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周波数変化型高感度2軸加速度センサに関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 19560047
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物理学一般
研究機関石巻専修大学

研究代表者

菅原 澄夫  石巻専修大学, 理工学部, 教授 (00007197)

研究分担者 工藤 すばる  石巻専修大学, 理工学部, 教授 (20214968)
研究期間 (年度) 2007 – 2009
研究課題ステータス 完了 (2009年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2009年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2008年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2007年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
キーワード加速度センサ / 力センサ / 横振動子 / 軸力 / 有限要素法 / 周波数変化 / 2軸センサ / 折り曲げ支持棒 / 有限要素法解析 / 共振周波数 / カセンサ / 共振周波数変化
研究概要

本研究は,新しい周波数変化型高感度2軸加速度センサを提案し,有限要素法による設計を行い,実験的にその妥当性を検証したものである。加速度を周波数の変化として検出することを特徴とする本センサは,加速度と周波数変化の関係が直線となり好ましい。また,加速度の印加方向の吟味及び折り曲げ支持棒の適用により高感度化を図り,重力場を利用して感度測定を行い,有限要素法による解析値とも良く一致することが検証された。

報告書

(4件)
  • 2009 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2008 実績報告書
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (21件)

すべて 2009 2008 2007

すべて 雑誌論文 (14件) (うち査読あり 8件) 学会発表 (7件)

  • [雑誌論文] Finite Analysis of Sensitivity of Frequency-Change Force Sensor2009

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara, Masaki Yamakawa, Subaru Kudo
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. Vol.48

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 周波数変化型単結晶シリコン加速度センサの傾斜角センサへの応用2009

    • 著者名/発表者名
      菅原澄夫
    • 雑誌名

      月刊「化学工業」 Vol.60,No.9

      ページ: 45-49

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Finite Element Analysis of Sensitivity of Frequency-Change-Type Force Sensor2009

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. Vol.48, No.7

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 周波数変化型単結晶シリコン加速度センサの傾斜角センサへの応用2009

    • 著者名/発表者名
      菅原澄夫
    • 雑誌名

      月刊「化学工業」 Vol.60, No.9

      ページ: 45-49

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [雑誌論文] 周波数変化型単結晶シリコン2軸加速度センサの高感度化に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      菅原澄夫
    • 雑誌名

      超音波TECHNO Vol.20,No.3

      ページ: 64-66

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [雑誌論文] 周波数変化型単結晶シリコン加速度センサの傾斜角センサへの応用2008

    • 著者名/発表者名
      菅原澄夫
    • 雑誌名

      超音波TECHNO Vol.20,No.4

      ページ: 74-76

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Application of Frequency-Change-Type Single-Crystal Silicon Acceleration Sensors to Inclination Angle Sensor2008

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara, Tokiharu Watanabe, Jiro Terada
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. Vol.47,No.5

      ページ: 4048-4051

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Theoretical Studies of Realizing High Sensitivity for Frequency-Chage-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor2008

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara, Jumpei Koike
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. Vol.47,No.8

      ページ: 6578-6582

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Application of Frequency-Change-Type Single-Crystal Silicon Acceleration Sensors to Inclination Angle Sensor2008

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 47, No. 5

      ページ: 4048-4051

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 周波数変化型単結晶シリコン2軸加速度センサの高感度化に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      菅原澄夫
    • 雑誌名

      超音波TECHNO Vol. 20, No. 3

      ページ: 64-66

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [雑誌論文] 周波数変化型単結晶シリコン加速度センサの傾斜角センサへの応用2008

    • 著者名/発表者名
      菅原澄夫
    • 雑誌名

      超音波TECHNO Vol. 20, No. 4

      ページ: 74-76

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [雑誌論文] Theoretical Studies of Realizing High Sensitivity for Frequency-Change-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor2008

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 47, No. 8

      ページ: 6578-6582

    • NAID

      40016211057

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Construction of Frequency-Change-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor2007

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara, Hiroyuki SUZUKI, Takashi Saito
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. Vol.46,No.7B

      ページ: 4652-4655

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Construction of Frequency-Change-Type Single-Crystal Silicon Two-AxisAcceleration Sensor2007

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. Vol.46,No.7B

      ページ: 4652-4655

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Experimental Study of Sensitivity of Frequency-Change-Type Two-Axis Acceleration Sensor2009

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara
    • 学会等名
      Symp.on Ultrason. Electron.
    • 発表場所
      Kyoto
    • 年月日
      2009-11-20
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Experimental Study of Sensitivity of Frequency-Change-Type Two-Axis Acceleration Sensor2009

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara, Yu Kajiwara
    • 学会等名
      Symp. on Ultrason. Electron.
    • 発表場所
      Kyoto
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] A Study on Sensitivity of Frequency-Change-Type Force Sensor2008

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara, Masaki Yamakawa
    • 学会等名
      Proc. of Symp. on Ultrason. Electron.
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Application of Frequency-Change-Type Single-Crystal Silicon Acceleration Sensors to Inclination Angle Sensor2007

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara, Tokiharu Watanabe
    • 学会等名
      Symp. on Ultrason. Electron.
    • 発表場所
      Tsukuba
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Realization of High Sensitivity of Frequency-Chang-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor2007

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara, Jumpei Koike
    • 学会等名
      Symp. on Ultrason. Electron
    • 発表場所
      Tsukuba
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Application of Frequency-Change-Type Single-Crystal SiliconAcceleration Sensors to Inclination Angle Sensor2007

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara
    • 学会等名
      Symp.on Ultrason.Electron
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Realization of High SeHsitivity of Frequency-Chang-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor2007

    • 著者名/発表者名
      Sumio Sugawara
    • 学会等名
      Symp.on Ultrason.Electron
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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