| 研究課題/領域番号 |
19360076
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
|
|---|
| 研究機関 | 九州工業大学 |
|---|
研究代表者 |
松田 健次 九州工業大学, 大学院・工学研究院, 教授 (40229480)
|
|---|
| 研究分担者 |
池田 満昭 九州工業大学, 大学院・生命体工学研究科, 客員教授 (00404103)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
|
| 配分額 *注記 |
15,990千円 (直接経費: 12,300千円、間接経費: 3,690千円)
2008年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2007年度: 11,310千円 (直接経費: 8,700千円、間接経費: 2,610千円)
|
|---|
| キーワード | トライボロジー / 固体潤滑膜 / 二硫化モリブデン / スパッタリング / 潤滑特性 / 乾燥空気 / 湿度 / 転がり軸受 / 大気中 / 密着力 / 摩擦熱 |
|---|
| 研究概要 |
半導体製造用真空ロボットの固体潤滑軸受に使用されている二硫化モリブデンスパッタ膜は真空中のみならず大気中でも優れた潤滑特性が要求される。しかし, 大気中では極端に潤滑特性の低下が生じる。本研究では, 摩擦試験と表面分析などによりこの原因が膜に浸入した水分であることを明らかにした。次に, 膜に水が浸入しにくい膜作製法を提案し, 効果があることを検証した。さらに, この考え方を発展させて膜の構造の適正化で格段の性能向上が図れることを実証した。
|
