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ダイレクトナノインプリントによる高規則化ポーラスシリコンの作製と機能材料への展開

研究課題

研究課題/領域番号 19550180
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 機能材料・デバイス
研究機関首都大学東京

研究代表者

西尾 和之  首都大学東京, 都市環境科学研究科, 准教授 (00315756)

研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2008年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2007年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
キーワードポーラスシリコン / 電解エッチング / ナノインプリント / リチウムイオン二次電池 / ナノ細孔配列 / 電池
研究概要

突起が規則配列したSiC製のモールドを用いたダイレクトナノインプリント, 或いは規則細孔配列を有する陽極酸化ポーラスアルミナをマスクとしたドライエッチングによりSi表面に規則的な窪み配列を形成し, これを電解エッチングすることにより高密度高規則配列のナノポーラスシリコンを形成した. これを電極としてリチウムイオンに基づく充放電特性を測定したところ, 細孔周期200nmに対して, 100nmでは充放電の繰り返しによる細孔径状の歪みが抑えられることがわかった.

報告書

(3件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (21件)

すべて 2009 2008 2007

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (17件)

  • [雑誌論文] マスキングプロセスにもとづく高規則Alトンネルピット配列の形成2008

    • 著者名/発表者名
      西尾和之, 福島達郎, 益田秀樹
    • 雑誌名

      表面技術(解説) 59(7)

      ページ: 26-29

    • NAID

      10021170339

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] マスキングプロセスにもとづく高規則Alトンネルピット配列の形成2008

    • 著者名/発表者名
      西尾和之, 福島達郎, 益田秀樹
    • 雑誌名

      表面技術 59

      ページ: 26-29

    • NAID

      10021170339

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of Ideally Ordered Anodic Porous Alumina with Large Area by Vacuum Deposition of Al onto Mold2008

    • 著者名/発表者名
      K.Nishio, T. Yanagishita, S. Hatakeyama, M. Maegawa, and H. Masuda
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. technol. B 26

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Site-Controlled Tunnel Pits with High Aspect Ratios by Electrochemical Etching of Al Using Masking Film2007

    • 著者名/発表者名
      K.Nishio, T. Fukushima, A. Takeda, and H. Masuda
    • 雑誌名

      Electrochem. Solid-State Lett. 10

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Alトンネルエッチングの位置制御とピット成長挙動2009

    • 著者名/発表者名
      福島達郎, 西尾和之, 益田秀樹
    • 学会等名
      電気化学会76回大会
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] アノードエッチングに基づく高アスペクト比規則細配列の形成2009

    • 著者名/発表者名
      西尾和之
    • 学会等名
      第67回表面技術アカデミック研究会討論会
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] アノードエッチングに基づく高アスペクト比規則細配列の形成2009

    • 著者名/発表者名
      西尾和之
    • 学会等名
      第67回表面技術協会アカデミック研究会討論会
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Alトンネルエッチングの位置制御とピット成長挙動2009

    • 著者名/発表者名
      福島達郎, 西尾和之, 益田秀樹
    • 学会等名
      電気化学会第76回大会
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Alトンネルエッチングにおけるピット位置精密制御と機能化2008

    • 著者名/発表者名
      益田秀樹, 福島達郎, 西尾和之
    • 学会等名
      第25回ARS軽井沢コンファレンス
    • 発表場所
      群馬
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 異方性エッチングに基づくAlの微細加工2008

    • 著者名/発表者名
      武田彬史, 福島達郎, 西尾和之, 益田秀樹
    • 学会等名
      第118回表面技術講演大会
    • 発表場所
      大阪
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of Site-Controlled Tunnel Pits by Electrochemical Etching of Al2008

    • 著者名/発表者名
      K. Nishio, T. Fukushima, and H. Masuda
    • 学会等名
      213^<th> Electrochemical Society Meeting
    • 発表場所
      USA
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Alの異方性電解エッチングによる高アスペクト比マイクロ構造の形成2008

    • 著者名/発表者名
      福島達郎, 武田彬史, 西尾和之, 益田秀樹
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      千葉
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Alトンネルエッチングの微細加工への応用2008

    • 著者名/発表者名
      武田彬史, 福島達郎, 西尾和之, 益田秀樹
    • 学会等名
      電気化学会第75回大会
    • 発表場所
      山梨
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Alトンネルエッチングにおけるピット位置精密制御と機能化2008

    • 著者名/発表者名
      益田秀樹, 福島達郎, 西尾和之
    • 学会等名
      第25回ARSコンファレンス
    • 発表場所
      群馬
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 益田秀樹, 異方性エッチングに基づくAlの微細加工2008

    • 著者名/発表者名
      武田彬史, 福島達郎, 西尾和之
    • 学会等名
      第118回表面技術協会講演大会
    • 発表場所
      大阪
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of Site-Controlled Tunnel Pits by Electrochemical Etching of Al2008

    • 著者名/発表者名
      K. Nishio, T. Fukushima, H. Masuda
    • 学会等名
      213th Electrochemical Society Meeting
    • 発表場所
      USA
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 電解コンデンサ用Al箔における規則配列トンネルピットの高アスペクト比化2008

    • 著者名/発表者名
      福島達郎, 武田彬史, 西尾和之, 益田秀樹
    • 学会等名
      電気化学第75回大会
    • 発表場所
      山梨
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Alトンネルエッチングの微細加工への応用2008

    • 著者名/発表者名
      武田彬史, 福島達郎, 西尾和之, 益田秀樹
    • 学会等名
      電気化学第75回大会
    • 発表場所
      山梨
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Alの異方性電解エッチングによる高アスペクト比マイクロ構造の形成2008

    • 著者名/発表者名
      福島達郎, 武田彬史, 西尾和之, 益田秀樹
    • 学会等名
      55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      千葉
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] リチウムイオン二次電池用高規則ナノポーラスSiの作製と電池特性2007

    • 著者名/発表者名
      西尾和之, 村上浩史, 福島達郎, 益田秀樹
    • 学会等名
      2007年電気化学秋季大会
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書 2007 実績報告書
  • [学会発表] アルミニウム電解コンデンサ用Al箔のトンネルピット配列の制御2007

    • 著者名/発表者名
      福島達郎, 武田彬史, 西尾和之, 益田秀樹
    • 学会等名
      2007年電気化学秋季大会
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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