| 研究課題/領域番号 |
18KK0079
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| 研究種目 |
国際共同研究加速基金(国際共同研究強化(B))
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| 配分区分 | 基金 |
| 審査区分 |
中区分14:プラズマ学およびその関連分野
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| 研究機関 | 日本大学 |
研究代表者 |
荒巻 光利 日本大学, 生産工学部, 教授 (50335072)
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| 研究分担者 |
吉村 信次 核融合科学研究所, 研究部, 准教授 (50311204)
寺坂 健一郎 九州大学, 総合理工学研究院, 助教 (50597127)
矢澤 翔大 日本大学, 生産工学部, 講師 (10737951)
小林 弘和 高知工科大学, システム工学群, 教授 (60622446)
戸田 泰則 北海道大学, 工学研究院, 教授 (00313106)
鹿野 豊 群馬大学, 大学院理工学府, 准教授 (80634691)
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| 研究期間 (年度) |
2018-10-09 – 2025-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2024年度)
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| 配分額 *注記 |
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2022年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2021年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円)
2020年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2019年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2018年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 光渦 / プラズマ分光 / 方位角ドップラーシフト / 吸収分光法 / レーザー誘起蛍光法 / プラズマプロセス / ドップラー分光 / 磁性体薄膜 |
| 研究成果の概要 |
原子・分子と光の相互作用におけるドップラー効果を利用することで原子・分子の速度を測定することができる.しかし,一般的なレーザー分光では波面は平面に近似されるため,光の進行方向の速度成分しか測定できない.従って,例えばプラズマと材料の境界領域等の光アクセスが制限された条件では粒子輸送計測が困難になる.一方で光渦は,そのらせん構造に起因して光の進行方向だけでなく,多次元の速度成分に感度を持つ.本研究では方位角方向のドップラー効果を利用して,従来は不可能であったビームを横切る方向の速度に感度があるドップラー分光法を確立した.
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
プラズマの利用において材料との界面での粒子の輸送は非常に重要な情報となる.例えば半導体プロセスにおいては基板に入射するラジカルやイオンの速度,核融合炉においては炉壁への粒子輸送による熱負荷を測定するためには,境界に垂直な速度成分を測定する必要がある.本研究の成果は,従来の分光法では測定困難であったこのような速度成分を測定可能にしたことである.
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