアモルファス酸化バナジウム系薄膜の紫外光照射及び一軸圧縮熱処理による電気特性制御 (2022)
  • 著者名/発表者名: 大澤樹・庄司拓貴・金子健太・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2022年応用物理学会秋年会（東北大学）
• [学会発表] ナノインプリント法を用いたポリマー基板表面の薄膜周期パターン形成 (2022)
  • 著者名/発表者名: 島田侑果・前田優斗・大賀友瑛・金子智・吉本護・松田晃史
  • 学会等名: 2022年応用物理学会秋年会（東北大学）
• [学会発表] 室温でのエキシマレーザーアニーリングによる不純物ドープβ-Ga2O3薄膜の固相エピタキシャル成長と特性評価 (2022)
  • 著者名/発表者名: 沼田拓実・甲斐稜也・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2022年応用物理学会秋年会（東北大学）
• [学会発表] シクロオレフィンポリマー基板上ZnO薄膜の低温PLD結晶成長に与える物理・化学的な基板表面修飾の効果 (2022)
  • 著者名/発表者名: 大賀友瑛・宮崎尚・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2022年日本セラミックス協会秋季シンポジウム
• [学会発表] Rapid oriented crystallization of β-Ga2O3 thin films on flexible polymer substrates by excimer laser annealing (2022)
  • 著者名/発表者名: Ryoya Kai, Kazuki Watanabe, Kenta Kaneko, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Mamoru Yoshimoto, Akifumi Matsuda
  • 学会等名: The 5th International Conference for Young Researchers on Advanced Materials (ICYRAM 2022) (Kyushu, Jpn)
  • 国際学会
• [学会発表] Fabrication of Highly-Oriented Wide-Bandgap Oxide Thin Films on the Surface-Modified Polymer Substrates by Room-Temperature UV Laser/Light Processes (2022)
  • 著者名/発表者名: Tomoaki Oga, Ryoya Kai, Naho Kaneko, Kenta Kaneko, Satoru Kaneko, Hisashi Miyazaki, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: 2022 MRS Spring Meeting & Exhibit (Honolulu, USA)
  • 国際学会
• [学会発表] へき開したβ-Ga2O3 (100)をシード層としたポリマー基板上での機能性酸化物薄膜のエピタキシャル成長 (2022)
  • 著者名/発表者名: 大賀友瑛・宮崎尚・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 日本セラミックス協会 2022年年会
• [学会発表] -Ga2O3単結晶へき開シード層を用いたポリマー基板上ZnO薄膜のエピタキシャル成長 (2022)
  • 著者名/発表者名: 大賀友瑛・宮﨑尚・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2022年第69回 応用物理学会 春季学術講演会
• [学会発表] 紫外レーザーアニールによるポリマー基板上β-Ga2O3高配向膜の作製 (2022)
  • 著者名/発表者名: 甲斐稜也・渡邉一樹・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2022年第69回 応用物理学会 春季学術講演会
• [学会発表] 熱ナノインプリントによるポリマー上PEDOT:PSS薄膜への原子ステップ形状転写 (2022)
  • 著者名/発表者名: 前田優斗・金子奈帆・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2022年第69回 応用物理学会 春季学術講演会
• [学会発表] エキシマレーザーアニーリングを用いたポリマー基板上におけるGa2O3薄膜の固相結晶化 (2021)
  • 著者名/発表者名: 甲斐稜也・渡邉一樹・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2021年第82回 応用物理学会 秋季学術講演会
• [学会発表] 熱ナノインプリントパターンを有するポリマー基板上でのPEDOT:PSS薄膜の液相堆積 (2021)
  • 著者名/発表者名: 前田優斗・金子奈帆・大賀友瑛・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2021年第82回 応用物理学会 秋季学術講演会
• [学会発表] 表面修飾したシクロオレフィンポリマー基板上におけるZnO薄膜の高配向成長と特性評価 (2021)
  • 著者名/発表者名: 大賀友瑛・金子奈帆・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2021年第82回 応用物理学会 秋季学術講演会
• [学会発表] ナノパターンポリマー基板上におけるリン酸Ca系薄膜の初期成長過程 (2021)
  • 著者名/発表者名: 金子奈帆・前田優斗・大賀友瑛・林智広・Mondarte Evan Angelo・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 2021年第82回 応用物理学会 秋季学術講演会
• [学会発表] 真空紫外光照射したシクロオレフィンポリマー基板上における酸化物薄膜の室温結晶成長 (2021)
  • 著者名/発表者名: 大賀友瑛・金子奈帆・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 日本セラミックス協会 2021年第34回秋季シンポジウム
• [学会発表] Room-Temperature Growth of Ultra-Flat Transparent Conducting ZnO Thin Films on the Morphologically and Chemically Surface-Modified Polymer Substrates for Flexible Optoelectronics Devices (2021)
  • 著者名/発表者名: Tomoaki Oga, Naho Kaneko, Kenta Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: 2021 MRS Spring/Fall Meeting (USA, online)
  • 国際学会
• [学会発表] Nano-Scale Growth Study of Calcium Phosphate Thin Films on the Nanopatterned and Chemically-Modified Polymer Sheets for Flexible Apatite-Based Biodevices (2021)
