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積層微細構造を広範囲一括で金型転写する技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 19106003
研究種目

基盤研究(S)

配分区分補助金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東京大学

研究代表者

中尾 政之  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (90242007)

研究分担者 濱口 哲也  東京大学, 大学院・工学系研究科, 特任教授 (90345083)
土屋 健介  東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (80345173)
研究期間 (年度) 2007 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
110,500千円 (直接経費: 85,000千円、間接経費: 25,500千円)
2011年度: 13,780千円 (直接経費: 10,600千円、間接経費: 3,180千円)
2010年度: 15,990千円 (直接経費: 12,300千円、間接経費: 3,690千円)
2009年度: 17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2008年度: 20,020千円 (直接経費: 15,400千円、間接経費: 4,620千円)
2007年度: 42,770千円 (直接経費: 32,900千円、間接経費: 9,870千円)
キーワードナノ・マイクロ加工 / 機械工作・生産工学 / 精密部品加工 / 超精密金型転写 / マイクロ・ナノデバイス / ナノインプリント / 高速プレス / ロール加工
研究概要

高効率光学素子のための積層微細構造を安価に製造する方法として,型転写することを試みた.具体的には,薄膜に微細構造を転写し,それを積層する繰返し積層法と,あらかじめ屈折率の異なる材料を積層したものに高速で型をプレスし,同時に型転写する一括せん断法の2種類である.また,ロールを用いて連続で微細構造を型転写する方法も開発した.

報告書

(7件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書   自己評価報告書 ( PDF )
  • 2008 実績報告書
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (71件)

すべて 2012 2011 2010 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (38件) (うち査読あり 38件) 学会発表 (31件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Injection compression molding of high-aspect-ratio nanostructures2011

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. B

      巻: Vol.29

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of duty ratio of patterned surface on planarization by gas clusterion beams2011

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, N.Toyoda, N.Naito, H.Tani, Y.Sakane, I.Yamada, M.Nakao
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys.

      巻: 109 号: 7

    • DOI

      10.1063/1.3556783

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Slurry mixing device with microchannels for gelcasting2011

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, H, Hoshino, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng.

      巻: 88 号: 8 ページ: 1814-1816

    • DOI

      10.1016/j.mee.2011.01.033

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Field emission of vertically aligned carbon nanotubes patterned by pressing a microstructured mold and their fild-emission properties2011

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, S.Inoue, M.Furubayashi, S.Chiashi, S.Maruyama, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng.

      巻: 88 号: 8 ページ: 2700-2702

    • DOI

      10.1016/j.mee.2011.01.035

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Patterning of a-Fe2O3 nanowires by pressing a microstructured mold and their field-emission properties2011

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, M.Furubayashi, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng.

      巻: 88 号: 8 ページ: 2697-2699

    • DOI

      10.1016/j.mee.2011.01.051

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Injection compression molding of high-aspect-ratio nanostructures2011

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol.B

      巻: 29 号: 6

    • DOI

      10.1116/1.3662405

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of duty ratio of patterned surface on planarization by gas cluster ion beams2011

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, N.Toyoda, H.Naito, H.Tani, Y.Sakane, I.Yamada, M.Nakao, T.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys.

      巻: 109

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Slurry mixing device with microchannels for gelcasting2011

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, H.Hoshino, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng.

      巻: (in press)(掲載確定)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Field emission of vertically aligned single walled carbon nanotubes patterned by pressing a microstructured mold2011

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, S.Inoue, S.Chiashi, S.Maruyama, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng.

      巻: (in press)(掲載確定)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Patterning of a-Fe203 nanowires by pressing a microstructured mold and their field-emission properties2011

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, M.Furubayashi, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng.

      巻: (in press)(掲載確定)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Iterative roller imprint of multilayered nanostructures2010

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, S. Sugimoto, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron. Eng.

      巻: Vol.87 ページ: 1543-1545

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Rapid injection molding of high-aspect-ratio nanostructures2010

    • 著者名/発表者名
      S. Hattori, K. Nagato, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron. Eng.

