研究課題/領域番号 |
19360154
|
研究種目 |
基盤研究(B)
|
配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
電子デバイス・電子機器
|
研究機関 | 千葉大学 |
研究代表者 |
橋本 研也 千葉大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90134353)
|
研究分担者 |
山口 正恆 千葉大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00009664)
|
連携研究者 |
山口 正恆 千葉大学, 大学院・工学研究科, 教授 (00009664)
大森 達也 千葉大学, 大学院・工学研究科, 助教 (60302527)
|
研究期間 (年度) |
2007 – 2009
|
研究課題ステータス |
完了 (2009年度)
|
配分額 *注記 |
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2009年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2008年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2007年度: 7,540千円 (直接経費: 5,800千円、間接経費: 1,740千円)
|
キーワード | 弾性表面波 / レーザープローブ / サニャック干渉計 / 縦振動 / バルク弾性波 / 干渉計 |
研究概要 |
本研究では、サニャック干渉計を利用して、GHz帯微小縦振動用超高速2次元計測システムを構築した。また、試料表面の傾きや凹凸により焦点ボケに対する対応法を開発した。そして、100倍のレンズを用いて2GHz帯の薄膜バルク波共振子(FBAR)を観測し、本手法の有効性を実証した。さらに、本装置の測定結果に波数空間解析を適用し、FBAR素子における音響的損失発生機構を解明し、本装置の有効性を実証した。
|