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高分解能レーザーテラヘルツ放射顕微鏡の開発

研究課題

研究課題/領域番号 19360161
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関大阪大学

研究代表者

斗内 政吉  大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 教授 (40207593)

研究分担者 村上 博成  大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 准教授 (30219901)
川山 巌  大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 助教 (10332264)
研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
18,850千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 4,350千円)
2008年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
2007年度: 11,830千円 (直接経費: 9,100千円、間接経費: 2,730千円)
キーワードテラヘルツ / フェムト秒レーザー / 顕微鏡 / ガルバノメーター / 近接場 / 半導体 / 高温超伝導体 / 強相関電子材料
研究概要

システム開発においては、固浸レンズやガルバノスキャナーを用いた新規なレーザーテラルツエミッション顕微鏡を構築し、空間分解能1μm以下でかつスキャン時間が数秒であといった高分解能かつ高速性能を持つことを確認した。また、このシステムを用が、半導体集積回路の欠陥検査等に有効であることを示した。一方、強誘電体からのテラヘルツ放射を、結晶構造および配向制御した薄膜を用いて系統的に観測し、そのメカニズムを明らかにした。

報告書

(3件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (34件)

すべて 2009 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (14件) (うち査読あり 14件) 学会発表 (16件) 図書 (2件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Understanding the nature of ultrafast polarization dynamics of ferroelectric memory in the multiferroic BiFeO_3 thinfilms2009

    • 著者名/発表者名
      D.S.Rana, I.Kawayama, , K.R.Mavan. , K.Takahashi H.Murakami, M.Tonouchi
    • 雑誌名

      Advanced Materials Vol.21

      ページ: 1-5

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Transmission-type laser THz emission microscope using a solid immersion lens2008

    • 著者名/発表者名
      S.Kim, H.Murakami, M.Tonouchi
    • 雑誌名

      IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS Vol.14

      ページ: 498-504

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structural depedence of Terhertz radiation from multiferroic BiFeO_3thin films2008

    • 著者名/発表者名
      D.S.Rana, K.Takahashi, K.R.Mavan., I.Kawayama, H.Murakami,M.Tonouchi
    • 雑誌名

      Physical Review B Vol.77

      ページ: 24105-24105

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of cation disorder on terahertz emission from half-doped manganite thin films2008

    • 著者名/発表者名
      K.R.Mavani., D.S.Rana, K.Takahashi, I.Kawayama, H.Murakami,M.Tonouchi
    • 雑誌名

      Europhyscis Letters Vol.81

      ページ: 17009-17016

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Transmission-type laser THz emission microscope using a solid immersion lens2008

    • 著者名/発表者名
      S. Kim, H. Murakami, M. Tonouchi
    • 雑誌名

      IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS 14

      ページ: 498-504

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of disorder and scaling of optical conductivity in NdO. 5CaO. 5-xBaxMnO3 (x=O and 0.02) thin films as observed by terahertz time-domain spectroscopy2008

    • 著者名/発表者名
      K. R. Mavani, M. Nagai, D. S. Rana, H. Yada, I. Kawayama, M. Tonouchi, K. Tanaka
    • 雑誌名

      APPLIED PHYSICS LETTERS 93

      ページ: 132903-132903

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structural depedence of Terhertz radiation from multiferroic BiFeO_3 thin films2008

    • 著者名/発表者名
      D. S. Rana, K. Takahashi, K. R. Mavan., I. Kawayama, H. Murakami, M. Tonouchi
    • 雑誌名

      Physical Review B 77

      ページ: 24105-24105

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of cation disorder on terahertz emission from half-doped manganite thin films2008

    • 著者名/発表者名
      K. R. Mavani., D. S. Rana, K. Takahashi, I. Kawayama, H. Murakami, M. Tonouchi
    • 雑誌名

      Europhyscis Letters 81

      ページ: 17009-17016

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Transmission-type Laser THz Emission Microscope using a Solid Immersion Lens2008

    • 著者名/発表者名
      S. Kim, H. Murakami, M. Tonouchi
    • 雑誌名

      IEEE journal of selected topic in Quantum Electr onics 14(In press)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laser Terahertz Emission Microscopy2008

