• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

ナノ構造の創製とその機能化に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 19206016
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東京大学

研究代表者

石原 直  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (00422329)

研究分担者 山口 浩司  日本電信電話株式会社, NTT物性科学基礎研究所, 研究部長 (60374071)
割澤 伸一  東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (20262321)
ドロネー ジャン・ジャック (DELAUNAY Jean-Jacques / JEAN-JACQUES Delaunay)  東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (80376516)
米谷 玲皇  東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教 (90466780)
研究期間 (年度) 2007 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
47,320千円 (直接経費: 36,400千円、間接経費: 10,920千円)
2010年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2009年度: 11,440千円 (直接経費: 8,800千円、間接経費: 2,640千円)
2008年度: 14,170千円 (直接経費: 10,900千円、間接経費: 3,270千円)
2007年度: 17,810千円 (直接経費: 13,700千円、間接経費: 4,110千円)
キーワードナノメカニクス / 三次元ナノ構造 / ナノ振動子 / センシングデバイス / ナノ加工 / ナノ計測 / 機械振動共振特性 / 電子ビーム・イオンビーム加工 / マイクロ・ナノデバイス / ナノ加工・計測 / 機械共振特性 / 電子ビーム・イオンビーム / ナノ加工・ナノ計測 / ナノレゾネータ / センシング / 機械共振特性評価 / 自己組織化 / 微小共振器 / 機械特性評価 / 高Q値
研究概要

21世紀の先端ハードウエア技術(先端ものつくり)の根幹を支えるナノテクノロジーは,ナノ構造が発現する新たな物性を利用して新しい"もの"を創造することが重要なポイントである.本研究では,ナノテク時代の機械工学「ナノメカニクス」を開拓することを目標に,三次元ナノメカニカル構造としてナノ振動子を取り上げ,振動子の設計法,三次元ナノ構造作製技術の開発,機械振動測定法の開発と共振特性の解明,およびそのセンシングデバイスへの応用などナノ振動子の創製とその機能化のための基盤技術の構築を進めた.

報告書

(5件)
  • 2010 研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書   自己評価報告書 ( PDF )
  • 2008 実績報告書
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (101件)

すべて 2010 2009 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (29件) (うち査読あり 19件) 学会発表 (63件) 備考 (3件) 産業財産権 (6件)

  • [雑誌論文] Piezoresistive effect in the three-dimensional diamondlike carbon nanostructure fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2010

    • 著者名/発表者名
      R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol.B 28

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Dynamic Characteristics Design System for 3D Nanostructure Fabricated by FIB-CVD2010

    • 著者名/発表者名
      S.Nishi, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 雑誌名

      J.Adv.Mech.Des.Sys.Man. 4

      ページ: 948-948

    • NAID

      130000335368

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Evaluation of Resonance Characteristics Change of Silicon Resonators Due to Surface Treatment2010

    • 著者名/発表者名
      H.Shimizu, J.-J.Delaunay, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 49

    • NAID

      210000068736

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] The 3D nanostructure growth evaluations by the real-time current monitoring on focusedion-beam chemical vapor deposition2010

    • 著者名/発表者名
      R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 雑誌名

      Microelectronic Eng. 87

      ページ: 1044-1048

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Evaluating Method for Quality Factor of Nano-resonator by Electron Beam2009

    • 著者名/発表者名
      H.Ashiba, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 48

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Evaluation of Thermal-mechanical Vibration Amplitude and Mechanical Properties for Carbon Nanopillars Using Scanning Electron Microscopy2009

    • 著者名/発表者名
      K.Nonaka, K.Tamaru, M.Nagase, H.Yamaguchi, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 48

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Direct Actuation of GaAs Membrane with the Microprobe of Scanning Probe Microscopy2009

    • 著者名/発表者名
      K.Tamaru, K.Nonaka, M.Nagase, H.Yamaguchi, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 48

    • NAID

      210000066954

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Nanoelectromechanical device fabrications by 3-D nanotechnology using focused-ion beams2009

    • 著者名/発表者名
      R.Kometani, S.Ishihara
    • 雑誌名

      Sci.Technol.Adv.Mater. 10

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Evaluations of the hopping growth characteristics on 3-D nanostructure fabrication using focused-ion-beam2009

