| 研究課題/領域番号 |
19360018
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
伊藤 利道 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (00183004)
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| 研究分担者 |
毎田 修 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (40346177)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
19,630千円 (直接経費: 15,100千円、間接経費: 4,530千円)
2008年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2007年度: 16,250千円 (直接経費: 12,500千円、間接経費: 3,750千円)
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| キーワード | CVDダイヤモンド / マイクロ波プラズマCVD / 紫外線検出器 / 軟X線検出器 / n型ダイヤモンド / p型ダイヤモンド / 増幅機能 / 応答速度 |
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| 研究概要 |
近年我々が見出した巨大増幅機能を有するダイヤモンド検出器について研究を推進した結果、縦型(積層型)素子構造の採用により検出効率が増大し従来の報告例より格段に早い応答速度が得られること、基板上部へのホウ素ドープp型層の挿入により低印加電圧領域で検出効率が顕著に増大すること、あるいは、微斜面基板の採用により高品質層の成長速度の増加・ドーパント取込効率の増加・品質向上が同時に達成できること等を実証した。
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