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ダイヤモンドパワーエレクトロニクスの創成

研究課題

研究課題/領域番号 18KK0383
研究種目

国際共同研究加速基金(国際共同研究強化(A))

配分区分基金
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関金沢大学

研究代表者

徳田 規夫  金沢大学, ナノマテリアル研究所, 教授 (80462860)

研究期間 (年度) 2019 – 2024
研究課題ステータス 交付 (2023年度)
配分額 *注記
14,950千円 (直接経費: 11,500千円、間接経費: 3,450千円)
キーワード表面・界面物性 / ダイヤモンド
研究開始時の研究の概要

本国際共同研究では、基課題研究により得られた成果である超低損失ダイヤモンドMOSFETの早期社会実装に資する研究開発成果を得ることを目的とする。具体的には、渡航先が有する最先端のデバイス開発装置群を用いて半導体ダイヤモンドのデバイス研究開発を行うことで、材料基盤研究からデバイス応用研究へ発展させ、ダイヤモンドエレクトロニクスの創成の早期実現を目指す。

研究実績の概要

基課題研究の目的は、省エネ・低炭素社会の実現に期待されている次世代パワーデバイスに関して、大電力制御が可能であり、かつ最も高い省エネ効果が期待されているダイヤモンド半導体を用いた超低損失の縦型トレンチゲート構造MOSFET創製のための基盤要素技術を開発し、ダイヤモンドパワーエレクトロニクスの創成に資することである。本国際共同研究では、基課題研究により得られた成果である超低損失ダイヤモンドMOSFETの早期社会実装の加速を目的とする。具体的には、アリゾナ州立大学(ASU)が有するデバイス開発装置群を用いて、材料基盤研究からデバイス応用研究へ発展させ、ダイヤモンドエレクトロニクスの創成を目指す。
新型コロナウイルスの影響でこれまでは渡航して研究ができずオンラインで議論を行っていたが、今年度は約3週間ではあるが、ASUのRegents' Prof. Nemanichの研究室で実験を行うことができた。具体的な実験内容は、本学でマイクロ波プラズマCVD法を用いてダイヤモンド試料の作製を行い、新規絶縁膜を用いたダイヤモンドMIS構造の作製をASUにて行い、構造の評価を行った。高品質絶縁膜の堆積を実現するため、本学で作製した試料は独自のホモエピタキシャルラテラル成長技術を用いて原子的平坦ダイヤモンド表面を形成した。ASUでは大気暴露することなく、絶縁膜の堆積からXPS評価等が可能である。今後はより詳細な構造評価、物性評価、電気的特性評価を行う。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

これまでのオンラインでの議論のおかげで効率良く実験が行えた。今年度は概ね順調に進展した。

今後の研究の推進方策

今年度ASUで実験を行うことができたが、まだ最終的な目標達成までは至っていない。来年度も引き続き研究を継続する。

報告書

(5件)
  • 2023 実施状況報告書
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (26件)

すべて 2024 2023 2022 2021 2020

すべて 雑誌論文 (9件) (うち国際共著 6件、 査読あり 9件、 オープンアクセス 8件) 学会発表 (17件) (うち国際学会 9件、 招待講演 17件)

  • [雑誌論文] Selectively buried growth of heavily B doped diamond layers with step-free surfaces in N doped diamond (1 1 1) by homoepitaxial lateral growth2022

    • 著者名/発表者名
      Kobayashi Kazuki、Zhang Xufang、Makino Toshiharu、Matsumoto Tsubasa、Inokuma Takao、Yamasaki Satoshi、Nebel Christoph E.、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 593 ページ: 153340-153340

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2022.153340

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Mechanical damage-free surface planarization of single-crystal diamond based on carbon solid solution into nickel2021

    • 著者名/発表者名
      Sakauchi Kazuto、Nagai Masatsugu、Tabakoya Taira、Nakamura Yuto、Yamasaki Satoshi、Nebel Christoph E.、Zhang Xufang、Matsumoto Tsubasa、Inokuma Takao、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: 116 ページ: 108390-108390

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2021.108390

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Inversion-type p-channel diamond MOSFET issues2021

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Takao Inokuma, and Norio Tokuda
    • 雑誌名

      Journal of Materials Research

      巻: 36 号: 23 ページ: 4688-4702

    • DOI

      10.1557/s43578-021-00317-z

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Insight into temperature impact of Ta filaments on high-growth-rate diamond (100) films by hot-filament chemical vapor deposition2021

    • 著者名/発表者名
      Takamori Yue、Nagai Masatsugu、Tabakoya Taira、Nakamura Yuto、Yamasaki Satoshi、Nebel Christoph E.、Zhang Xufang、Matsumoto Tsubasa、Inokuma Takao、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: 118 ページ: 108515-108515

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2021.108515

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Fabrication of inversion p-channel MOSFET with a nitrogen-doped diamond body2021

    • 著者名/発表者名
      Matsumoto Tsubasa、Yamakawa Tomoya、Kato Hiromitsu、Makino Toshiharu、Ogura Masahiko、Zhang Xufang、Inokuma Takao、Yamasaki Satoshi、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 119 号: 24 ページ: 242105-242105

