マイクロ放電創成による微小部品の機能性発現に関する研究

• 研究課題/領域番号: 19360327
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 毛利 尚武 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (90126186)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• 研究課題ステータス: 完了 (2008年度)
• 配分額: 20,280千円 (直接経費: 15,600千円、間接経費: 4,680千円); 2008年度: 7,410千円 (直接経費: 5,700千円、間接経費: 1,710千円); 2007年度: 12,870千円 (直接経費: 9,900千円、間接経費: 2,970千円)
• キーワード: 放電加工 / マイクロ放電加工 / 気中放電加工 / ピーリング電極 / 放電発光現象 / ペルチュ素子 / バイメタル / カンチレバー / ペルチェ素子

研究概要

微小機械の製造において、リソグラフィを対象とした従来の加工材料の制約を打破するために、放電加工法をマイクロ形状創成加工に適用してその可能性を検討した。このためにピエゾ駆動を用いた高応答・高分解能型の放電微細加工装置を開発した.放電加工環境を適宜選択して,スリット中心追跡制御方式による微小工具あるいは機能性微小部品の実現を図った.これにより、金属、セラミックス、磁性体を対象としたマイクロ加工の可能性を示し、その効果を確認した。

研究成果

• [雑誌論文] InternationalJournal of Automation Technology (2008)
  • 著者名/発表者名: Hideaki Takezawa,Naotake Mohri, Kouhei Asano, Yasunori Kodama
  • 雑誌名: Development of Micro Electrical Discharge Machine ページ: 124-130
  • 査読あり
• [雑誌論文] ワイヤ工具を用いた複合加工機の開発 (2008)
  • 著者名/発表者名: 平尾篤利、谷貴幸、後藤啓光、毛利尚武
  • 雑誌名: 電気加工学会誌 ページ: 130-136
  • NAID: 10024484786
  • 査読あり
• [雑誌論文] 絶縁性Si3N4 セラミックスワイヤ放電加工特性-導電性被膜の形態と加工特性との関係 (2008)
  • 著者名/発表者名: 係谷貴幸、後藤啓光、毛利尚武
  • 雑誌名: 電気加工学会誌 ページ: 137-144
  • 査読あり
• [雑誌論文] International Journal of Automation Technology (2008)
  • 著者名/発表者名: Hideki Takezawa,Naotake Mohri, Kouhei Asano, Yasunori =
  • 雑誌名: Development of Micro Electrical Discharge Machine Vol.2 ページ: 124-130
  • 査読あり
• [雑誌論文] ワイヤ工具を用いた複合加工機の開発 (2008)
  • 著者名/発表者名: 平尾篤利、谷貴幸、後藤啓光、毛利尚武
  • 雑誌名: 電気加工学会誌 42 ページ: 130-136
  • NAID: 10024484786
  • 査読あり
• [雑誌論文] 絶縁性Si3N4セラミックスワイヤ放電加工特性-導電性被膜の形態と加工特性との関係 (2008)
  • 著者名/発表者名: 谷貴幸、後藤啓光、毛利尚武
  • 雑誌名: 電気加工学会誌 42 ページ: 137-144
  • 査読あり
• [雑誌論文] A Study on Single Discharge Machining with Low Melting Temperature Alloy (2007)
  • 著者名/発表者名: Hideki Takezawa, Hirotaka Kokubo, Naotake Mohri, Kenichiro Horio, Daisuke Yanagida, Nagao Saito
  • 雑誌名: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) ページ: 69-73
  • NAID: 110004071711
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of Discharge Current on the Occurrence Time of Cavitations (2007)
  • 著者名/発表者名: Yoshiaki Akematsu, Kazuro Kageyama, Naotake Mohri, Hideaki Murayama
  • 雑誌名: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) ページ: 105-109
  • 査読あり
• [雑誌論文] On the Machine Slicing System with a Tool Wire for 3D Observation (2007)
  • 著者名/発表者名: Atsutoshi Hirao, Naotake Mohri, Takayuki Tani, Hiroshi Sakuta
  • 雑誌名: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) ページ: 159-163
  • 査読あり
• [雑誌論文] Machining of Insulating Materials by EDM with Micro-Pin Electrode (2007)
  • 著者名/発表者名: Takayuki Tani, Naotake Mohri, Hiromitsu Gotoh, Haruo Sai, Masaaki Okada
  • 雑誌名: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) ページ: 257-261
  • 査読あり
• [雑誌論文] 大電流単発放電における微細軸形成現象の時間分析観察とその形成ダイナミクス (2007)
  • 著者名/発表者名: 田辺里枝、伊藤義郎、毛利尚武
  • 雑誌名: 精密工学会誌 ページ: 682-687
  • 査読あり
• [雑誌論文] 放電複合加工における超音波付与効果とその実用化 (2007)
  • 著者名/発表者名: 平尾篤利、谷 貴幸、毛利尚武、齋藤長男
  • 雑誌名: 精密工学会誌 ページ: 781-785
  • NAID: 110006342944
  • 査読あり
• [雑誌論文] A Study on Single Discharge Machining with Low Melting Temperature Alloy (2007)
  • 著者名/発表者名: Hideki Takezawa, Hirotaka Kokubo, Naotake Mohri, Kenichiro Horio, Daisuke Yanagida, Nagap Saito
  • 雑誌名: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) 1 ページ: 69-73
  • NAID: 110004071711
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of Discharge Current on the Occurrence Time of Caviations (2007)
  • 著者名/発表者名: Yoshiaki Akematsu, Kazuro Kageyama, Naotake Mohri, Hideaki Murayama
  • 雑誌名: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) 7 ページ: 105-109
  • 査読あり
• [雑誌論文] On the Machine Slicing System with a Tool Wire for 3D Observation (2007)
  • 著者名/発表者名: Atsutoshi Hirao, Naotake Mohri, Takayuki Tani, Hiroshi Sakuta
  • 雑誌名: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) 1 ページ: 159-163
  • 査読あり
• [雑誌論文] Machining of Insulating Materials by EDM with Micro-Pin Electrode (2007)
  • 著者名/発表者名: Takayuki Tani, Naotake Mohri, Hiromitsu Gotoh, Haruo Sai, Masaaki Okada
  • 雑誌名: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) 1 ページ: 257-261
  • 査読あり
• [雑誌論文] 大電流単発放電における微細軸形成現象の時間分析観察とその形成ダイナミクス (2007)
  • 著者名/発表者名: 田辺 里枝、伊藤 義郎、毛利 尚武
  • 雑誌名: 精密工学会誌 73 ページ: 682-687
  • 査読あり
• [雑誌論文] 放電複合加工における超音波付与効果とその実用化 (2007)
  • 著者名/発表者名: 平尾 篤利、谷 貴幸、毛利 尚武、齋藤 長男
  • 雑誌名: 精密工学会誌 73 ページ: 781-785
  • NAID: 110006342944
  • 査読あり
• [学会発表] ピーリング複合工具を用いた微細放電加工-複合異種材料の加工特性- (2008)
  • 著者名/発表者名: 李珠瓊、毛利尚武、後藤啓光、谷貴幸、武沢英樹、増沢隆久
  • 学会等名: 電気加工学会全国大会
  • 発表場所: キャンパスイノベーションセンター東京
  • 年月日: 2008-11-28
• [学会発表] 気中走査放電加工による表面改質 (2008)
  • 著者名/発表者名: 谷貴幸、後藤啓光、桑原吉英、毛利尚武、齋治男
  • 発表場所: キャンパスイノベーションセンター東京
  • 年月日: 2008-11-28
• [学会発表] Tic 燃結体電極を用いた放電表面改質膜の形成メカニズムに関する一考察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 松川公映、後藤昭弘、齋藤長男、毛利尚武
  • 発表場所: キャンパスイノベーションセンター東京
  • 年月日: 2008-11-28
• [学会発表] Tic燃結体電極を用いた放電表面改質膜の形成メカニズムに関する-考察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 松川公映、後藤昭弘、齋藤長男、毛利尚武
  • 学会等名: 電気加工学会全国大会
  • 発表場所: キャンパスイノベーションセンター東京
  • 年月日: 2008-11-28
• [学会発表] 超短パルス放電の観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 梅田 和彦、毛利 尚武、谷 貴幸、後藤 啓光、平尾 篤利
  • 学会等名: 2008年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2008-03-17
• [学会発表] ピーリング工具を用いた微細加工 (2008)
  • 著者名/発表者名: 李 珠顔、後藤 啓光、谷 貴幸、武沢 英樹、毛利 尚武、増沢 隆久
  • 学会等名: 2008年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2008-03-17
• [学会発表] SPMによる放電加工表面の観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 佐久田 昌博、平尾 篤利、谷 貴幸、武沢 英樹、毛利 尚武
  • 学会等名: 2008年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2008-03-17
• [学会発表] バイメタル形成及び熱駆動型バイメタルアクチュエータへの応用研究 (2008)
  • 著者名/発表者名: 出口 晋典、毛利 尚武、谷貴幸、後藤 啓光
  • 学会等名: 2008年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2008-03-17
• [学会発表] 超短パルス放電の観察 (2007)
  • 著者名/発表者名: 梅田和彦、毛利尚武、谷 貴幸、後藤啓光、平尾篤利
  • 学会等名: 2008年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2007-03-17
• [学会発表] ピーリング工具を用いた微細加工 (2007)
  • 著者名/発表者名: 李 珠瓊、後藤啓光、谷貴幸、武沢英樹、毛利尚武、増沢隆久
  • 学会等名: 2008年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2007-03-17
• [学会発表] SPM による放電加工表面の観察 (2007)
  • 著者名/発表者名: 佐久田昌博、平尾篤利、谷貴幸、武沢英樹、毛利尚武
  • 学会等名: 2008年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2007-03-17
• [学会発表] バイメタル形成及び熱駆動型バイメタルアクチュエータへの応用研究 (2007)
  • 著者名/発表者名: 山口晋典、毛利尚武、谷貴幸、後藤啓光
  • 学会等名: 2008年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2007-03-17
• [産業財産権] 微細工具の製造方法及び微細工具の製造装置 (2008)
  • 発明者名: 毛利尚武、増沢隆久、谷貴幸、後藤
  • 権利者名: 毛利尚武, 増沢隆久, 谷貴幸, 後藤啓光
  • 産業財産権番号: 2008-049661
  • 出願年月日: 2008-02-29