| 研究課題/領域番号 |
19360066
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
片岡 俊彦 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50029328)
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| 研究分担者 |
中野 元博 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (40164256)
井上 晴行 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (30304009)
押鐘 寧 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (40263206)
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| 連携研究者 |
松浦 敏晋 大阪大学, 大学院・工学研究科, リサーチアシスタント (60525145)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
20,410千円 (直接経費: 15,700千円、間接経費: 4,710千円)
2008年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2007年度: 15,600千円 (直接経費: 12,000千円、間接経費: 3,600千円)
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| キーワード | 点光源回折干渉計 / point diffraction interferometer / 位相シフト干渉計 / phase-shifting interferometer / デジタルホログラフ / Helmholtz-Kirchhoffの積分定理 / シングルモード光ファイバ / 表面形状計測 / デジタルホログラフィー / ガラスレスCCDカメラ / 非球面形状計測 / 放物面計測 |
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| 研究概要 |
光ファイバが発する回折球面波を計測基準とする位相シフト点光源回折干渉計を開発し, 計測精度の向上に関する研究の結果,直径200mm, 曲率半径1500mmの凹面ミラーの形状計測の連続実施における再現性としてrms0.11nmを達成した。同ミラーの約90度の回転前後の計測結果もrms0.85nmで一致した。回転放物面ミラーの焦点から回折球面波を出射させて, ミラー形状の不完全性によって生じた非平面度を計測し, 非球面ミラーの絶対形状計測が本装置によって可能であることを実証した。
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