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol. B27

      ページ: 2698-2701

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluating Method for Quality Factor of Nano-resonator by Electron Beam2009

    • 著者名/発表者名
      H. Ashiba, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 48

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Direct Actuation of GaAs Membrane with the Microprobe of Scanning Probe Microscopy2009

    • 著者名/発表者名
      K. Tamaru, K. Nonaka, M. Nagase, H. Yamaguchi, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 48

    • NAID

      210000066954

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Direct Actuation of GaAs Membrane with the Microprobe of Scanning Probe Microscopy2009

    • 著者名/発表者名
      K.Tamaru, K.Nonaka, M.Nagase, H.Yamaguchi, 割澤伸一, 石原直
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 48

    • NAID

      210000066954

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of Thermal-mechanical Vibration Amplitude and Mechanical Properties for Carbon Nanopillars Using Scanning Electron Microscopy2009

    • 著者名/発表者名
      K.Nonaka, K.Tamaru, M.Nagase, H.Yamaguchi, 割澤伸一, 石原直
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 48

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluating Method for Quality Factor of Nano-resonator by Electron Beam2009

    • 著者名/発表者名
      H.Ashiba, 割澤伸一, 石原直
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 48

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Graphite Shell Film Formation Induced by Eduction Phenomenon of Ga Implanted by Focused Ion Beam2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, T.Ichihashi, 割澤伸一, 石原直
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 48

    • NAID

      210000066925

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] The fabrication of aligned pairs of gold nanowires in SO2 films by ion irradiation2009

    • 著者名/発表者名
      K.Awazu, X.Wang, T.Komatsubara, J.Watanabe, Y.Matsumoto, 割澤伸一, 石原直
    • 雑誌名

      Nanotechnology 20

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanoelectromechanical device fabrications by 3-D nantechnology using focused-ionbeams2009

    • 著者名/発表者名
      R.Komentani, 石原直
    • 雑誌名

      Science and Technology of Advanced Materials 10

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth characteristics evaluations on the 3D nansotructure fabrication by the high accuracy control of focused-ion-beam2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, T.Hoshino, 割澤伸一, 石原直
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering 86

      ページ: 552-555

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluations of the hopping growth characteristics on 3-D nanostructure fabrication using focused-ion-beam2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology B27

      ページ: 2698-2701

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Height dependence of Young's Modulus for Carbon Nanopillars Grown by Focused Ion Beam Induced Chemical Vapor Deposition2008

    • 著者名/発表者名
      K.Nonaka, K.Tamaru, M.Nagase, H.Yamaguchi, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 47

      ページ: 5116-5119

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Improved resonance characteristics of GaAs beam resonators by epitaxially induced strain2008

    • 著者名/発表者名
      H.Yamaguchi, K.Kato, Y.Nakai, K.Onomitsu, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 雑誌名

      App.Phys.Lett. 92

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Improved resonance characteristics of GaAs beam resonators by epitaxially induced strain2008

    • 著者名/発表者名
      H. Yamaguchi, K. Kato, Y. Nakai, K. Onomitsu, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 雑誌名

      App.Phys.Lett. 92

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Height dependence of Young's Modulus for Carbon Nanopillars Grown by Focused-Ion-Beam-Induced Chemical Vapor Deposition2008

    • 著者名/発表者名
      K. Nonaka, K. Tamaru, M. Nagase, H. Yamaguchi, S. Warisawa and S. Ishihara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol. 47, No. 6

      ページ: 5116-5119

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] In-Situ Observation of the Three-Dimensional Nano-Structure Growth on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition by Scanning Electron Microscope2008

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, S. Ishihara, T. Kaito and S. Matsui
    • 雑誌名

      Applied Physics Express Vol. 1

    • NAID

      10025080476

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Eduction Position Control of Incorporated Gallium in the Diamond-like Carbon Deposited by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2008

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, S. Ishihara, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito and S. Matsui
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol. 47, No. 6

      ページ: 5032-5035

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improved resonance characteristics of GaAs beam resonators by epitaxially induced strain2008

