研究課題/領域番号 |
19023012
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研究種目 |
特定領域研究
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配分区分 | 補助金 |
審査区分 |
理工系
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研究機関 | 独立行政法人産業技術総合研究所 |
研究代表者 |
榊原 陽一 独立行政法人産業技術総合研究所, 光技術研究部門, 主任研究員 (40357091)
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研究分担者 |
鍛冶 良作 独立行政法人産業技術総合研究所, 情報技術研究部門, 研究員 (70356765)
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研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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配分額 *注記 |
8,400千円 (直接経費: 8,400千円)
2008年度: 4,200千円 (直接経費: 4,200千円)
2007年度: 4,200千円 (直接経費: 4,200千円)
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キーワード | ナノチューブ / フラーレン / 先端機能デバイス / ナノチューブ・フラーレン |
研究概要 |
カーボンナノチューブの可飽和吸収効果を利用する光通信用超高速非線形導波路デバイスを作製するために、ナノチューブがポリイミド中に分散された材料をコア形状に加工する新規の技術を開発した。高精細フォトリソグラフィと酸素ドライエッチングによる方法、感光性ポリイミドの露光と現像による方法、細い溝にポリイミドを流しこむ方法により、それぞれに特色ある埋め込み型導波路を作製でき、可飽和吸収機能の発現を確認した。
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