研究課題/領域番号 |
19360161
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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研究機関 | 大阪大学 |
研究代表者 |
斗内 政吉 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 教授 (40207593)
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研究分担者 |
村上 博成 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 准教授 (30219901)
川山 巌 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 助教 (10332264)
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研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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配分額 *注記 |
18,850千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 4,350千円)
2008年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
2007年度: 11,830千円 (直接経費: 9,100千円、間接経費: 2,730千円)
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キーワード | テラヘルツ / フェムト秒レーザー / 顕微鏡 / ガルバノメーター / 近接場 / 半導体 / 高温超伝導体 / 強相関電子材料 |
研究概要 |
システム開発においては、固浸レンズやガルバノスキャナーを用いた新規なレーザーテラルツエミッション顕微鏡を構築し、空間分解能1μm以下でかつスキャン時間が数秒であといった高分解能かつ高速性能を持つことを確認した。また、このシステムを用が、半導体集積回路の欠陥検査等に有効であることを示した。一方、強誘電体からのテラヘルツ放射を、結晶構造および配向制御した薄膜を用いて系統的に観測し、そのメカニズムを明らかにした。
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