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高誘電率ゲート絶縁膜用ターゲット金属の高純度精製

研究課題

研究課題/領域番号 19360339
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 金属生産工学
研究機関東北大学

研究代表者

三村 耕司  東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (00091752)

研究分担者 一色 実  東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (20111247)
研究期間 (年度) 2007 – 2009
研究課題ステータス 完了 (2009年度)
配分額 *注記
12,740千円 (直接経費: 9,800千円、間接経費: 2,940千円)
2009年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2008年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2007年度: 7,800千円 (直接経費: 6,000千円、間接経費: 1,800千円)
キーワード高純度金属 / 高純度精製 / 水素プラズマ溶解 / 帯溶融 / ハフニウム / ジルコニウム / 希土類金属 / チタン / 金属生産工学 / 不純物強除去速度 / プラズマ溶解精製 / 水素プラズマ / 精製機構 / 帯溶融精製 / 活性水素 / ランタン / セリウム / 水素プラズマ溶解精製
研究概要

ULSI等デバイス製造に不可欠なスパッタ・ターゲット金属Hf,Zr,Ti,Ce,Laの高純度化を図った。Hf,Zr,Tiに対しては水素プラズマ溶解を適用し、Hf,Zr,Tiに比し蒸気圧が相対的に高いFe,Al,Cu,Cr,Mn等不純物を迅速に極低減化し、原料(99~99.9%)に対し1~2桁以上の純度向上を達成した。Ce,Laに対してはプラズマ帯溶融を適用し、従来にない優れた偏析効果でFe,Al等不純物の始端側での低減、Ca,Mn等高蒸気圧不純物の蒸発除去、O,N,Cの低減、により高純度La,Ceを得た。

報告書

(4件)
  • 2009 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2008 実績報告書
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて 2010 2009 2008 2007

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (5件)

  • [雑誌論文] Refining effect of hydrogen plasma arc melting on titanium sponges2010

    • 著者名/発表者名
      三村耕司, J. W. Lim, J. M. Oh, G. S. Choi, S. W. Cho, 打越雅仁, 一色実
    • 雑誌名

      Materials Letters Vol. 64

      ページ: 411-414

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Refining effect of hydrogen plasma arc melting on titanium sponges2010

    • 著者名/発表者名
      K.Mimura, J.W. Lim, J.M. Oh, G.S. Choi, S.W. Cho, M.Uchikoshi, M.Isshiki
    • 雑誌名

      Materials Letters 64

      ページ: 411-414

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Purification of lanthanum and cerium by plasma arc zone melting2008

    • 著者名/発表者名
      三村耕司, 佐藤貴則, 一色実
    • 雑誌名

      Journal of Materials Science Vol. 43

      ページ: 2721-2730

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Purification of lanthanum and cerium by plasma arczone melting2008

    • 著者名/発表者名
      三村耕司、佐藤貴則、一色実
    • 雑誌名

      Journal of Materials Science 43

      ページ: 721-2730

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 水素プラズマアーク溶解によるTi及びTi合金の精製2009

    • 著者名/発表者名
      三村耕司, J. W. Lim, G. S. Choi, 一色実
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      京都大学(京都市)
    • 年月日
      2009-09-16
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書 2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Plasma Arc Melting and Refining of Titanium and Hafnium2008

    • 著者名/発表者名
      三村 耕司
    • 学会等名
      Proceedings of International Symposium of Resource Recycling 2007
    • 発表場所
      韓国、済州島
    • 年月日
      2008-11-28
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Refining and Purification of Rare Metals using Plasma Arc Heating2008

    • 著者名/発表者名
      三村耕司, 一色実
    • 学会等名
      Symposium on the Development and Applications of Rare Metals
    • 発表場所
      大田(韓国)
    • 年月日
      2008-05-22
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Refining and Purification of Rare Metals using Plasma Are Heating2008

    • 著者名/発表者名
      三村耕司、一色実
    • 学会等名
      Symposium on the Development and Applications of Rare Metals
    • 発表場所
      Korea, Daejon
    • 年月日
      2008-05-22
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Plasma Arc Melting and Refining of Titanium and Hafnium2007

    • 著者名/発表者名
      三村耕司
    • 学会等名
      International Symposium of Resource Recycling 2007
    • 発表場所
      済州島(韓国)
    • 年月日
      2007-11-28
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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