| 研究課題/領域番号 |
19360123
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 関西大学 |
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研究代表者 |
新井 泰彦 関西大学, システム理工学部, 教授 (80131415)
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| 研究分担者 |
多川 則男 関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840)
青柳 誠司 関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493)
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| 連携研究者 |
多川 則男 関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840)
青柳 誠司 関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
19,890千円 (直接経費: 15,300千円、間接経費: 4,590千円)
2008年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2007年度: 18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円)
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| キーワード | SEM / モアレトポグラフィ / MEMS / 縞解析 / 微小構造物 / 三次元形状計測 / モアレトポグラフィー / 格子 / シリコンプロセス |
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| 研究概要 |
ナノテクノロジーにおける定量的な三次元形状評価を実現し, 微小構造物の定量的三次元形状計測が困難な現状を打開することのできる新しい計測技術を開発した. 具体的には,モアレトポグラフィの光源を光から電子線へ改めることによって, 数μm の構造物を数10nm の測定精度で形状計測可能な非接触三次元形状計測技術を補助金申請書に記した計画どうりに開発した.
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