      巻: Vol.87 ページ: 1546-1549

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Iterative roller imprint of multilayered nanostructures2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, S.Sugimoto, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng.

      巻: 87 ページ: 1543-1545

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Field emission properties of discretely synthesized tungsten oxide nanowires2010

    • 著者名/発表者名
      M.Furubayashi, K.Nagato, H.Moritani, T.Aamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng.

      巻: 87 ページ: 1594-1596

    • NAID

      130004659138

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Rapid injection molding of high-aspect ratio nanostructures2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hattori, K.Nagato, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng.

      巻: 87 ページ: 1546-1549

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Planarization of nonmagnetic films on bit patterned substrates by gas cluster ionbeams2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, H.Hoshino, H.Naito, T.Hirota, H.Tani, Y.Sakane, N.Toyoda, I.Yamada, M.Nakao, T.Hamaguchi
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Magn.

      巻: 46 ページ: 2504-2506

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of antireflection-structured surface using vertical nanowires as an initial structure2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, H.Moritani, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol.B

      巻: 28 ページ: 39-42

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Direct synthesis of a-Fe203 nanowires from sputtered thin film2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, M.Furubayashi, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol.B

      巻: 28 ページ: 11-13

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Rapid thermal imprinting of high-aspect ratio nanostructures by dynamic heating of mold surface2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, S.Hattori, T.Hamguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol.B

      巻: 28 ページ: 122-124

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Iterative roller imprint of multilayered nanostructures2010

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, S. Sugimoto, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng. Vol. 87

      ページ: 1543-1545

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Rapid injection molding of high-aspect-ratio nanostructures2010

    • 著者名/発表者名
      Hattori, K. Nagato, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng. Vol. 87

      ページ: 1546-1549

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Iterative roller imprint of multilayered nanostructures2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, S.Sugimoto, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng. 87

      ページ: 1543-1545

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Rapid injection molding of high-aspect-ratio nanostructures2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hattori, K.Nagato, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng. 87

      ページ: 1546-1549

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Iterative imprint for multilayered nanostructures by feeding, vacuum forming, and bonding of sheets2008

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, K. Nagato, S. Sugimoto, K. Tsuchiya, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol B

      巻: Vol.26 ページ: 1753-1756

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Single-pass forming for three-dimensional microstructures by high-speed shearing of multilayer thin films2008

    • 著者名/発表者名
      T. Hamaguchi, H. Yonemoto, K. Nagato, K. Tsuchiya, M. Nakao
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol B

      巻: Vol.26 ページ: 1771-1774

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sub-wavelength Pitched Cubic Mosaic Multi-layer Precisely Pressed by Nano-features Mold for Multi-functional Optical Elements2008

    • 著者名/発表者名
      M. Nakao, K. Nagato, H. Suzuki, T. Nishino, H. Yonemoto, H. Kaito, T. Hamaguchi and K. Tsuchiya
    • 雑誌名

      The 41st CIRP Conference on Manufacturing Systems

      巻: Vol.1 ページ: 449-452

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Local Synthesis of Tungsten Oxide Nanowires by Current Heating of Designed Micropatterned Wires2008

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, Y. Kojima, K. Kasuya, H. Moritani, Tetsuya Hamaguchi, and Masayuki Nakao
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: Vol.1 ページ: 1-3

    • NAID

      10024292605

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Heat transfer in injection molding for reproduction of sub-micron-sized features2008

    • 著者名/発表者名
      M. Nakao, K. Tsuchiya, T. Sadamitsu, Y. Ichikohara, T. Ohba, T. Ooi
    • 雑誌名

      The International Journal of Advanced Manufacturing Technology

      巻: Vol.38 ページ: 426-432

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Iterative imprint for multilayered nanostructures by feeding, vacuum forming, and bonding of sheets2008

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, K. Nagato, S. Sugimoto, K. Tsuchiya, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol B Vol. 26