    • 著者名/発表者名
      H. Yamaguchi, K. Kaito, Y. Nakai, K, Onomitsu, S. Warisawa and S. Ishihara
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters Vol. 92

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Resistivity change of the diamondlike carbon, deposited by focusedion-beam Chemical vapor deposition, induced by the annealing treatmen2008

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, T. Ichihashi, K. Kanda, T. Suzuki, K, Niihara, S. Ishihara, T. Kaito and S. Matsui
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology B26, 6

      ページ: 2628-2631

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Height dependence of Young's Modulus for Carbon Nanopillhrs Grown by Focused-Ion-Beam-lnduced Chemical Vapor Deposition2008

    • 著者名/発表者名
      Keiichiro NONAKA, Kojiro TAMARU, Masao NAGASE, Hiroshi YAMAGUCHI, Shin'ichi WARISAWA, Sunao ISHIHARA
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics (掲載確定)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Giant magneto-piezoresistance and internal friction in a two-dimensional electron system2007

    • 著者名/発表者名
      H. Yamaguchi, H. Okamoto, Y. Maruta, S. Ishihara, S. Miyashita, and Y. Hirayama
    • 雑誌名

      Part 2 Express Letter, Japanese Journal of Applied Physics 46,27

    • NAID

      210000064035

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Vibration Characteristics of Monolayer Graphene Resonator2010

    • 著者名/発表者名
      T.Hatakeyama, R.Kometani, M.Nagase, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      The 54^<th> Intn'l Conf.on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2010).
    • 発表場所
      Anchorage, Alaska
    • 年月日
      2010-06-03
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] The piezoresistive effect in the 3-D diamond-like carbon nanostructure fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2010

    • 著者名/発表者名
      R.Kometani, K.Yusa, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      The 54^<th> Intn'l Conf. on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2010)
    • 発表場所
      Anchorage, Alaska
    • 年月日
      2010-06-02
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] AFM振動励起法による単層グラフェンの振動特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      畠山大輝, 米谷玲皇, 永瀬雅夫, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2010年春季 第57回応用物理関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学,神奈川
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法における非コアシェルナノ構造の堆積法2010

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2010年春季 第57回応用物理関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学,神奈川
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法により作製した3次元DLCナノ構造の機能化2010

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 遊佐幸樹, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2010年春季 第57回応用物理関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学,神奈川
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法における非コアシェルナノ構造の堆積法2010

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2010年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      埼玉大学,埼玉
    • 年月日
      2010-03-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法により堆積したダイアモンドライクカーボンのピエゾ抵抗効果特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 遊佐幸樹, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2010年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      埼玉大学,埼玉
    • 年月日
      2010-03-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Piezoresistance Effect of Diamond-Like Carbon Deposited by FIB2009

    • 著者名/発表者名
      遊佐幸樹, 米谷玲皇, 石原直, 割澤伸一
    • 学会等名
      19th Academic Symposium of MRS-Japan 2009
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2009-12-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Improvement of Vibration Characteristics of Silicon Resonators by Means of Surface Treatment2009

    • 著者名/発表者名
      H.Shimizu, J.-J.Delaunay, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Leading Edge manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      Osaka University Convention Center, Osaka, Japan
    • 年月日
      2009-12-04
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Dynamic Characteristics Design System for 3D Nanostructure Fabricated by FIB-CVD2009

    • 著者名/発表者名
      西駿次郎, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Leading Edge manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      Osaka University Convention Center, Osaka, Japan
    • 年月日
      2009-12-02
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Nanomanufacturing Tool Fabrications by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Leading Edge manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      Osaka University Convention Center, Osaka, Japan
    • 年月日
      2009-12-02
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Dynamic Property Evaluation of Nano/Micro Mechanical Resonators Utilizing Frequency-modulated Secondary Electron Singnals2009

    • 著者名/発表者名
      H.Ashiba, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Leading Edge manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      Osaka University Convention Center, Osaka, Japan
    • 年月日
      2009-12-02
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Homogeneous Material Deposition on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      International Symposium on the Physics of Excitation-assisted Nano-processes (ISPEN2009)
    • 発表場所
      Diwa Roynet Hotel Wakayama, Wakayama, Japan
    • 年月日
      2009-11-20
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Non Core-Shell Nanostructure Deposition on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009