    • 著者名/発表者名
      H. Murakami and M. Tonouchi
    • 雑誌名

      Compte-Rendus (Physique) (未定)(In press)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Visualization of photoassisted polarization switching and its consequences in BiFeO_3 thin films probed by terahertzradiation2007

    • 著者名/発表者名
      D.S.Rana, K.Takahashi, K.R.Mavani, I.Kawayama, H.Murakami, M.Tonouchi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters Vol.91

      ページ: 31909-31911

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laser Terahertz Emission Microscope2007

    • 著者名/発表者名
      H.Murakami, N.Uchida, R.Inoue, S.Kim, T.Kiwa, and M.Tonouchi
    • 雑誌名

      Proc. of IEEE Vol.95

      ページ: 1646-1657

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Visualization of photoassisted polarization switching and its consequences in BiFeO_3 thin films probed by terahertz radiation2007

    • 著者名/発表者名
      D. S. Rana, K. Takahashi, K. R. Mavani, I. Kawayama, H. Murakami, M. Tonouchi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 91

      ページ: 31909-31911

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laser Terahertz Emission Microscope2007

    • 著者名/発表者名
      H. Murakami, N. Uchida, R. Inoue, S. Kim, T. Kiwa, and M. Tonouchi
    • 雑誌名

      Proc. of IEEE 95

      ページ: 1646-1657

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Novel laser scanning THz emission microscope2008

    • 著者名/発表者名
      S.Kim, M.Yamashita, T.Matsumoto, H.Murakami, C.Otani,○ M.Tonouchi
    • 学会等名
      EOS Annual Meeting 2008
    • 発表場所
      パリ・フランス
    • 年月日
      2008-09-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Probing ultrafast ferroelectric polarization dynamics in multiferroic BiFeO3 by terahertz emission spectroscopy2008

    • 著者名/発表者名
      D.S.Rana, I.Kawayama, M.R.Mavani, K. Takahashi, H.Murakami, M.Tonouchi
    • 学会等名
      2008年日本物理学会秋季大会
    • 発表場所
      岩手大学
    • 年月日
      2008-09-20
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] ガルバノメーターを用いたレーザー走査型テラヘルツ放射顕微鏡の開発2008

    • 著者名/発表者名
      金子大輔、金鮮美、山下将嗣、松本徹、村上博成、大谷知行、斗内政吉
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-04
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] レーザー走査型テラヘルツイメージングシステムの開発2008

    • 著者名/発表者名
      水野将吏、金鮮美、川山巌、村上博成、斗内政吉
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-04
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] ガルバノメーターを用いたレーザー走査型テラヘルツ放射顕微鏡の開発2008

    • 著者名/発表者名
      金子大輔, 金鮮美, 山下将嗣, 松本徹, 村上博成, 大谷知行, 斗内政占
    • 学会等名
      2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-04
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] レーザー走杏型テラヘルツイメージングシステムの開発2008

    • 著者名/発表者名
      水野将吏, 金鮮美, 川山巌, 村上博成, 斗内政吉
    • 学会等名
      2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-04
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Laser Terahertz Emission Microscopy Toward High-Resolution Imaging2008

    • 著者名/発表者名
      S.Kim, H.Murakami, M.Tonouchi
    • 学会等名
      Conference on Lasers and Electro-Optics
    • 発表場所
      サンノゼ・米国
    • 年月日
      2008-05-08
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Terahertz emission from BiFeO_3 by mean of direct optical modulation of ferroelectric spontaneous polarization2008

    • 著者名/発表者名
      M.Tonouchi, D.S.Rana, K.Takahashi, K.R.Mavani, I.Kawayama, H.Murakami
    • 学会等名
      International Workshop on Optical Terahertz Science and Technology 2009
    • 発表場所
      サンタバーバラ・米国
    • 年月日
      2008-03-08
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書 2008 研究成果報告書
  • [学会発表] LSI imaging using Transmission-mode Laser THz emission2007