      ページ: 1753-1756

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Single-pass forming for three-dimensional microstructures by high-speed shearing of multilayer thin films2008

    • 著者名/発表者名
      T. Hamaguchi, H. Yonemoto, K. Nagato, K. Tsuchiya, M. Nakao
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol B Vol. 26

      ページ: 1771-1774

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sub-wavelength Pitched Cubic Mosaic Multi-layer Precisely Pressed by Nano-features Mold for Multi-functional Optical Elements2008

    • 著者名/発表者名
      M. Nakao, K. Nagato, H. Suzuki, T. Nishino, H. Yonemoto, H. Kaito, T. Hamaguchi, K. Tsuchiya
    • 雑誌名

      The 41st CIRP Conference on Manufacturing Systems Vol. 1

      ページ: 449-452

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Local Synthesis of Tungsten Oxide Nanowires by Current Heating of Designed Micropatterned Wires2008

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, Y. Kojima, K. Kasuya, H. Moritani, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 雑誌名

      Applied Physics Express Vol. 1

    • NAID

      10024292605

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Heat transfer in injection molding for reproduction of sub-micron-sized features2008

    • 著者名/発表者名
      M. Nakao, K. Tsuchiya, T. Sadamitsu, Y. Ichikohara, T. Ohba, T. Ooi
    • 雑誌名

      The International Journal of Advanced Manufacturing Technology Vol. 38

      ページ: 426-432

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Iterative imprint for mjltilayered nanostructurex by feeding, vacuun forming, and bonding of sheets2008

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, K. Nagato, S. suginoto, K. Tsuchiya, T. Hamafuchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. B 26

      ページ: 1753-1756

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Single-pass forming for three- dimensional microstructures by high-speed shearing of multilayer thin films2008

    • 著者名/発表者名
      T. Hamaguchi, H. Yonemoto, K. Nagatu, K. Tsuchiya, M. Nakao
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. B 26

      ページ: 1771-1774

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Local Synthesis of Tungsten Oxide Nanowires by Current Heating of Designed Micropatterned Wires2008

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Nagato, et, al.
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 1

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Heat Transfer in Injection Molding for Reproduction of Sub-micron Sized Features2008

    • 著者名/発表者名
      M.Nakao, et. al.
    • 雑誌名

      The International Journal of Advanced Manufacturing Technology (CD-ROM)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sub-wavelength Pitched Cubic Mosaic Multi-layer Precisely Pressed by Nano-features Mold for Multi-functional Optical Elements2008

    • 著者名/発表者名
      M.Nakao, et. al.
    • 雑誌名

      The 41st CIRP Conference on Manufacturing Systems 印刷中(掲載確定)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 光導波路のための高速せん断加工の開発2012

    • 著者名/発表者名
      中林良太、下田誠、長藤圭介、井ノ上泰樹、千足昇平、丸山茂夫、濱口哲也、中尾政之
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      首都大学東京南大沢キャンパス
    • 年月日
      2012-03-15
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 光導波路のための高速せん断加工の開発2012

    • 著者名/発表者名
      中林良太, 下田誠, 長藤圭介, 井ノ上泰樹, 千足昇平, 丸山茂夫, 濱口哲也, 中尾政之
    • 学会等名
      精密工学会春季大会
    • 発表場所
      首都大学東京南大沢キャンパス
    • 年月日
      2012-03-15
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Photolithography with periodic multilayered resist film for photonic crystals2011

    • 著者名/発表者名
      M.Shimoda, K.Nagato, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 学会等名
      24th International Microprocess and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • 年月日
      2011-10-26
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] マイクロ流路におけるスラリー流の粒子法による解析2011

    • 著者名/発表者名
      池島翔太, 長藤圭介, 濱口哲也, 中尾政之
    • 学会等名
      粉体工学会秋季研究発表会
    • 発表場所
      大阪アカデミア、大阪府
    • 年月日
      2011-10-18
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 光学素子のための積層微細構造の製造2011