    • 著者名/発表者名
      R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conf.(MNC2009)
    • 発表場所
      Sapporo
    • 年月日
      2009-11-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Non Core-Shell Nanostructure Deposition on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)
    • 発表場所
      Sheraton Sapporo Hotel, Sapporo, Japan
    • 年月日
      2009-11-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Evaluation of Resonance Characteristics Change of Silicon Resonators due to Surface Treatment2009

    • 著者名/発表者名
      H.Shimizu, J.-J.Delaunay, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      22nd Intn'l Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2009)
    • 発表場所
      Sapporo
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Vibration Characteristics-Tunable Resonator Fabrication by Focused-Ion -Beam Chemical Vapor Deposition2009

    • 著者名/発表者名
      S.Nishi, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      the 22nd Intn'l Microprocesses and Nano- technology Conf. (MNC2009)
    • 発表場所
      Sapporo
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] High-sensitive charge detection using anti-symmetric vibration in coupled micromechanical resonators2009

    • 著者名/発表者名
      N.Kitajima, H.Okamoto, T.Kamada, K.Onomitsu, S.Warisawa, S.Ishihara, H.Yamaguchi
    • 学会等名
      22nd Intn'l Microprocesses & Nanotechnology Conf. (MNC2009)
    • 発表場所
      Sapporo
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] High-sensitive charge detection using anti-symmetric vibration in coupled micromechanical resonators2009

    • 著者名/発表者名
      N. Kitajima, H. Okamoto, T. Kamada, K. Onomitsu, S. Warisawa, S. Ishihara, H. Yamaguchi
    • 学会等名
      22nd Intern'l Microprocesses & Nanotechnology Conf. (MNC2009)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [学会発表] High-sensitive charge detection using anti-symmetric vibration in coupled micromechanical resonators2009

    • 著者名/発表者名
      N.Kitajima, H.Okamoto, T.Kamada, K.Onomitsu, 割澤伸一, 石原直, Hiroshi Yamaguchi
    • 学会等名
      22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)
    • 発表場所
      Sheraton Sapporo Hotel, Sapporo, Japan
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Vibration Characteristics-Tunable Resonator Fabrication by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009

    • 著者名/発表者名
      西駿次郎, 米谷玲皇, 割澤伸一, S.Inhihara
    • 学会等名
      22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)
    • 発表場所
      Sheraton Sapporo Hotel, Sapporo, Japan
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Evaluation of Resonance Characteristics Change of Silicon Resonators due to Surface Treatment2009

    • 著者名/発表者名
      H.Shimizu, J.-J.Delaunay, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)
    • 発表場所
      Sheraton Sapporo Hotel, Sapporo, Japan
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] The Three-Dimensional Nanostructure Growth Characteristics Evaluations for a Development of Computer Pattern Generator on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      東京大学,東京
    • 年月日
      2009-10-15
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Dynamic Characteristics Analysis Method on a Nanomechanical Device Fabrication Using FIB-CVD2009

    • 著者名/発表者名
      西駿次郎, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      東京大学,東京
    • 年月日
      2009-10-15
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] The 3-D nanostructure growth evaluations by the real-time current monitoring on focused-ionbeam chemical vapor deposition2009

    • 著者名/発表者名
      R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      The 35th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2009)
    • 発表場所
      Ghent, BelgiumS
    • 年月日
      2009-09-30
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] The 3-D nanostructure growth evaluations by the real-time current monitoring on focused-ionbeam chemical vapor deposition2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      The 35th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2009)
    • 発表場所
      Ghent, Belgium
    • 年月日
      2009-09-30
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Dynamic characterization method of GaAs membrane resonator by direct excitation using scanning probe microscopy2009

    • 著者名/発表者名
      K.Tamaru, K.Nonaka, M.Nagnse, H.Yamaguchi, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      The 35th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2009)
    • 発表場所
      Ghent, Belgium
    • 年月日
      2009-09-30
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] その場プローブ電流計測による集束イオンビーム3次元ナノ構造成長特性評価2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2009年度秋季 第70回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      富山大学,富山
    • 年月日
      2009-09-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] FIB-CVDによる振動特性可変レゾネータの作製2009

