• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

マイクロダイヤモンド工具の高精度化と実用化に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 19560110
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関富山大学

研究代表者

高野 登  富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 助手 (60251881)

研究分担者 森田 昇  富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 教授 (30239660)
山田 茂  富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 准教授 (00174714)
研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2008年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2007年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワード極微細加工 / マイクロダイヤモンド工具 / 高精度化 / ダイヤモンド工具 / 集束イオンビーム / シリコンモールド / ダイヤモンドアレイ工具
研究概要

本研究は、各種の極微細加工用の高精度ダイヤモンド工具の開発とマイクロ・ナノスケール加工への実用化を目的としている。まず、シリコンモールド作製技術と、ダイヤモンドCVD技術を駆使して、高精細のダイヤモンド切れ刃を作製し、それを工具シャンクに高強度で精度よく装着するマイクロ工具作製装置を構築した。また、作製したダイヤモンド工具の切れ刃形状を集束イオンビームにより変化させ、適切な工具形状について検討した。

報告書

(3件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書

URL: 

公開日: 2007-03-31   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi