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プラズマ表面相互作用における光・ラジカル・電子照射素過程とそのシナジー効果の解明

研究課題

研究課題/領域番号 19204056
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 プラズマ科学
研究機関大阪大学

研究代表者

浜口 智志  大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60301826)

研究分担者 吉村 智  大阪大学, 工学研究科, 准教授 (40294029)
北野 勝久  大阪大学, 工学研究科, 准教授 (20379118)
鹿田 真一  独立行政法人産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター, 副センター長 (00415689)
山田 英明  独立行政法人産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター, 研究員 (90443233)
連携研究者 鹿田 真一  独立行政法人産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター, 副センター長 (00415689)
山田 英明  独立行政法人産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター, 研究員 (90443233)
研究期間 (年度) 2007 – 2009
研究課題ステータス 完了 (2009年度)
配分額 *注記
44,200千円 (直接経費: 34,000千円、間接経費: 10,200千円)
2009年度: 10,660千円 (直接経費: 8,200千円、間接経費: 2,460千円)
2008年度: 13,260千円 (直接経費: 10,200千円、間接経費: 3,060千円)
2007年度: 20,280千円 (直接経費: 15,600千円、間接経費: 4,680千円)
キーワード反応性プラズマ / プラズマプロセス / 膜堆積 / プラズマ / 光物性 / 分子動力学 / 反応性ラジカル / プラズマCVD / プラズマエッチング
研究概要

本研究は、プラズマプロセスにおける、プラズマからの入射種と基板物質との相互作用を明らかにするとともに、そのシナジー効果(反応素過程の重ね合わせが成り立たない非線形効果、即ち、反応の相乗効果)を明らかにすることを目的に行われた。本研究においては、SiO2やポリマー等のエッチング反応において、プラズマからの紫外線照射のエッチング率に対する効果が無視できない条件があることを明らかにし、また、エッチングや堆積プロセスにおいて、水素入射によるダメージや緩和過程がプロセスの最終状態に大きな影響を与える条件も明らかにした。これらの結果により、高精度プラズマプロセスの開発における水素や紫外線の入射エネルギーとフラックスの制御指針が明らかにされた。

報告書

(4件)
  • 2009 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2008 実績報告書
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (87件)

すべて 2010 2009 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (30件) (うち査読あり 26件) 学会発表 (51件) 図書 (1件) 備考 (3件) 産業財産権 (2件) (うち外国 1件)

  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of the formation of sp3 hybridized bonds in hydrogenated diamond-like carbon deposition processes2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, S. Horiguchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Phys. Rev. E. 81

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Ultraviolet Light Irradiation on Etching Process of Poly(methyl methacrylate) by Ion Beam Injections2009

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, K. Ikuse, Y. Tsukazaki, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. :Conf. Series 191

      ページ: 0120301-5

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 分子動力学シミュレーションによる硬質炭素膜形成メカニズムの解析2009

    • 著者名/発表者名
      村上泰夫、浜口智志
    • 雑誌名

      J. Plasma Fusion Res. 85

      ページ: 674-679

    • NAID

      110007468378

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sputtering yields of Au by low-energy noble gas ion bombardment2009

    • 著者名/発表者名
      K. Ikuse, S. Yoshimura, K. Hine, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys. 42

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] CF3+イオンビームを用いたポリメタクリル酸メチル樹脂のエッチングにおける紫外光照射の効果2009

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 塚崎泰裕, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      J. Vac. Soc. Jpn. 52

      ページ: 127-130

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 「ドライエッチング表面解析:原子スケールアプローチ」小特集:ドライエッチングの科学と技術の新局面2009

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマ核融合学会誌 85

      ページ: 177-184

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] "Atomic-Scale Numerical Simulations of Structural Properties in Carbon-Based Thin Film Deposition Processes, " Proceedings of the 19th International Symposium on Plasma Chemistry2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, S. Horiguchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Winter, M. Boke, V. Schlz-von der Gathen

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Effect of Ultraviolet Light Irradiation on Etching Process of Poly(methylmethacrylate)by Ion Beam Injections2009

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, K.Ikuse, Y.Tsukazaki, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys. : Conf.Series 191

      ページ: 120301-5

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 分子動力学シミュレーションニよる硬質炭素膜形成メカニズムの解析2009

    • 著者名/発表者名
      村上泰夫、浜口智志
    • 雑誌名

      J.Plasma Fusion Res. 85

      ページ: 674-679

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sputtering yields of Au by low-energy noble gas ion bombard ment2009

    • 著者名/発表者名
      K.Ikuse, S.Yoshimura, K.Hine, M.Kiuchi, S.Hamaguchi,
    • 雑誌名

      J.Phys.D : Appl.Phys. 42

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] CF_3^+イオンビームを用いたポリメタクリル酸メチル樹脂のエッチングにおける紫外光照射の効果2009

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 塚崎泰裕, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      J.Vac.Soc.Jpn. 52

      ページ: 127-130

    • NAID

      10024897826

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ドライエッチング表面解析 : 原子スケールアプローチ」浜口智志、小特集「ドライエッチングの科学と技術の新局面2009

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマ核融合学会誌 85

      ページ: 177-184

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Atomic-Scale Numerical Simulations of Structural Properties in Carbon-Based Thin Film Deposition Processes,2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Murakami, Seishi Horiguchi, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Proceedings of the 19th International Symposium on Plasma Chemistry, (ed.By A.von Keudell, J.Winter, M.Boke, V.Schlz-von der Gathen, July 26-31, 2009, Bochum, Germany) 1

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [雑誌論文]2009

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      ドライ・ウエットエッチング技術全集(第3章第1節執筆担当)(技術情報協会)

      ページ: 221-237

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [雑誌論文] CF_3^+イオンビームを用いたポリメタクリル酸メチル樹脂のエッチングにおける紫外光照射の効果2009

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 塚崎泰裕, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan (印刷中)

    • NAID

      10024897826

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ドライエッチング表面解析 : 原子スケールアプローチ2009

    • 著者名/発表者名
      浜口 智志
    • 雑誌名

      プラズマ核融合学会誌 (印刷中)

    • NAID

      110007227634

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [雑誌論文] Measurement of sticking probability and sputtering yield of Au by low-energy mass selected ion beams with a quartz crystal microbalance2008

    • 著者名/発表者名
      K. Ikuse, S. Yoshimura, M. Kiuchi, K. Hine, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series 106

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Measurement of Au sputtering yields by Ar and He ions with a low-energy mass selected ion beam system2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series 106

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 光照射を重畳したCF3イオンビームによるSiO2エッチング率の測定2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 滝沢敏史, 唐橋一浩, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan 51

      ページ: 158-161

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いたSiO2/Si基板へのインジウムイオン注入2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 滝沢敏史, 唐橋一浩, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan 51

      ページ: 218-220

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Experimental evaluation of MgO sputtering yields by monochromatic Ne, Kr, or Xe ion beam2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 517

      ページ: 835-840

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書 2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Measurement of sticking probability and sputtering yield of Au by low-energy mass selected ion beams with a quartz crystal microbalance2008

    • 著者名/発表者名
      K. Ikuse, S. Yoshimura, M. Kiuchi, K. Hine, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series 106

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Measurement of Au sputtering yields by Ar and He ions with a low-energy mass selected ion beam system2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series 106

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 光照射を重畳したCF_3イオンビームによるSiO_2エッチング率の測定2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 滝沢敏史, 唐橋一浩, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan 51

      ページ: 158-161

    • NAID

      10021156954

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いたSiO_2/Si基板へのインジウムイオン注入2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 滝沢敏史, 唐橋一浩, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan 51

      ページ: 218-220

    • NAID

      10021157088

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 光照射を重畳したCF_3イオンビームによるSiO_2エッチング率の測2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 滝澤敏史, 唐橋一浩, 木内 正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      真空 (印刷中)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いたSiO_2/Si基板へのインジウムイオン注入2008

