| 研究課題/領域番号 |
19201026
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
佐藤 一雄 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (30262851)
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| 研究分担者 |
式田 光宏 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (80273291)
プレム パル (PREM Pal) 名古屋大学, 大学院・工学研究科, COE研究員(当時) (20444416)
木村 康男 東北大学, 電気通信研究所, 助教 (40312673)
ゴサルベス ミゲル (GOSALVEZ Miguel A.) 名古屋大学, 大学院・工学研究科, COE研究員 (10377814)
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| 連携研究者 |
ゴサルベス ミゲル ヘルシンキ工科大学, 研究員
ヒュンニネン テーム ヘルシンキ工科大学, 研究員
フェルランド ネストル バレンシア工科大学, 研究助手
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2009
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| 研究課題ステータス |
完了 (2009年度)
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| 配分額 *注記 |
44,200千円 (直接経費: 34,000千円、間接経費: 10,200千円)
2009年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円)
2008年度: 16,900千円 (直接経費: 13,000千円、間接経費: 3,900千円)
2007年度: 21,450千円 (直接経費: 16,500千円、間接経費: 4,950千円)
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| キーワード | シリコン / 結晶 / 異方性エッチング / 不純物イオン / 界面活性剤 / 固液界面 / FTIR |
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| 研究概要 |
アルカリ水溶液を用いたシリコンの結晶異方性エッチングにおいて,水溶液中の成分によってエッチレートの異方性が激変する現象を解明した.エッチング液中の不純物としてのCuイオンはエッチング速度を低下させ,エッチング面を荒らす効果があることを,理論的・実験的に明らかにした.一方,エッチング液中に微量の界面活性剤を加えると,これが特定の結晶方位に選択的に吸着し,エッチレートの異方性を激変させることを,エッチング液とシリコンの固液界面でのFTIRその場観察によってはじめて見出した.この現象を利用して異なる特性を持つエッチング液を使い分けることにより,MEMSデバイスに必要とされる複雑な形状の微細3次元構造を安価に実現するプロセスを発明し,特許出願した.
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