| 研究課題/領域番号 |
19360100
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
熱工学
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
高田 保之 九州大学, 大学院・工学研究院, 教授 (70171444)
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| 研究分担者 |
河野 正道 九州大学, 大学院・工学研究院, 准教授 (50311634)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
19,500千円 (直接経費: 15,000千円、間接経費: 4,500千円)
2008年度: 6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円)
2007年度: 13,000千円 (直接経費: 10,000千円、間接経費: 3,000千円)
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| キーワード | レーザー加工 / ベッセルビーム / 熱工学 / マイクロマシン |
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| 研究概要 |
本研究の目的はレーザー微細加工に「深い焦点深度」を有するベッセルビームを適用することにより, 簡便なレーザー微細加工手法を開発することである. ベッセルビームによるレーザー加工では表面ダメージが生じ易いことが欠点として知られているが, 加工雰囲気を真空にするなど試料表面の酸化を防ぐことにより加工ダメージを大幅に低減できることが分かった. またベッセルビームを発生させる際に用いるアクシコンレンズに要求される加工精度は照射するレーザー光の波長が短いほど, アクシコンレンズ頂角が小さいほど高くなることを数値解析により見出した.
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