    • 著者名/発表者名
      日根清裕, 吉村智, 唐橋一浩, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      真空 (印刷中)

    • NAID

      10021157088

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Measurement of Magnesium Oxide Sputtering Yields by He and Ar Ions with a Low-Energy Mass-Selected Ion Beam System2007

    • 著者名/発表者名
      K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Applied Phys. 46

    • NAID

      210000063805

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Measurement of Magnesium Oxide Sputtering Yields by He and Ar Ions with a Low-Energy Mass-Selected Ion Beam System2007

    • 著者名/発表者名
      K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. T Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Applied Phys. 46

    • NAID

      210000063805

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of the formation of sp3 hybridized bonds in hydrogenated diamond-like carbon deposition processes

    • 著者名/発表者名
      Y.Murakami, S.Horiguchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Phys.Rev.E (印刷中)

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 反応性イオンによるPt, CoおよびPtCoエッチング反応2010

    • 著者名/発表者名
      唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス、平塚
    • 年月日
      2010-03-17
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] MDシミュレーションによるプラズマ対向炭素材料のエッチング特性2009

    • 著者名/発表者名
      山城昌志、浜口智志
    • 学会等名
      日本大学生産工学部第42回学術講演会
    • 発表場所
      日本大学生産工学部津田沼キャンパス、津田沼
    • 年月日
      2009-12-05
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] MDシミュレーションによるプラズマ対向炭素材料のエッチング特性2009

    • 著者名/発表者名
      山城昌志
    • 学会等名
      日本大学生産工学部 第42回学術講演会
    • 発表場所
      日本大学生産工学部津田沼キャンパス、津田沼
    • 年月日
      2009-12-05
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Thermal desorption of hydrogen from H+ irradiated Si(100) surfaces2009

    • 著者名/発表者名
      C. Thomas, K. Karahashi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 4th International Symposium on Atomic Technology
    • 発表場所
      Maiko Villa, Kobe
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書 2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Si etching by Br+ and HBr+ ion irradiation2009

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, K. Karahashi, S. -Y. Kang, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 4th International Symposium on Atomic Technology
    • 発表場所
      Maiko Villa, Kobe
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Measurement of sputtering/etching yields by CF3 ion beam injection with UV light irradiation2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Tsukazaki, K. Ikuse, S. Yoshimura, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 4th International Symposium on Atomic Technology
    • 発表場所
      Maiko Villa, Kobe
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書 2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Effects of Hydrogen Incorporation in the Formation of Hydrogenated Diamond-like Carbon Films2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 4th International Symposium on Atomic Technology
    • 発表場所
      Maiko Villa, Kobe
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Effects of Hydorgen Incorporation in the Formation of Hydrogenated Diamond-like Carbon Films,2009

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 4th International Symposium on Atomic Technology
    • 発表場所
      Maiko Villa, Kobe
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Si etching by Br^+ and HBr^+ ion irradiation2009

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito
    • 学会等名
      the 4th International Symposium on Atomic Technology
    • 発表場所
      Maiko Villa, Kobe
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Etching mechanisms of FeCo magnetic films by chemically reactive energetic ion injections2009

    • 著者名/発表者名
      K. Karahashi, T. Ito, Y. Matsumoto, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 56th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      San Jose, CA, USA
    • 年月日
      2009-11-10
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Effects of hydrogen bombardment during polysilicon gate etching by HBr/O2 plasmas2009

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, K. Karahashi, M. Fukasawa, S. Kobayashi, N. Kuboi, T. Tatsumi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 56th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      San Jose, CA, USA
    • 年月日
      2009-11-10
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Etching mechanisms of FeCo magnetic films by chemically reactive ener getic ion injections2009