    • 著者名/発表者名
      西駿次郎, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2009年度秋季 第70回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      富山大学,富山
    • 年月日
      2009-09-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 表面改質によるシリコンレゾネータのQ値変化の評価2009

    • 著者名/発表者名
      清水宏樹, Jean-Jacques Delaunay, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2009年度秋季 第70回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      富山大学,富山
    • 年月日
      2009-09-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Evaluations of The Hopping Growth Characteristics On 3-D Nanostructure Fabrication Using Focused-Ion-Beam2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      The 53rd International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2009)
    • 発表場所
      Marco Island, Florida, USA
    • 年月日
      2009-05-28
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Evaluations of The Hopping Growth Characteristics on 3-D Nanostructure Fabrication Using Focused-Ion-Beam2009

    • 著者名/発表者名
      R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      The 53rd Intn'l Conf. on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2009)
    • 発表場所
      Marco Island, Florida, USA
    • 年月日
      2009-05-25
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法により堆積したDLCからのGa誘起グラファイト薄膜形成2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      ナノ学会 第7回大会
    • 発表場所
      東京大学,東京
    • 年月日
      2009-05-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] FIB-CVDナノ機械デバイス動特性評価のための解析モデル構築法2009

    • 著者名/発表者名
      西駿次郎, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      ナノ学会 第7回大会
    • 発表場所
      東京大学,東京
    • 年月日
      2009-05-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 表面状態に起因するシリコンレゾネータの振動特性2009

    • 著者名/発表者名
      清水宏樹, Jean-Jacques Delaunay, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      ナノ学会 第7回大会
    • 発表場所
      東京大学,東京
    • 年月日
      2009-05-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 走査プローブによるGaAsメンブレンマイクロレゾネ一夕の動的特性評価2009

    • 著者名/発表者名
      田丸耕二郎, 野中啓一郎, 永瀬雅夫, 山口浩司, 割澤伸一, 米谷玲皇, 石原直
    • 学会等名
      2009年春季 第56回応用物理関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学,茨城
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 集束イオンビーム3次元ナノ構造形成における成長モード評価2009

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2009年春季 第56回応用物理関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学,茨城
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Evaluation Method for Quality Factor of Nano-resonator by Electron Beam2008

    • 著者名/発表者名
      H.Ashiba, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      21st Intn'l Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2008)
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Evaluation of Thermal-mechanical Vibration Amplitude Using Scanning Electron Microscopy Images2008

    • 著者名/発表者名
      K.Nonaka, K.Tamaru, M.Nagase, H.Yamaguchi, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      21st Intn'l Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2008)
    • 発表場所
      Fukuoka.
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Direct Actuation of GaAs Membrane Using Microprobe of SPM2008

    • 著者名/発表者名
      K.Tamaru, K.Nonaka, M.Nagase, H.Yamaguchi, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      21^<st> Microprocesses and Nanotechnology Conf.(MNC2008)
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Drastic Improvement in mechanical properties of micromechanical resonators using a strain-engineered heterostructure2008

    • 著者名/発表者名
      K.Kato, K.Onomitsu, S.Warisawa, S.Ishihara, H.Yamaguchi
    • 学会等名
      15^<th> International Conference on Molecular Beam Epitaxy (MBE2008)
    • 発表場所
      at the University of British Columbia, Vancouver, Canada
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] The Three-Dimensional Nano-Electromechanical Tool Fabrications by FIB-CVD for the Nono-Factory Creation2008

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani and S. Ishihara
    • 学会等名
      The Fouth International Nanotechnoligy Conference on Communication and Cooperation(INC4)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Resistivity change of the diamondlike carbon, deposited by focusedion-beam chemical vapor deposition, induced by the annealing treatment2008

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, T. Ichihashi, K. Kanda, T. Suzuk, K. Niihara, S. Ishihara, T. Kaito, S. Matsui
    • 学会等名
      The 52nd International Conference on Electron, Ion and Photon Beam technoligy and Nanoabrication(EIPBN2008)
    • 発表場所
      Portland, USA
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Drastic Improvement in mechanical properties of microechanical resonators using a strain-engineered heterostructure2008