  • 著者名/発表者名: Naho Kaneko, Yuto Maeda, Tomoaki Oga, Kazuki Watanabe, Kenta Kaneko, Tomohiro Hayashi, Evan Angelo Mondarte, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: 2021 MRS Spring/Fall Meeting (USA, online)
  • 国際学会
• [学会発表] Room-temperature highly-oriented growth of ZnO thin films on surface modified cyclic olefin polymer substrates (2021)
  • 著者名/発表者名: Tomoaki Oga, Naho Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: Materials Research Meeting 2021 (MRM2021) (Yokohama, online)
  • 国際学会
• [学会発表] Nano-scale observation of calcium phosphate thin film growth on the nanopatterned and modified polymer surface (2021)
  • 著者名/発表者名: Naho Kaneko, Yuto Maeda, Tomoaki Oga, Tomohiro Hayashi, Evan Angelo Quimada Mondarte, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
  • 学会等名: Materials Research Meeting 2021 (MRM2021) (Yokohama, online)
  • 国際学会
• [学会発表] 環状オレフィンポリマー基板への種々の表面修飾が及ぼすZnO薄膜の配向結晶成長への影響 (2021)
  • 著者名/発表者名: 大賀友瑛・金子奈帆・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 第68回 応用物理学会 春季学術講演会
• [学会発表] 熱ナノインプリントによるナノパターンを有するポリマー基板上へのリン酸Ca系薄膜の堆積 (2021)
  • 著者名/発表者名: 金子奈帆・大賀友瑛・大島淳史・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 第68回 応用物理学会 春季学術講演会
• [学会発表] 環状オレフィンポリマー基板表面への172nm真空紫外光照射が及ぼすZnO薄膜配向成長への影響 (2020)
  • 著者名/発表者名: 大賀友瑛・大島淳史・金子奈帆・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 第81回 応用物理学会 秋季学術講演会
• [学会発表] 導電性ポリマー被覆PETフィルムのナノインプリント平坦化と電気特性評価 (2020)
  • 著者名/発表者名: 大島淳史・大賀友瑛・金子奈帆・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 第81回 応用物理学会 秋季学術講演会
• [学会発表] シクロオレフィンポリマー基板の真空紫外光処理によるZnO薄膜結晶成長への影響 (2020)
  • 著者名/発表者名: 大賀友瑛・金子奈帆・大島淳史・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: MRM Forum 2020
• [学会発表] ソフト化学プロセスを用いたナノパターン高分子基板上でのリン酸Ca系薄膜の成長 (2020)
  • 著者名/発表者名: 金子奈帆・大賀友瑛・大島淳史・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: MRM Forum 2020
• [学会発表] エキシマ光プロセスを用いたいた超平坦ポリマー基板上でのZnO薄膜の低温合成 と結晶配向化 (2019)
  • 著者名/発表者名: 大賀友瑛・大島淳史・金子奈帆・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 第80回 応用物理学会 秋季学術講演会
• [学会発表] 導電性ポリマー基板への原子・ナノレベル周期パターン転写と特性評価 (2019)
  • 著者名/発表者名: 大島淳史・大賀友瑛・金子奈帆・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 第80回 応用物理学会 秋季学術講演会
• [学会発表] ポリマーに転写した原子レベルナノパターンの光・熱による形状制御 (2019)
  • 著者名/発表者名: 金子奈帆・大賀友瑛・大島淳史・金子智・松田晃史・吉本護
  • 学会等名: 第80回 応用物理学会 秋季学術講演会
• [学会発表] Fabrication of UV-sensitive semiconductor thin films on ultra-flat polymer sheets with 0.3 nm-high atomic step-and-terrace surface (2019)
  • 著者名/発表者名: T. Oga, K. Iwasa, S. Yamada, H. Morita, S. Kaneko, A. Matsuda, M. Yoshimoto
  • 学会等名: 2019 MRS Spring Meeting & Exhibit
• [学会発表] 酸化物半導体薄膜の成長および特性に及ぼすポリマー基板表面における原子レベルパターンの影響 (2019)
  • 著者名/発表者名: 大賀,岩佐,山田,金子,松田,吉本
  • 学会等名: 第66回 応用物理学会(2019) 春季学術講演会
• [学会発表] Atomic-scale flattened/patterned flexible substrates for nanomaterials formation (2018)
  • 著者名/発表者名: 松田、吉本
  • 学会等名: The 4th International Conference for Young Researchers on Advanced Materials (ICYRAM 2018)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] 周期的ナノパターン表面を有するポリマー基板上への酸化物半導体薄膜の作製と電気特性評価 (2018)
  • 著者名/発表者名: 岩佐,大賀,土嶺,金子,松田,吉本
  • 学会等名: 第79回 応用物理学会(2018) 秋季学術講演会
• [学会発表] 0.3 nm高さの直線状原子ステップを有するPMMA及びポリイミドシートにおける光化学反応および成膜による表面特性の制御 (2018)
  • 著者名/発表者名: 山田,岩佐,大賀,金子,松田,吉本
  • 学会等名: 第79回 応用物理学会(2018) 秋季学術講演会
• [図書] ナノインプリント技術ハンドブック (2019)
  • 著者名/発表者名: 応用物理学会・ナノインプリント技術研究会(編)(分担執筆：第１編））
  • 総ページ数: 802
  • 出版者: オーム社
  • ISBN: 9784274224485
• [備考] 東京工業大学物質理工学院 吉本・松田研究室
  • URL: http://www.yoshimoto.iem.titech.ac.jp/