    • 著者名/発表者名
      K.Karahashi
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 56th International Symposium Exhibition
    • 発表場所
      San Jose, CA, USA
    • 年月日
      2009-11-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Effects of hydrogen bombardment during polysilicon gate etching by HBr/O2 plasmas2009

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 56th International Symposium Exhibition
    • 発表場所
      San Jose, CA, USA
    • 年月日
      2009-11-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 低エネルギーイオンビーム照射装置を用いたシリカ基板へのインジウムおよびガリウムの注入2009

    • 著者名/発表者名
      吉村智、塚崎泰裕、木内正人、浜口智志
    • 学会等名
      第50回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      学習院目白キャンパス、東京
    • 年月日
      2009-11-04
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] 低エネルギーイオンビーム照射装置を用いたシリカ基板へのインシウムおよびガリウムの注入2009

    • 著者名/発表者名
      吉村智
    • 学会等名
      第50回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      学習院目白キャンパス、東京
    • 年月日
      2009-11-04
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 分子動力学シミュレーションを用いた低誘電率SiOCHエッチング特性の解明2009

    • 著者名/発表者名
      鈴木歩太、礒部倫朗、浜口智志
    • 学会等名
      第9回関西コロキアム電子デバイスワークショップ
    • 発表場所
      関西大学、大阪
    • 年月日
      2009-10-22
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書 2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of plasma surface interaction for low-damage processing2009

    • 著者名/発表者名
      S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 21st International Conference on Numerical Simulation of Plasmas 2009
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 年月日
      2009-10-08
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of plasma surface interaction for low-damage processing,"2009

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 21st International Conference on Numerical Simulati on of Plasmas 2009
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 年月日
      2009-10-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧・高気圧プラズマ研究の新しい展開2009

    • 著者名/発表者名
      浜口 智志
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      岩手大学
    • 年月日
      2009-09-21
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 反応性イオンによるFe-Co合金エッチング反応2009

    • 著者名/発表者名
      唐橋一浩, 松本祥志, 高須庸一, 犬飼和明, 上原裕二, 浜口智志
    • 学会等名
      第32回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      東北学院大学多賀城キャンパス
    • 年月日
      2009-09-12
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Cl+, Br+イオン照射によるSiエッチング反応における水素の影響2009

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子, 唐橋一浩, 康松潤, 浜口智志
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学、富山
    • 年月日
      2009-09-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書 2009 研究成果報告書
  • [学会発表] EFFECTS OF ULTRAVIOLET LIGHT IRRADIATION ON REACTIVE ION ETCING OF ORGANIC POLYMERS AND SiO22009

    • 著者名/発表者名
      K. Ikuse, S. Yoshimura, K. Hine, K. Karahashi, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      International Congress on Plasma Physics (ICPP)2008
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center
    • 年月日
      2009-09-08
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Atomic-Scale Numerical Simulations of Structural Properties in Carbon-Based Thin Film Deposition Processes2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, O. Watabe, S. Horiguchi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 19th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 発表場所
      Ruhr University Bochum
    • 年月日
      2009-07-30
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Atomic-Scale Numerical Simulations of Structural Properties in Carbon-Based Thin Film Deposition Processes2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Murakami
    • 学会等名
      the 19th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 発表場所
      Ruhr University Bochum Germany
    • 年月日
      2009-07-30
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] New trends in modeling and simulations for plasma technologies2009

    • 著者名/発表者名
      S. Hamaguchi
    • 学会等名
      Memorial Symposium for the Retirement of Professor Tachibana, "Toward the Next Generation of Plasma Science and Technology, "
    • 発表場所
      Kyoto University, Kyoto
    • 年月日
      2009-05-30
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] New trends in modeling and simulations for plasma technologies,2009

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      Memorial Symposium for the Retirement of Professor Tachibana, "Toward the Next Generation of Plasma Science and Technology,"
    • 発表場所
      Kyoto University, Kyoto
    • 年月日
      2009-05-30
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Atmospheric Pressure Plasmas and Their Biological Applications2009