    • 著者名/発表者名
      下田誠, 長藤圭介, 濱口哲也,中尾政之
    • 学会等名
      第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム(日本機械学会)
    • 発表場所
      タワーホール船堀、東京都
    • 年月日
      2011-09-26
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Morphology control of nickel oxide nanowires2011

    • 著者名/発表者名
      Kaname Sekiya, Keisuke Nagato, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      37th International Conference on Micro and Nano Engineering
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • 年月日
      2011-09-22
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Laser-scanning imprinting for large-area nanostructures2011

    • 著者名/発表者名
      Toshimi Sato, Keisuke Nagato, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      37th International Conference on Micro and Nano Engineering
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • 年月日
      2011-09-22
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Nanoparticle Control of Slurry Flow in Microchannel2011

    • 著者名/発表者名
      Shota Ikeshima, Keisuke Nagato, Kazuyasu Sugiyama, Shu Takagi, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      11th IEEE International Conference on Nanotechnology
    • 発表場所
      Portland, Oregon, USA
    • 年月日
      2011-08-18
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of antireflection structure by simple annealing of Fe film2011

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Suehiro, Keisuke Nagato, Tetsuya Hamaguchi, M. Nakao
    • 学会等名
      11th IEEE International Conference on Nanotechnology
    • 発表場所
      Portland, Oregon, USA
    • 年月日
      2011-08-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Reductive-Gas Sensor using Iron Oxide Nanowires2011

    • 著者名/発表者名
      Yuu Uriya, Keisuke Nagato, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      11th IEEE International Conference on Nanotechnology
    • 発表場所
      Portland, Oregon, USA
    • 年月日
      2011-08-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Laser-Assisted Imprinting of Nanostructured Glass2011

    • 著者名/発表者名
      Toshimi Sato, Keisuke Nagato, Junho Choi, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      11th IEEE International Conference on Nanotechnology
    • 発表場所
      Portland, Oregon, USA(招待講演)
    • 年月日
      2011-08-15
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 射出圧縮成形を用いたナノ構造の転写2011

    • 著者名/発表者名
      長藤圭介, 下田誠, 光田健洋, 濱口哲也, 中尾政之
    • 学会等名
      次世代リソグラフィ(NGL)ワークショップ
    • 発表場所
      東京工業大学 蔵前会館(東京)
    • 年月日
      2011-07-11
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Injection compression molding of high-aspect-ratio nanostructures2011

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 学会等名
      55th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (EIPBN)
    • 発表場所
      Las Vegas, NV, USA
    • 年月日
      2011-05-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Copper oxide nanowire arrays synthesized from sputtered Cu thin film2011

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 学会等名
      55th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (EIPBN)
    • 発表場所
      Las Vegas, NV, USA
    • 年月日
      2011-05-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 光学素子のための積層微細構造の製造2011

    • 著者名/発表者名
      下田誠、長藤圭介、濱口哲也、中尾政之
    • 学会等名
      第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム(日本機械学会)
    • 発表場所
      タワーホール船堀
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Effect of duty ratio of patterned surface on planarization by gas cluster ion beams2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, N.Toyoda, H.Naito, H.Tani, Y.Sakane, I.Yamada, M.Nakao.T.Hamaguchi
    • 学会等名
      Magnetism and Magnetic Materials(MMM)
    • 発表場所
      Atlanta, USA
    • 年月日
      2010-11-17
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Biomolecular-imaging device using light-addressed excitation on a photocatalyst substrate2010

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Yamamoto, Jvn Suzurikawa, Keisuke Nagato, Tadashi, Tsukada, Aya Tanaka, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakac
    • 学会等名
      The 24 the American Society for Precision Engineering(ASPE)
    • 発表場所
      Atlanta, USA
    • 年月日
      2010-11-02
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Heat controlled injection molding of nanostructuredoptical elements2010

    • 著者名/発表者名
      Takehiro Mitsuda, Keisuke Nagato, Shuntaro Hattori, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      The 24 the American Society for Precision Engineering(ASPE)
    • 発表場所
      Atlanta, USA
    • 年月日
      2010-11-02
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Fast detection of micro defects using magnetic nondestructive testing methods2010