    • 著者名/発表者名
      K. Kato, K. Onomitsu, S. Warisawa, S. Ishihara, H. Yamaguchi
    • 学会等名
      15th International Conference on Molecular Beam Epitaxy
    • 発表場所
      Vancouver, Canada
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Evaluation of Thermal-Machanical Vibration Amplitude Using Scanning Electron Microscopy Image2008

    • 著者名/発表者名
      K. Nonaka, K. Tamaru, M. Nagase, H. Yamaguchi, S. Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      20th International Mocroprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2008)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Direct Actuation of GaAs Membrane Using Microprobe of SPMA2008

    • 著者名/発表者名
      K. Tamaru, K. Nonaka, M. Nagase, H. Yamaguchi, S. Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      20th International Mocroprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2008)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Graphite Shell Film Fromation induced by Eduction Phenomenon of Ga Implanted by Focused-ion-beam2008

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, T. Ichihashi, S. Warisawa and S. Ishihara
    • 学会等名
      20th International Mocroprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2008)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Rapid Directed Self-Assembly of Cylinder-Forming Diblock Copolymers2008

    • 著者名/発表者名
      T. Yamaguchi, Y. Ozaki, J. Hayashi, K. Yamazaki, S. Waeisawa, S. Ishihara, and H. Yamaguchi
    • 学会等名
      International Symposium on Engineering Micro-/Nano-Materials Based on Self-Assembling and Self-organization(ISEM2008)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] lmprovement Charecteristics of micromechanical resonators by epitaxially-induced strain2008

    • 著者名/発表者名
      H. Yamaguchi, K. Kato, Y. Nakai, K. Onomitsu, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 学会等名
      International Symposium on Novel Nano-Electro-Mechanical 3D Structures: Fabrication and Properties(NT2008)
    • 発表場所
      Ishikawa, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Nano electro-mechanical device fabrication by 3-D nanotechnoligy using focused-ion-beam2008

    • 著者名/発表者名
      R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
    • 学会等名
      International Symposium on Novel Nano-Electro-Mechanical 3D Structures: Fabrication and Properties(NT2008)
    • 発表場所
      Ishikawa, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] ブロック共重合体の面内ハーフシリンダー相の高速配向2008

    • 著者名/発表者名
      山口徹, 尾崎秦野, 林順三, 山崎謙治, 割澤伸一, 石原直, 山口浩司
    • 学会等名
      2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学, 愛知
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 静的変位解放によるシリコンカンチレバーに振動特性評価2008

    • 著者名/発表者名
      野中啓一郎, 田丸耕二郎, 永瀬雅夫, 山口浩司, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学, 愛知
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] GaASメンブレンのマイクロプローブによる加振と振幅検出2008

    • 著者名/発表者名
      田丸耕二郎, 野中啓一郎, 永瀬雅夫, 山口浩司, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学, 愛知
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 集束イオンビーム注入Gaの析出現象により引起されるグラファイト薄膜の形成2008

    • 著者名/発表者名
      米谷玲皇, 市橋鋭也, 割澤伸一, 石原直
    • 学会等名
      2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学, 愛知
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Control of Young's Modulus fbr Carbon Nanopillars Grown by Focused Ion BeamInduced Chemical Vapor Deposition2007

    • 著者名/発表者名
      K. Nonaka, K. Tamaru, M. Nagase, H. Yamaguchi, S. Warisawa, and S. lshihara
    • 学会等名
      20th International Microprocesses anq Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Kyoto,Japan
    • 年月日
      2007-11-06
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Two-Dimensional Arrangement of Vertically Oriented Cylindrical Domains of Diblock Copolymers Using Graphoepitaxy with Artificial Guiding Pattern Layout2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamaguchi, M. Edamoto, S. Warisawa, S. Ishihara, and H. Yamaguchi
    • 学会等名
      20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Kyoto,Japan
    • 年月日
      2007-11-06
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] FIB-CVDによるカーボンナノピラーの構造解析2007

    • 著者名/発表者名
      野中 啓一郎, 田丸 耕二郎, 永瀬 雅夫, 山口 浩司, 割澤 伸一, 石原 直
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講i演会
    • 発表場所
      北海道
    • 年月日
      2007-09-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] ナノ機械振動子の製作・評価2007