    • 著者名/発表者名
      S. Hamaguchi, S. Ikawa, T. Ito, K. Kitano, A. Tani
    • 学会等名
      the 7th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Chateau Liblice, Liblice, Czech Republic
    • 年月日
      2009-04-24
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Atmospheric Pressure Plasmas and Their Biological Applications,2009

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 7th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Chateau Liblice, Liblice, Czech Republic
    • 年月日
      2009-04-24
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] C1^+, Br^+イオン照射によるSiエッチング反応の評価2009

    • 著者名/発表者名
      伊藤 智子, 松本 祥志, 唐橋 一浩, 康 松潤, 浜口 智志
    • 学会等名
      2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-03-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] NeおよびXeイオンの照射によるMgO, CaO, SrO, BaOのスパッタ率測定2009

    • 著者名/発表者名
      吉村 智, 日根清裕, 木内正人, 橋本 潤, 寺内正治, 本多洋介, 坂井全弘, 西谷幹彦, 浜口智志
    • 学会等名
      2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-03-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] CHxFy+イオン照射によるエッチング反応の評価2009

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子
    • 学会等名
      2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス、平塚
    • 年月日
      2009-03-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 反応性イオンによるPt, CoおよびPtCoエッチング反応2009

    • 著者名/発表者名
      唐橋一浩
    • 学会等名
      2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス、平塚
    • 年月日
      2009-03-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Beam study of the plasma-surface reaction in reactive ion etching2009

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロせシング研究会
    • 発表場所
      名古屋大学豊田講堂・シンポシオン
    • 年月日
      2009-02-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulation on Plasma Surface Interaction-from Industrial Plasma Processing to Fusion Applications2009

    • 著者名/発表者名
      M. Yamashiro, A. Suzuki, M. Isobe, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      17th Symposium on Application of Plasma Processes
    • 発表場所
      Liptovsky Jan, Slovakia
    • 年月日
      2009-01-19
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ表面相互作用研究の最近の動向 : プロセスから核融合まで2008

    • 著者名/発表者名
      浜口智志,山城昌志,鈴木歩太,礒部倫郎,唐橋一浩
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第12回 支部大会
    • 発表場所
      九州大学筑紫地区総合研究棟筑紫ホール
    • 年月日
      2008-12-22
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] MgO sputtering yields by noble gas ions at relatively low injection energies2008

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, K. Hine, M. Matsukuma, K. Ikuse, M. Kiuchi, T. Nakao, J. Hashimoto, M. Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      15^<th> International Display Workshops
    • 発表場所
      Toki Messe Niigata Convention Center, Niigata, Japan
    • 年月日
      2008-12-03
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Sputtering characteristics of carbon-based materials exposed to H/D/T plasmas …molecular dynamics simulation study2008

    • 著者名/発表者名
      Masashi Yamashiro, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      50th Annual Meeting of the Division of Plasma Physics
    • 発表場所
      Hyatt Regency Hotel Dallas, Texas
    • 年月日
      2008-11-19
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] CF3イオンビームを用いたPMMAエッチングにおける光照射重畳効果2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 木内正人, 浜口智志
    • 学会等名
      第49回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      松江市くにびきメッセ
    • 年月日
      2008-10-28
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Atomic-scale numerical simulations of surface reactions in carbon-based thin film deposition processes2008

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Murakami, Seishi Horiguchi, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 55th International Symposium and Exhibition
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston
    • 年月日
      2008-10-23
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] CF_3^+ ion induced etching reactions of SiO_2 and Si2008

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Karahashi Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 55th International Symposium and Exhibition
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston
    • 年月日
      2008-10-22
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Etching characteristics of Low-k SiOCH films by fluorocarbon beams : molecular dynamics study2008

    • 著者名/発表者名
      Ayuta Suzuki, Michiro Isobe, Shoji Kobayashi, Masanaga Fukasawa, Tetsuya Tatsumi, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 55th International Symposium and Exhibition
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston
    • 年月日
      2008-10-20
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Study of the ion induced etching for Si and SiO2 with F^+ and CFX^+(X=1, 2, 3)2008