    • DOI

      10.1063/5.0075964

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Inversion channel MOSFET on heteroepitaxially grown free-standing diamond2021

    • 著者名/発表者名
      Zhang Xufang、Matsumoto Tsubasa、Nakano Yuta、Noguchi Hitoshi、Kato Hiromitsu、Makino Toshiharu、Takeuchi Daisuke、Ogura Masahiko、Yamasaki Satoshi、Nebel Christoph E.、Inokuma Takao、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Carbon

      巻: 175 ページ: 615-619

    • DOI

      10.1016/j.carbon.2020.11.072

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Energy distribution of Al2O3/diamond interface states characterized by high temperature capacitance-voltage method2020

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Ukyo Sakurai, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Mitsuru Sometani, Dai Okamoto, Hiroshi Yano, Noriyuki Iwamuro, Takao Inokuma, and Norio Tokuda
    • 雑誌名

      CARBON

      巻: 168 ページ: 659-664

    • DOI

      10.1016/j.carbon.2020.07.019

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Insight into Al2O3/diamond interface states with high-temperature conductance method2020

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Ukyo Sakurai, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Mitsuru Sometani, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Takao Inokuma, and Norio Tokuda
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 117 号: 9 ページ: 092104-092104

    • DOI

      10.1063/5.0021785

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Step-edge growth and doping of diamond2020

    • 著者名/発表者名
      Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Diamond for Quantum Applications Part 1

      巻: 103 ページ: 57-72

    • DOI

      10.1016/bs.semsem.2020.03.003

    • ISBN
      9780128202401
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ダイヤモンドパワー半導体の現状2024

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      応用物理学会 システムデバイスロードマップ産学連携委員会(SDRJ) 2023年度第5回Beyond CMOS、More than Moore合同委員会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ダイヤモンドウェーハの平坦化技術~ダイヤモンド半導体の最新動向を踏まえて~2024

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      公益社団法人砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会 第113回研究会 「硬脆材料の平坦化・平滑化技術 ~半導体素材・電子デバイス素材・光学素材の平面加工~」
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Advances in diamond MOSFET technologies2023

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Kazuki Kobayashi, Kan Hayashi, Kimiyoshi Ichikawa, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Christoph E. Nebel
    • 学会等名
      E-MRS 2023 Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Diamond MOSFET technology:   current status and future perspectives2023

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda
    • 学会等名
      33rd International Conference on Diamond and Carbon Materials
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Inversion type diamond MOSFET technology2023

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda
    • 学会等名
      2023 FUNCTIONAL DIAMOND SYMPOSIUM
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ダイヤモンド半導体を用いた反転層MOSFET2023

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      2023年度電子情報通信学会総合大会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Progress in inversion channel diamond MOSFET technologies2022

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Kazuki Kobayashi, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Christoph E. Nebel
    • 学会等名
      2022 MRS SPRING MEETING & EXHIBIT
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ダイヤモンドウェハの研究開発動向2022

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      第23回KENMA研究会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Recent Progress in Electrical Characterization of Al2O3/Diamond Interface2022

    • 著者名/発表者名
      X. Zhang, T. Matsumoto, M. Sometani, M. Ogura, T. Makino, D. Takeuchi, C.E. Nebel, T. Inokuma, S. Yamasaki, and N. Tokuda
    • 学会等名
      14th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ダイヤモンドMOS界面の原子レベル制御 - 反転層ダイヤモンドMOSFETの実現に向けて -2022

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ダイヤモンドMOS界面の進展2022

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      ワイドギャップ半導体学会 第9回研究会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Advances in Diamond MOS Interface2021

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Christoph E. Nebel, Satoshi Yamasaki
    • 学会等名
      2021 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Diamond Etching Based on Carbon Solid Solution into Nickel for Wafer and Device Fabrication Processes2021

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Christoph Nebel, Satoshi Yamasaki
    • 学会等名
      2021 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ダイヤモンド半導体~ウェハ・プロセス・デバイス~2021

    • 著者名/発表者名
      德田規夫
    • 学会等名
      電気学会「高機能化合物半導体エレクトロニクス技術と将来システムへの応用」調査専門委員会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Inversion Layer Diamond MOSFET2020

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda
    • 学会等名
      Second Workshop on Diamond Electronics
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ダイヤモンドパワー半導体  ~ウェハ・プロセス・デバイス~2020

    • 著者名/発表者名
      徳田 規夫,張 旭芳,松本 翼,猪熊 孝夫, Christoph E. Nebel, 山崎 聡
    • 学会等名
      2021年第68回応用物理学会春季学術講演会 分科企画シンポジウム「パワーデバイスの最新動向と今後の展望」
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] MOS interface control for inversion channel diamond MOSFET2020

    • 著者名/発表者名
      N. Tokuda, T. Matsumoto, X. Zhang, T. Inokuma, S. Yamasaki, H. Kato, T. Makino, C.E. Nebel, R.J. Nemanich
    • 学会等名
      Hasselt Diamond Workshop 2020
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2019-02-06   更新日: 2024-12-25  

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