| 研究課題/領域番号 |
19560110
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 富山大学 |
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研究代表者 |
高野 登 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 助手 (60251881)
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| 研究分担者 |
森田 昇 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 教授 (30239660)
山田 茂 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 准教授 (00174714)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2008年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2007年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | 極微細加工 / マイクロダイヤモンド工具 / 高精度化 / ダイヤモンド工具 / 集束イオンビーム / シリコンモールド / ダイヤモンドアレイ工具 |
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| 研究概要 |
本研究は、各種の極微細加工用の高精度ダイヤモンド工具の開発とマイクロ・ナノスケール加工への実用化を目的としている。まず、シリコンモールド作製技術と、ダイヤモンドCVD技術を駆使して、高精細のダイヤモンド切れ刃を作製し、それを工具シャンクに高強度で精度よく装着するマイクロ工具作製装置を構築した。また、作製したダイヤモンド工具の切れ刃形状を集束イオンビームにより変化させ、適切な工具形状について検討した。
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