| 研究課題/領域番号 |
19550015
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
物理化学
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
梅本 宏信 静岡大学, 工学部, 教授 (80167288)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2008年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2007年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
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| キーワード | 化学気相堆積 / 酸化性ガス / 金属触媒 / 酸素原子 / 水素原子 / OHラジカル / イリジウム触媒 / タングステン触媒 |
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| 研究概要 |
加熱金属表面における触媒分解過程が、これまでの還元性ラジカルの生成に加え、酸素原子やOHラジカルなどの酸化性ラジカルの選択的生成にも利用できることを示した。特に、イリジウムは、高温でも酸素や酸化窒素、水蒸気等によって酸化されることはなく、これを用いることにより金属汚染のない酸化物薄膜の成膜や表面処理が可能である。また、タングステンとイリジウムにおける発生ラジカル種の比較から、両者における反応過程の相違についての知見を得た。
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