    • 著者名/発表者名
      S.Kim, H.Murakami, M.Tonouchi
    • 学会等名
      LSI Testing Symposium (LSITS) 2007
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2007-11-09
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] LSI imaging using Transmission-mode Laser THz emission2007

    • 著者名/発表者名
      S. Kim, H. Murakami, M. Tonouchi
    • 学会等名
      LSI Testing Symposium (LSITS) 2007
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2007-11-09
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Recent progress in laser terahertz emission microscopy toward high-resolution imaging2007

    • 著者名/発表者名
      S.Kim, H.Koga, H.Murakami, M.Tonouchi
    • 学会等名
      The Joint 32nd International Conference on Infrared and Millimetre Waves and 15th International Conference on Terahertz Electronics (IRMMW-THz 2007)
    • 発表場所
      Cardiff, UK
    • 年月日
      2007-09-07
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Recent progress in laser terahertz emission microscopy toward high-reso lution imaging2007

    • 著者名/発表者名
      S. Kim, H. Koga, H. Murakami, M. Tonouchi
    • 学会等名
      The Joint 32nd International Conference on Infrared and Millimetre Waves and 15th International Conference on Terahertz Electronics (IRMMW-THz 2007)
    • 発表場所
      Cardiff, UK
    • 年月日
      2007-09-07
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Temperature Dependent THz Radiation from Charge-ordered Nd_<0.50>Ca_<0.48>Ba_<0.02> MnO_3 Manganite Thin Film2007

    • 著者名/発表者名
      K.R.Mavani, D.S.Rana, K.Takahashi, I.Kawayama, H.Murakami and M.Tonouchi
    • 学会等名
      2007 MRS Spring Meeting
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2007-04-10
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Structural Dependence of THz-radiation from BiFeO_3 Thin Films2007

    • 著者名/発表者名
      D.S.Rana, K.Takahashi, K.R.Mavani, I.Kawayama, H.Murakami and M.Tonouchi
    • 学会等名
      2007 MRS Spring Meeting
    • 発表場所
      Francisco, USA
    • 年月日
      2007-04-10
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Temperature Dependent THz Radiation from Charge-ordered Nd_<0.50>Ca_<0.48>Ba_<0.02>MnO_3 Manganite Thin Film2007

    • 著者名/発表者名
      K. R. Mavani, D. S. Rana, K. Takahashi, I. Kawayama, H. Murakami and M. Tonouchi
    • 学会等名
      2007MRS Spring Meeting
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2007-04-10
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Structural Dependence of THz-radiation from BiFeO_3 Thin Films2007

    • 著者名/発表者名
      D. S. Rana, K. Takahashi, K. R. Mavani, I. Kawayama, H. Murakami and M. Tonouchi
    • 学会等名
      2007 MRS Sprig Meeting
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2007-04-10
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] テラヘルツ技術総覧(Handbook of Terahertz Technology)2007

    • 著者名/発表者名
      斗内政吉、村上博成、金鮮美、貴田憲明、高橋宏平、鈴木正人、井上亮太郎
    • 総ページ数
      16
    • 出版者
      ネヌ・ジー・シー
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] テラヘルツ技術総覧(Handbook of Terahertz Technology)

    • 著者名/発表者名
      斗内政吉、村上博成、金鮮美、貴田憲明、高橋宏平、鈴木正人、井上亮太郎
    • 総ページ数
      16
    • 出版者
      ネヌ・ジー・シー, 207
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [産業財産権] 半導体検査装置および検査方法2008

    • 発明者名
      村上博成、斗内政吉、金鮮美、山下将嗣、大谷知行、松本徹、青木芳充
    • 権利者名
      浜松ホトニクス
    • 出願年月日
      2008-09-01
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [産業財産権] 半導体検査装置および検査方法2008

    • 発明者名
      村上博成, 斗内政吉, 金鮮美, 山下将嗣, 大谷知行, 松本徹, 青木芳充
    • 権利者名
      浜松ホトニクス
    • 産業財産権番号
      2008-223612
    • 出願年月日
      2008-09-01
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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