    • 著者名/発表者名
      Ryo Nakajima, Keisuke Nagato, Ysuhiro Kawamoto, Hirotoshi Kaito, Masayuki Nakao, Tetsuya Hamaguchi
    • 学会等名
      The 24 the American Society for Precision Engineering(ASPE)
    • 発表場所
      Atlanta, USA
    • 年月日
      2010-11-02
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Penetration of residual layer in nanoimphnt hthography by direct oxidation of photocatalytic films2010

    • 著者名/発表者名
      Makoto Shimoda, Keisuke Nagato, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      The 24 the American Society for Precision Engineering(ASPE)
    • 発表場所
      Atlanta, USA
    • 年月日
      2010-11-02
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Slurry mixing device with microchannels for gelcasting2010

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Hoshino, Keisuke Nagato, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      The 36th International Conference on Micro & Nano Engineering(MNE)
    • 発表場所
      Genova, Italy
    • 年月日
      2010-09-20
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Field emission of vertically aligned single walled carbon nanotubes patterned by pressing a microstructured mold2010

    • 著者名/発表者名
      Shota Inoue, Keisuke Nagato, Masaki Furubayashi, Shohei Chiashi, Shigeo Maruyama, Tetsuya Hamaguchi, Msayuki Nakao
    • 学会等名
      The 36th International Conference on Micro & Nano Engineering(MNE)
    • 発表場所
      Genova, Italy
    • 年月日
      2010-09-20
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Patterning of iron oxide nanowires by pressing a microstructuredmold2010

    • 著者名/発表者名
      Masaki Furubayashi, Keisuke Nagato, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      The 36th International Conference on Micro & Nano Engineering(MNE)
    • 発表場所
      Genova, Italy
    • 年月日
      2010-09-20
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 繰返しローラインプリントを用いた積層ナノ構造の製造2010

    • 著者名/発表者名
      長藤圭介、杉本俊太郎、濱口哲也、中尾政之
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2009 実績報告書 2009 自己評価報告書
  • [学会発表] Direct synthesis of vertical a-Fe203 nanowires from sputtered Fe thin film2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, M.Furubayashi, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 学会等名
      The 54th internatinal conference on electron, ion, and photonbeam technology and nanofabrication(EIPBN)
    • 発表場所
      Anchorage, AL, USA
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Rapid thermal imprint of high-aspect ratio nanostructures with dynamically heating of mold surface2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nagato, S.Hattori, T.Hamaguchi, M.Nakao
    • 学会等名
      The 54th international conference on electron, ion, and photonbeam technology and nanofabrication(EIPBN)
    • 発表場所
      Anchorage, AL, USA
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 射出成形を用いた高アスペクト比ナノ構造の転写2009

    • 著者名/発表者名
      服部俊太郎、長藤圭介、濱口哲也、中尾政之
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-09
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 射出成形を用いた高アスペクト比ナノ構造の転写2009

    • 著者名/発表者名
      服部俊太郎, 長藤圭介, 濱口哲也, 中尾政之
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会, 講演予稿集9a-D-4
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-09
    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [学会発表] 射出成形を用いた高アスペクト比ナノ構造の転写2009

    • 著者名/発表者名
      服部俊太郎, 長藤圭介, 濱口哲也, 中尾政之
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 多層一括プレスによるフォトニック回路形成技術の開発2008

    • 著者名/発表者名
      西野俊樹、森井洋、鈴木秀明、笹井健史、土屋健介、濱口哲也、中尾政之
    • 学会等名
      精密工学会春季講演会
    • 発表場所
      明治大
    • 年月日
      2008-03-17
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2009 自己評価報告書
  • [学会発表] 多層一括プレスによるフォトニック回路形成技術の開発2008

    • 著者名/発表者名
      西野 俊樹
    • 学会等名
      精密工学会2008年春季大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-03-17
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://hockey.t.u-tokyo.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://hockey.t.u-tokyo.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書

URL: 

公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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