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電子線を用いたモアレトポグラフィによる微細構造物の三次元高分解能計測法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 19360123
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 知能機械学・機械システム
研究機関関西大学

研究代表者

新井 泰彦  関西大学, システム理工学部, 教授 (80131415)

研究分担者 多川 則男  関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840)
青柳 誠司  関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493)
連携研究者 多川 則男  関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840)
青柳 誠司  関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493)
研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
19,890千円 (直接経費: 15,300千円、間接経費: 4,590千円)
2008年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2007年度: 18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円)
キーワードSEM / モアレトポグラフィ / MEMS / 縞解析 / 微小構造物 / 三次元形状計測 / モアレトポグラフィー / 格子 / シリコンプロセス
研究概要

ナノテクノロジーにおける定量的な三次元形状評価を実現し, 微小構造物の定量的三次元形状計測が困難な現状を打開することのできる新しい計測技術を開発した. 具体的には,モアレトポグラフィの光源を光から電子線へ改めることによって, 数μm の構造物を数10nm の測定精度で形状計測可能な非接触三次元形状計測技術を補助金申請書に記した計画どうりに開発した.

報告書

(3件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2008 2007

すべて 雑誌論文 (9件) (うち査読あり 9件) 学会発表 (5件)

  • [雑誌論文] Electric speckle pattern interferometry based on spatial fringe analysis method using two cameras2008

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Arai
    • 雑誌名

      Journal of Modern Optics 55

      ページ: 281-296

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電子スペックル干渉計測におけるバーチャルスペックルパターンを用いた面内変形計測2008

    • 著者名/発表者名
      新井泰彦
    • 雑誌名

      光学 37

      ページ: 119-129

    • NAID

      10021107251

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-resolution dynamic measurement using electronic speckle pattern interferometry based on multi-camera technology2008

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Arai
    • 雑誌名

      Optics and Lasers in Enginerring 46

      ページ: 733-738

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] バーチャルスペックルパターンを用いた高分解能ダイナミック面内計測2008

    • 著者名/発表者名
      新井泰彦
    • 雑誌名

      光学 37

      ページ: 600-609

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-resolution dynamic measurement using electronic speckle pattern interferometry based on multi-camera technology2008

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Arai
    • 雑誌名

      Optics and Lasers in Engineering 46

      ページ: 733-738

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electric speckle pattern interferometry based on spatial fringe analysismethod using two cameras2008

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Arai
    • 雑誌名

      Journal of Modern Optics 55

      ページ: 281-296

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電子スペックル干渉計測におけるバーチャルスペックルパターンを用いた面内変形計測2008

    • 著者名/発表者名
      新井 泰彦
    • 雑誌名

      光学 37

      ページ: 119-129

    • NAID

      10021107251

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 3-D micro-structure measurement method based on shadow moire using scanning electron microscope2007

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Arai
    • 雑誌名

      Experimental analysis of nano and engineering materials and strictures

      ページ: 609-610

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 3-D micro-structure measurement method based on shadow moire using scanning2007

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Arai
    • 雑誌名

      Experimental analysis of nano and engineering materials and strictures

      ページ: 609-610

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 3-D measurement method based on Wavelet transform by using SEM2008

    • 著者名/発表者名
      Y.Arai
    • 学会等名
      SPIE Optomechatronic Technology 2008
    • 発表場所
      San Diego(USA)
    • 年月日
      2008-11-17
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 3-D measurement method based on Wavelet transform by using SEM2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Arai
    • 学会等名
      SPIE Optomechatronic Technology 2008
    • 発表場所
      San Diego
    • 年月日
      2008-11-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] SEMを用いた格子投影技術による三次元形状計測法の開発2008

    • 著者名/発表者名
      新井泰彦
    • 学会等名
      2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2008-09-18
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] SEMを用いたモアレトポグラフィーによる微小構造物の三次元形状計測2008

    • 著者名/発表者名
      新井泰彦, 小林一也
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部第83期定時総会講演会
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2008-03-14
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] SEMを用いたモアレトポグラフィーによる微小構造物の三次元形状計測2008

    • 著者名/発表者名
      新井 泰彦, 小林 一也
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部第83期定時総会講演会
    • 発表場所
      大阪大学豊中キャンパス
    • 年月日
      2008-03-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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