    • 著者名/発表者名
      加藤 慶一, 項 大雨, 山口 浩司, 割澤 伸一, 石原 直
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      北海道
    • 年月日
      2007-09-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] FIB-CVDにより作製したカーボンナノピラーの構造解析2007

    • 著者名/発表者名
      田丸 耕二郎, 野中 啓一郎, 永瀬 雅夫, 山口 浩司, 割澤 伸一, 石原 直
    • 学会等名
      2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道
    • 年月日
      2007-09-07
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] AFMによるGaAsメンブレン構造の振動解析2007

    • 著者名/発表者名
      田丸 耕二郎, 加藤 慶一, 永瀬 雅夫, 山口 浩司, 割澤 伸一, 石原 直
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      千葉
    • 年月日
      2007-03-28
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 引張応力印加による微小機械共振器の特性改善2007

    • 著者名/発表者名
      加藤 慶一, 中井 康貴, 小野満 恒二, 山口 浩司, 割澤 伸一, 石原 直
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      千葉
    • 年月日
      2007-03-28
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] カーボンナノピラーにおける熱励起機械振動の振幅評価2007

    • 著者名/発表者名
      野中 啓一郎, 田丸 耕二郎, 永瀬 雅夫, 山口 浩司, 割澤 伸一, 石原 直
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2007-03-19
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Control of Young's Modulus for Carbon Nanopillars Grown by Focused Ion Beam Induced Chemical Vapor Deposition2007

    • 著者名/発表者名
      K.Nonaka, K.Tamaru, M.Nagase, H.Yamaguchi, S.Warisawa, S.Ishihara
    • 学会等名
      20^<th> Intn'l Microprocesses and Nanotechnology Conf.(MNC2007)
    • 発表場所
      Kyoto
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [備考] ホームページ等

    • URL

      http://www.nanome.t.u-tokyo.ac.jp

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.nanome.t.u-tokyo.ac.jp

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.nanome.t.u-tokyo.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [産業財産権] 微小構造体の作製方法2010

    • 発明者名
      米谷玲皇, 石原直, 割澤伸一, 遊佐幸樹, 山口浩司, 永瀬雅夫, 岡本創
    • 権利者名
      東京大学,日本電信電話(株)
    • 産業財産権番号
      2010-122423
    • 出願年月日
      2010-05-28
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [産業財産権] 微小構造体の製造方法2010

    • 発明者名
      米谷玲皇, 石原直, 割澤伸一, 黒田耕平, 山口浩司, 永瀬雅夫, 岡本創
    • 権利者名
      東京大学,日本電信電話(株)
    • 産業財産権番号
      2010-141690
    • 出願年月日
      2010-06-22
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [産業財産権] 薄膜振動子およびその製造方法2009

    • 発明者名
      永瀬雅夫, 山口浩司, 石原直, 割澤伸一, 田丸耕二郎
    • 権利者名
      東京大学,日本電信電話(株)
    • 産業財産権番号
      2009-078589
    • 出願年月日
      2009-03-27
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2009 自己評価報告書 2008 実績報告書
  • [産業財産権] 微小機械共振器ならびに微小機械検出素子2009

    • 発明者名
      石原直, 割澤伸一, 加藤慶一, 山口浩司, 小野満恒二
    • 権利者名
      東京大学,日本電信電話(株)
    • 産業財産権番号
      2008-070933
    • 出願年月日
      2009-03-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [産業財産権] 微小機械共振器ならびに微小機械検出素子2008

    • 発明者名
      石原直, 割澤伸一, 加藤慶一, 山口浩司, 小野満恒二
    • 権利者名
      東京大学, 日本電信電話 (株)
    • 産業財産権番号
      2008-070933
    • 出願年月日
      2008-03-19
    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [産業財産権] 微小機械共振器ならびに微小機械検出素子2008

    • 発明者名
      石原 直, 割澤 伸一, 加藤 慶一, 山口 浩司, 小野満 恒二
    • 権利者名
      東京大学、日本電信電話株式会社
    • 出願年月日
      2008-03-19
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

URL: 

公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi