| 研究課題/領域番号 |
19360336
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
材料加工・処理
|
|---|
| 研究機関 | 独立行政法人日本原子力研究開発機構 |
|---|
研究代表者 |
吉越 章隆 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (00283490)
|
|---|
| 研究分担者 |
寺岡 有殿 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究主幹 (10343922)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2007 – 2009
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2009年度)
|
| 配分額 *注記 |
20,020千円 (直接経費: 15,400千円、間接経費: 4,620千円)
2009年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2008年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2007年度: 10,920千円 (直接経費: 8,400千円、間接経費: 2,520千円)
|
|---|
| キーワード | 超熱分子ビーム / ナノプロセス / 実空間"その場"観察 / 吸着 / 反応選択性 / プローブ顕微鏡 / 表面反応ダイナミクス / 超熱分子線 / 走査型プローブ顕微鏡 / 並進運動エネルギー / Si(111)-7×7の室温酸化 / 放射光リアルタイム光電子分光 / 空間選択的反応 / 反応機構 / 放射光 / リアルタイム光電子分光 / 原子分解能 / 酸化反応 / 実空間観察 / 吸着過程 / 精密ビーム照射 / その場観察 |
|---|
| 研究概要 |
超熱分子ビームによる次世代ナノプロセスの走査型プローブ顕微鏡を用いた実空間"その場"観察法を開発した.放射光光電子分光と相補的に利用することで,超熱分子ビームによる表面反応選択性の空間情報を検証することを試みた.放射光ビームラインにおいてSi(111)-7×7表面等の原子像観察に成功するとともに,Si(111)-7×7表面の室温酸化反応における酸素分子の並進運動エネルギーに依存した表面形状の違いを見出した.
|