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Karahashi
    • 学会等名
      61st Gaseous Electronics Conference (GEC)
    • 発表場所
      University of Texas at Dallas
    • 年月日
      2008-10-13
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Generation of Dust Seeds by Sputtering of Carbon-based Plasma Facing Materials under Low-energy H/D/T Ion Bombardment2008

    • 著者名/発表者名
      Masashi Yamashiro, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      22nd IAEA Fusion Energy Conference
    • 発表場所
      Geneva, Switzerland
    • 年月日
      2008-10-13
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulations of Low-k SiOCH film etching by fluorocarbon plasmas2008

    • 著者名/発表者名
      Ayuta Suzuki, Michiro Isobe, Shoji Kobayashi, Masanaga Fukasawa, Tetsuya Tatsumi, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2008 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 発表場所
      Tsukuba, EPOCAL
    • 年月日
      2008-09-25
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] テラヘルツ時間領域分光法によるCH4/Arプラズマの電子密度計測2008

    • 著者名/発表者名
      安藤あゆみ, 黒瀬智子, 北野 勝久北原 英明, 高野恵介, 谷正彦, 萩行正憲, 浜口智志
    • 学会等名
      第2回三大学(東京理科大学・筑波大学・大阪大学)連携学生研究会「アトミック/ポリスケールテクノロジー連携研究会」
    • 発表場所
      東京理科大学長万部キャンパス
    • 年月日
      2008-08-22
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] イオン・分子ビーム装置を用いたプラズマ表面相互作用の研究2008

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子, 松本祥志, 唐橋一浩, 浜口智志
    • 学会等名
      第2回三大学(東京理科大学・筑波大学・大阪大学)連携学生研究会「アトミック/ポリスケールテクノロジー連携研究会」
    • 発表場所
      東京理科大学長万部キャンパス
    • 年月日
      2008-08-22
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of carbon thin film deposition processes2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, S. Horiguchi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      The 6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-04-21
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Atomic-scale numerical simulations of SiOCH film etching processes by energetic CF3 beams2008

    • 著者名/発表者名
      A. Suzuki, T. Takizawa, M. Isobe, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      The 6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-04-21
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of carbon thin film deposition processes2008

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Murakami, Seishi Horiguchi, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2008)
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-04-21
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Atomic-scale numerical simulations of SiOCH film etching processes by energetic CF_3 beams2008

    • 著者名/発表者名
      Ayuta Suzuki, Toshifumi Takizawa, Michiro Isobe, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2008)
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-04-21
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 低エネルギー領域における酸化マグネシウム薄膜のスパッタ率測定2007

    • 著者名/発表者名
      日根清裕, 吉村智, 幾世和将, 木内正人, 橋本潤, 寺内正治, 西谷幹彦, 浜口智志
    • 学会等名
      第2回アトミック/ポリスケールテクノロジー連携研究会
    • 発表場所
      東京理科大学長万部キャンパス
    • 年月日
      2007-08-24
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] ドライ・ウエットエッチング技術全集2009

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 出版者
      技術情報協会
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [備考] ホームページ等

    • URL

      http://www.camt.eng.osaka-u.ac.jp/hamaguchi/

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.camt.eng.osaka-u.ac.jp/hamaguchi/

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.camt.eng.osaka-u.ac.jp/hamaguchi/

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [産業財産権] 炭素膜の製造法2008

    • 発明者名
      浜口智志、村上泰夫
    • 権利者名
      大阪大学、キャノンアネルバ
    • 産業財産権番号
      2008-109129
    • 出願年月日
      2008-04-18
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [産業財産権] 炭素膜の製造法2008

    • 発明者名
      浜口智, 村上泰夫
    • 権利者名
      大阪大学, キャノンアネルバ
    • 産業財産権番号
      2008-109129
    • 出願年月日
      2008-04-18
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 外国

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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