カーボンナノチューブを用いた高アスペクト比ナノスケール加工法の開発

• 研究課題/領域番号: 19560127
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 愛知工業大学
• 研究代表者: 松室 昭仁 愛知工業大学, 工学部, 教授 (80173889)
• 研究分担者: 高木 誠 愛知工業大学, 工学部, 教授 (40288428)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• 研究課題ステータス: 完了 (2008年度)
• 配分額: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円); 2008年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2007年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
• キーワード: カーボンナノチューブ探針 / STM加工 / 高アスペクト比加工 / ナノスケール加工 / 高アスペクト比 / 最適条件 / 加工メカニズム / 引き上げ法 / シリコン単結晶 / 凹凸加工 / 金材料 / タングステン探針

研究概要

ナノデバイスの実現のためナノメートルの加工スケール,精密位置制御, 高アスペクト比(加工深さ/穴径) 加工技術の開発を,カーボンナノチューブ探針を走査型トンネル電子顕微鏡の探針として用いた場合の可能性について検討を行った. 加工深さ286nm, 穴径63nm, アスペクト比4.5の穴加工が実現し, 従来のタングステン探針に対し, 45倍向上した. その加工原理は電解蒸発と考察された.

研究成果

• [雑誌論文] TEM and HRTEM Observations of Microstructural Change of Silicon Single Crystal Scratched under Very Small Loading Forces by AFM (2008)
  • 著者名/発表者名: Makoto Takagi, Kenji Onodera, Akihito Matsumuro, Hiroyuki Iwata, Katsuhiro Sasaki, Hiroyasu Saka
  • 雑誌名: Materials Transactions Vol. 49, No. 6 ページ: 1298-1302
  • NAID: 10021147448
  • 査読あり
• [雑誌論文] SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化 (2007)
  • 著者名/発表者名: 吉田浩也, 松室昭仁, 岩田博之, 高木誠
  • 雑誌名: 精密工学会誌 Vol.73 ページ: 1149-1153
  • NAID: 110006403576
  • 査読あり
• [学会発表] SPM加工現象のTEM内その場観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 松本達, 高木誠, 松室昭仁
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2008-09-19
• [学会発表] 生体適合材料のAFMによるマイクロトライボロジーと構造変化 (2008)
  • 著者名/発表者名: 川本竜也, 高木誠, 松室昭仁
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 東北大学(仙台市)
  • 年月日: 2008-09-19
• [学会発表] スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 粕谷健太, 高木誠, 松室昭仁
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 東北大学(仙台市)
  • 年月日: 2008-09-19
• [学会発表] FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質 (2008)
  • 著者名/発表者名: 中山浩征, 高木誠, 松室昭仁
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 東北大学(仙台市)
  • 年月日: 2008-09-18
• [学会発表] SPM加工現象のTEM内その場観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 松本達、高木誠、松室昭仁、岩田博之
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集(I64)
• [学会発表] ナノチューブ探針を用いたSTM加工による微小構造体の作製 (2007)
  • 著者名/発表者名: 新井裕之, 松室昭仁, 高木誠
  • 学会等名: 2007年度精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 旭川市
  • 年月日: 2007-09-14
• [学会発表] ナノチューブ探針を用いたSTM加工による微小構造体の作製 (2007)
  • 著者名/発表者名: 新井裕之, 松室昭仁, 高木誠
  • 学会等名: 2007年度精密工学会秋季大会論文集(707-708)